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本發明的課題在于提供對含有高濃度的氫氟酸或氟化銨的蝕刻液的耐性優異的感光性樹脂組合物、和利用該感光性樹脂組合物的蝕刻方法。感光性樹脂組合物，其是在通過含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液進行蝕刻處理的蝕刻方法中使用的感光性樹脂組合物，至少包含(A)酸...
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