【技術實現步驟摘要】
本申請涉及芯片設計，尤其涉及一種防串擾的三維金屬隔離布線結構及布線方法。
技術介紹
1、信號完整性(si)在芯片設計中是一個重要的概念，考量了信號在傳輸中的質量。影響信號完整性的因素包括驅動能力、線長、串擾等。在實際的設計中一些ip之間常常需要傳輸一些高速、高精度的模擬信號，為了保證這些傳輸信號具有較好的信號完整性，除了ip本身的設計考慮外，對ip之間端口互連線也需要提出較高的要求，如電阻-電容(rc)做到盡量小，防止信號線之間的串擾(crosstalk)等。其中，信號線之間的相互串擾會引起噪聲和毛刺，對信號完整性具有較大的威脅。因此，如何減少串擾是一件值得探討的問題。
2、當兩根信號線臨近時，會發生串擾，如圖1所示，兩根信號線之間存在耦合電容c(coupling?capacitance)，信號線距離越近，電容值越大。當入侵線發生低電平到高電平轉換時(0-1)，對耦合電容充電，進而耦合電容會引起受害線出現一個高電平的毛刺(glitch)。如果此時受害線正發生高電平到低電平轉換(1-0)，則受害線需要對耦合電容放電，這就導致兩根信號線相互干擾，增大電平轉換時間(transition?time)。這種串擾會對信號完整性產生影響。
3、在芯片后端設計中，為了避免串擾的發生，通常可以在布線時加大信號線之間的間距，或者在較長的信號線之間插入緩沖單元(buffer)。但對于高速高精度模擬信號的傳輸，加大信號線之間的距離有時候并不能避免串擾的發生，而且需要相隔距離的大小也難以把控。而插入緩存單元則額外引入了電路，也因此
技術實現思路
1、本申請提供了一種防串擾的三維金屬隔離布線結構及布線方法，能夠全方位防止串擾的發生，有效地保證高速高精度的模擬信號完整性。
2、第一方面，本申請實施例提供了一種防串擾的三維金屬隔離布線結構，包括第一金屬線、第二金屬線、第三金屬線和用于傳輸高速模擬信號的信號傳輸線；
3、第一金屬線和第二金屬線分別設于信號傳輸線的左右兩側；
4、第三金屬線設于信號傳輸線的正下方；
5、第一金屬線、第二金屬線和第三金屬線均接地。
6、進一步的，第三金屬線設于信號傳輸線所在金屬層的下一金屬層中。
7、進一步的，第三金屬線的寬度與信號傳輸線的寬度一致。
8、進一步的，第一金屬線的長度、第二金屬線的長度、第三金屬線的長度與信號傳輸線的長度一致。
9、進一步的，第一金屬線的寬度、第二金屬線的寬度是根據工藝設計規則描述文件得到的。
10、進一步的，第一金屬線、第二金屬線和信號傳輸線之間的間距是根據制作工藝、信號傳輸線的寬度、和信號傳輸線的長度得到的。
11、第二方面，本申請實施例提供了一種防串擾的三維金屬隔離布線方法，應用于上述任一實施例中的防串擾的三維金屬隔離布線結構，包括：
12、獲取傳輸高速模擬信號的信號傳輸線；
13、在信號傳輸線的左右兩側分別部署第一金屬線和第二金屬線；
14、在信號傳輸線的正下方部署第三金屬線；
15、將第一金屬線、第二金屬線和第三金屬線全部接地。
16、進一步的，該方法還包括：
17、獲取信號傳輸線的寬度；
18、在信號傳輸線的正下方部署寬度與信號傳輸線的寬度相同的第三金屬線。
19、進一步的，該方法還包括：獲取信號傳輸線的長度；在信號傳輸線的左右兩側分別部署長度與信號傳輸線的長度相同的第一金屬線和第二金屬線。
20、進一步的，該方法還包括：
21、根據工藝設計規則描述文件得到第一金屬線和第二金屬線的寬度。
22、綜上，與現有技術相比，本申請實施例提供的技術方案帶來的有益效果至少包括：
23、本申請實施例提供的一種防串擾的三維金屬隔離布線結構，在傳輸高速模擬信號的信號傳輸線的左側、右側和正下方分別部署了接地的金屬線，通過由0電位的金屬線構成的三維環繞式的金屬隔離結構能夠全方位防止串擾的發生，有效地保證高速高精度的模擬信號完整性。
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1.一種防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，包括第一金屬線、第二金屬線、第三金屬線和用于傳輸高速模擬信號的信號傳輸線；
2.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第三金屬線設于所述信號傳輸線所在金屬層的下一金屬層中。
3.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第三金屬線的寬度與所述信號傳輸線的寬度一致。
4.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第一金屬線的長度、所述第二金屬線的長度、所述第三金屬線的長度與所述信號傳輸線的長度一致。
5.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第一金屬線的寬度、所述第二金屬線的寬度是根據工藝設計規則描述文件得到的。
6.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第一金屬線、所述第二金屬線和所述信號傳輸線之間的間距是根據制作工藝、所述信號傳輸線的寬度、和所述信號傳輸線的長度得到的。
7.一種防串擾的三維金屬隔離布線方法，其特征在于，應用于如
8.根據權利要求7所述的防串擾的三維金屬隔離布線方法，其特征在于，還包括：
9.根據權利要求7所述的防串擾的三維金屬隔離布線方法，其特征在于，還包括：
10.根據權利要求7所述的防串擾的三維金屬隔離布線方法，其特征在于，還包括：
...【技術特征摘要】
1.一種防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，包括第一金屬線、第二金屬線、第三金屬線和用于傳輸高速模擬信號的信號傳輸線；
2.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第三金屬線設于所述信號傳輸線所在金屬層的下一金屬層中。
3.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第三金屬線的寬度與所述信號傳輸線的寬度一致。
4.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第一金屬線的長度、所述第二金屬線的長度、所述第三金屬線的長度與所述信號傳輸線的長度一致。
5.根據權利要求1所述的防串擾的三維金屬隔離布線結構，其特征在于，所述第一金屬線的寬度...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王銳，姚家寧，李建軍，
申請(專利權)人：廣芯微電子廣州股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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