【技術實現步驟摘要】
【】本技術涉及隔熱保溫，尤其涉及一種用于真空設備的隔熱保溫裝置。
技術介紹
0、
技術介紹
1、現有真空設備為了使基板保持在合適的溫度，加熱器消耗的電能過大，原因是腔體的保溫性能弱，加熱板產生的熱量通過傳導、輻射和對流的方式到達上腔壁、下腔壁，以及和腔體的側壁，通過上腔壁、下腔壁，以及腔體的側壁傳導至外側壁，接著外側壁通過傳導、輻射和對流的方式消耗熱量，使得熱量大量地被浪費。
2、因此，有必要研究一種用于真空設備的隔熱保溫裝置來應對現有技術的不足，以解決或減輕上述一個或多個問題。
技術實現思路
0、
技術實現思路
1、有鑒于此，本技術提供了一種用于真空設備的隔熱保溫裝置，隔熱保溫裝置包括位于真空腔體內至少一個隔熱保溫板，該隔熱保溫板用于隔斷熱量從隔熱保溫板一側直接傳導至另一側的通路，從而起到隔熱保溫的作用。
2、一方面，本技術提供了一種用于真空設備的隔熱保溫裝置，所述隔熱保溫裝置包括位于真空腔體內至少一個隔熱保溫板，所述隔熱保溫板包括：金屬外殼和隔熱填充單元，所述隔熱填充單元設置在金屬外殼內，所述隔熱填充單元為隔熱材料，所述金屬外殼為金屬板圍成的封閉或半封閉結構。
3、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述金屬外殼為金屬板圍成的封閉結構，所述金屬板通過真空焊接工藝焊接成一體，內部壓力在0.01tor-100tor范圍。
4、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所
5、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，隔熱填充單元中的隔熱材料為熱凝膠。
6、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述真空腔內設置有加熱器，所述隔熱保溫板靠近所述加熱器的一面為鏡面。
7、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述隔熱保溫板的至少一端為折彎結構，封閉或半封閉結構形成一腔體，腔體角落形成斜面。
8、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述隔熱保溫裝置還包括內部管路，所述內部管路兩端分別連接不同所述隔熱保溫板上的所述開口，并通過至少一處開口連接至抽真空系統。
9、與現有技術相比，本技術可以獲得包括以下技術效果：
10、本技術的隔熱保溫板，安裝在真空設備的內表面，從加熱器傳導、輻射和對流過來的熱量的大部分，都由此隔熱保溫板接收。
11、當然，實施本技術的任一產品并不一定需要同時達到以上所述的所有技術效果。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種用于真空設備的隔熱保溫裝置，所述隔熱保溫裝置包括位于真空腔體內至少一個隔熱保溫板，其特征在于，所述隔熱保溫板包括：金屬外殼和隔熱填充單元，所述隔熱填充單元設置在金屬外殼內，所述隔熱填充單元為隔熱材料，所述金屬外殼為金屬板圍成的封閉或半封閉結構。
2.根據權利要求1所述的隔熱保溫裝置，其特征在于，所述金屬外殼為金屬板圍成的封閉結構，所述金屬板通過真空焊接工藝焊接成一體，內部壓力在0.01Torr-100Torr范圍。
3.根據權利要求1所述的隔熱保溫裝置，其特征在于，所述金屬外殼為金屬板圍成的半封閉結構，所述金屬外殼上還設置開口，且通過所述開口與抽真空系統直接或間接連通。
4.根據權利要求2或3所述的隔熱保溫裝置，其特征在于，隔熱填充單元中的隔熱材料為熱凝膠。
5.根據權利要求2或3所述的隔熱保溫裝置，其特征在于，所述真空腔內設置有加熱器，所述隔熱保溫板靠近所述加熱器的一面為鏡面。
6.根據權利要求2或3所述的隔熱保溫裝置，其特征在于，所述隔熱保溫板的至少一端為折彎結構。
7.根據權利要求3所述的隔熱保
...【技術特征摘要】
1.一種用于真空設備的隔熱保溫裝置，所述隔熱保溫裝置包括位于真空腔體內至少一個隔熱保溫板，其特征在于，所述隔熱保溫板包括：金屬外殼和隔熱填充單元，所述隔熱填充單元設置在金屬外殼內，所述隔熱填充單元為隔熱材料，所述金屬外殼為金屬板圍成的封閉或半封閉結構。
2.根據權利要求1所述的隔熱保溫裝置，其特征在于，所述金屬外殼為金屬板圍成的封閉結構，所述金屬板通過真空焊接工藝焊接成一體，內部壓力在0.01torr-100torr范圍。
3.根據權利要求1所述的隔熱保溫裝置，其特征在于，所述金屬外殼為金屬板圍成的半封閉結構，所述金屬外殼上還設置開口，且通...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉亞南，蔣建新，孫健，
申請(專利權)人：蘇州邁為科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。