【技術實現步驟摘要】
本專利技術是有關于一種廢氣處理系統及其組件，特別是有關于一種半導體廢氣處理系統及其水氣分離器(moisture-gas?separator)。
技術介紹
1、半導體的生產過程會使用大量的易燃性、腐蝕性或高毒性的反應氣體，但是在許多半導體制程中反應氣體的利用率非常低，因此在制程中未完全反應的殘余氣體及反應生成物必須排出反應制程室。這些混合氣體一般稱為制程廢氣或是尾氣，且都必須經由轉化為無害或可處理的物質才能排出。
2、現行廢氣系統主要由和反應制程室相接的渦輪真空幫浦(turbo?pump)、機械幫浦及局部廢氣處理系統(local?scrubber?system)所構成。制程廢氣經由渦輪真空幫浦、排氣管道及機械幫浦依序抽出反應制程室，再送入局部廢氣處理系統進行處理后送到中央廢氣處理系統(central?scrubber?system)排出。
3、為了妥善處理制程廢氣，目前有許多種技術被提出及使用。舉例而言，目前有一種現有技術在排放制程廢氣之前，會使用抽氣幫浦將制程廢氣排放至燃燒洗滌塔進行廢氣處理。然而，燃燒洗滌塔對于含氟化合物處理效果不佳，而且須隨時保持運作并提供大量燃料氣體，因此成本大幅增加且耗費能源，且燃料氣體為易燃爆炸性氣體，會增加公安危險。又，目前雖然有另一種現有技術采用觸媒熱裂解法，惟觸媒會有老化及毒化問題，且觸媒更換及回收處理成本相當高。惟，觸媒熱裂解法同樣須隨時保持運作且同樣會耗費大量能源。
4、再者，目前雖有技術在進行上述制程廢氣燃燒或裂解處理之前，先以濕式廢氣處理裝置從制程廢氣中
技術實現思路
1、有鑒于此，本專利技術之一或多個目的就是在提供一種半導體廢氣處理系統及其水氣分離器，以解決上述習知技術之問題。
2、為達前述目的，本專利技術提出一種水氣分離器，適于縱向連通于一濕式洗滌器及一抽氣裝置之間，其特征在于，該水氣分離器至少包含：一進氣管、一分離管及一排氣管，該分離管縱向設置以連通于該進氣管及該排氣管之間，其中該進氣管縱向設置以連通至該濕式洗滌器之一排氣口，該排氣管縱向設置以連通至該抽氣裝置之一抽氣口；至少一導流斜隔板，該至少一導流斜隔板斜向式設于該分離管中；以及至少一濾材層，填充于該分離管中且位于該至少一導流斜隔板上，用以形成復數個過濾區段，其中該濕式洗滌器洗滌一制程廢氣源所排放之一制程廢氣且排放出一洗滌廢氣，該抽氣裝置提供一吸力使得該濕式洗滌器所排放之該洗滌廢氣先經由該進氣管進入該分離管中，并借由該分離管中之該濾材層及該至少一導流斜隔板分離出該洗滌廢氣中所含之水霧及粉塵后，使其成為一干燥廢氣，再經由該排氣管排出該干燥廢氣。
3、其中，該分離管之口徑大于該進氣管之一進氣口之口徑。
4、其中，該至少一導流斜隔板可拆卸式設于該分離管之一管壁上。
5、其中，該分離管具有至少一穿槽斜向式沿著該管壁之表面分布，該至少一導流斜隔板氣密式插設于該至少一穿槽上。
6、其中，該至少一導流斜隔板之投影區域部分或全部重迭于該分離管之一進氣口。
7、其中，該水氣分離器之該分離管與該濕式洗滌器之間還以具有一安全泄壓閥之一泄壓旁通管相連接。
8、其中，該水氣分離器與該抽氣裝置之間還設有一燃燒處理器，該排氣管縱向設置且該排氣管之一排氣口連接該燃燒處理器之一進氣口，其中該濕式洗滌器所排放之該洗滌廢氣先借由該水氣分離器分離出該洗滌廢氣中所含之水霧及粉塵以形成該干燥廢氣，再將該干燥廢氣排放至該燃燒處理器中進行燃燒處理。
9、其中，該排氣管還包覆有一加熱帶，用以加熱經由該排氣管之該排氣口所排放之該干燥廢氣。
10、其中，該進氣管之一進氣口可拆卸式連接該濕式洗滌器之該排氣口，該排氣管之該排氣口可拆卸式連接該燃燒處理器之該進氣口。
11、其中，該分離管可拆卸式連接于該進氣管及該排氣管之間。
12、其中，該至少一導流斜隔板之數量為復數個，且該復數個導流斜隔板分別斜向式設于該分離管中，進而分層地交錯式分布于該分離管之一內部。
13、其中，該復數個導流斜隔板之投影區域分別部分重迭于該分離管之一進氣口，進而共同全部重迭于該分離管之該進氣口。
14、其中，該分離管及其上之該至少一導流斜隔板及該濾材層轉動式設于該進氣管及該排氣管之間。
15、其中，該水氣分離器還包含一外套管，該外套管之兩端分別氣密式連接該進氣管及該排氣管，且該分離管轉動式位于該外套管之一內部。
16、其中，該分離管借由該濕式洗滌器所排放之該洗滌廢氣而轉動。
17、其中，該分離管為中空圓筒或多邊形筒，該導流斜隔板為弧形板、多邊形板或螺旋板。
18、其中，該至少一導流斜隔板具有復數個透氣孔縱向或斜向貫穿該至少一導流斜隔板之上表面及下表面。
