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本發明涉及一種半導體廢氣處理系統及其水氣分離器，此系統包含水氣分離器連通于濕式洗滌器及抽氣裝置之間。水氣分離器包含連通之進氣管、分離管及排氣管，水氣分離器還包含導流斜隔板斜向式設于分離管中以及濾材層填充于分離管中。濕式洗滌器洗滌制程廢氣源之...
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