19、其中，該分離管為透明材質。
20、其中，該濾材層為由至少一塑料條交錯堆迭組成之過濾結構。
21、其中，該濾材層為耐酸、耐堿、耐油氣或耐有機溶劑之耐侵蝕濾材。
22、其中，該進氣管、該分離管及該排氣管為氯化聚氯乙烯管。
23、本專利技術提出一種半導體廢氣處理系統，用以處理一制程廢氣源所排放之一制程廢氣，其特征在于，該半導體廢氣處理系統至少包含：一濕式洗滌器，該濕式洗滌器洗滌該制程廢氣且排放出一洗滌廢氣；如前述之該水氣分離器設于該濕式洗滌器之槽體外部上；以及一抽氣裝置，其中該水氣分離器連通于該濕式洗滌器及該抽氣裝置之間，該抽氣裝置提供一吸力使得該濕式洗滌器所排放之該洗滌廢氣先經由該水氣分離器分離出該洗滌廢氣中所含之水霧及粉塵以形成一干燥廢氣后，再排出該干燥廢氣。
24、其中，該濕式洗滌器利用一負壓射流管高速噴射出一洗滌液，借以產生一低壓環境吸入該制程廢氣源所排放之該制程廢氣，且借由高速噴射之該洗滌液將該制程廢氣切割成微氣泡，借以捕捉與吸收該微氣泡及其所攜帶的粉塵，并借由該抽氣裝置所提供之該吸力使得該濕式洗滌器排放出該洗滌廢氣，以令該洗滌廢氣進入連通至該濕式洗滌器之該水氣分離器中以便進行一分離過濾程序使得該洗滌廢氣形成該干燥廢氣。
25、承上所述，依本專利技術之半導體廢氣處理系統及其水氣分本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種水氣分離器，適于縱向連通于一濕式洗滌器及一抽氣裝置之間，其特征在于，該水氣分離器至少包含：
2.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管之口徑大于該進氣管之一進氣口之口徑。
3.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該至少一導流斜隔板可拆卸式設于該分離管之一管壁上。
4.如權利要求3所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管具有至少一穿槽斜向式沿著該管壁之表面分布，該至少一導流斜隔板氣密式插設于該至少一穿槽上。
5.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該至少一導流斜隔板之投影區域部分或全部重迭于該分離管之一進氣口。
6.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該水氣分離器之該分離管與該濕式洗滌器之間還以具有一安全泄壓閥之一泄壓旁通管相連接。
7.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該水氣分離器與該抽氣裝置之間還設有一燃燒處理器，該排氣管縱向設置且該排氣管之一排氣口連接該燃燒處理器之一進氣口，其中該濕式洗滌器所排放之該洗滌廢氣先借由該水氣分離器分離出該洗滌
8.如權利要求1或7所述之水氣分離器，其特征在于，其中該排氣管還包覆有一加熱帶，用以加熱經由該排氣管之該排氣口所排放之該干燥廢氣。
9.如權利要求7所述之水氣分離器，其特征在于，其中該進氣管之一進氣口可拆卸式連接該濕式洗滌器之該排氣口，該排氣管之該排氣口可拆卸式連接該燃燒處理器之該進氣口。
10.如權利要求1或9所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管可拆卸式連接于該進氣管及該排氣管之間。
11.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該至少一導流斜隔板之數量為復數個，且該復數個導流斜隔板分別斜向式設于該分離管中，進而分層地交錯式分布于該分離管之一內部。
12.如權利要求11所述之水氣分離器，其特征在于，其中該復數個導流斜隔板之投影區域分別部分重迭于該分離管之一進氣口，進而共同全部重迭于該分離管之該進氣口。
13.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管及其上之該至少一導流斜隔板及該濾材層轉動式設于該進氣管及該排氣管之間。
14.如權利要求13所述之水氣分離器，其特征在于，還包含一外套管，該外套管之兩端分別氣密式連接該進氣管及該排氣管，且該分離管轉動式位于該外套管之一內部。
15.如權利要求13所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管借由該濕式洗滌器所排放之該洗滌廢氣而轉動。
16.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管為中空圓筒或多邊形筒，該導流斜隔板為弧形板、多邊形板或螺旋板。
17.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該至少一導流斜隔板具有復數個透氣孔縱向或斜向貫穿該至少一導流斜隔板之上表面及下表面。
18.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管為透明材質。
19.如權利要求1或11所述之水氣分離器，其特征在于，其中該濾材層為由至少一塑料條交錯堆迭組成之過濾結構。
20.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該濾材層為耐酸、耐堿、耐油氣或耐有機溶劑之耐侵蝕濾材。
21.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該進氣管、該分離管及該排氣管為氯化聚氯乙烯管。
22.一種半導體廢氣處理系統，用以處理一制程廢氣源所排放之一制程廢氣，其特征在于，該半導體廢氣處理系統至少包含：
23.如權利要求22所述之半導體廢氣處理系統，其特征在于，其中該濕式洗滌器利用一負壓射流管高速噴射出一洗滌液，借以產生一低壓環境吸入該制程廢氣源所排放之該制程廢氣，且借由高速噴射之該洗滌液將該制程廢氣切割成微氣泡，借以捕捉與吸收該微氣泡及其所攜帶的粉塵，并借由該抽氣裝置所提供之該吸力使得該濕式洗滌器排放出該洗滌廢氣，以令該洗滌廢氣進入連通至該濕式洗滌器之該水氣分離器中以便進行一分離過濾程序使得該洗滌廢氣形成該干燥廢氣。
...【技術特征摘要】
1.一種水氣分離器，適于縱向連通于一濕式洗滌器及一抽氣裝置之間，其特征在于，該水氣分離器至少包含：
2.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管之口徑大于該進氣管之一進氣口之口徑。
3.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該至少一導流斜隔板可拆卸式設于該分離管之一管壁上。
4.如權利要求3所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管具有至少一穿槽斜向式沿著該管壁之表面分布，該至少一導流斜隔板氣密式插設于該至少一穿槽上。
5.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該至少一導流斜隔板之投影區域部分或全部重迭于該分離管之一進氣口。
6.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該水氣分離器之該分離管與該濕式洗滌器之間還以具有一安全泄壓閥之一泄壓旁通管相連接。
7.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該水氣分離器與該抽氣裝置之間還設有一燃燒處理器，該排氣管縱向設置且該排氣管之一排氣口連接該燃燒處理器之一進氣口，其中該濕式洗滌器所排放之該洗滌廢氣先借由該水氣分離器分離出該洗滌廢氣中所含之水霧及粉塵以形成該干燥廢氣，再將該干燥廢氣排放至該燃燒處理器中進行燃燒處理。
8.如權利要求1或7所述之水氣分離器，其特征在于，其中該排氣管還包覆有一加熱帶，用以加熱經由該排氣管之該排氣口所排放之該干燥廢氣。
9.如權利要求7所述之水氣分離器，其特征在于，其中該進氣管之一進氣口可拆卸式連接該濕式洗滌器之該排氣口，該排氣管之該排氣口可拆卸式連接該燃燒處理器之該進氣口。
10.如權利要求1或9所述之水氣分離器，其特征在于，其中該分離管可拆卸式連接于該進氣管及該排氣管之間。
11.如權利要求1所述之水氣分離器，其特征在于，其中該至少一導流斜隔板之數量為復數個，且該復數個導流斜隔板分別斜向式設于該分離管中，進而分層地交錯式分布于該分離管之一內部。
12.如權利要求11所述之水氣分離器，其特征在于，其中該復數個導流斜隔板之投影...
【專利技術屬性】
技術研發人員：蔡定，陳志豪，黃少檠，
申請(專利權)人：日揚科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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