【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種用于晶體生長爐的電極結構，屬于半導體領域。
技術介紹
1、電極結構用于晶體生長爐，靠近晶體生長爐的溫度較高（高溫側），遠離晶體生長爐的溫度較低（低溫側），現有技術中電極結構的銅電極外側需要通過多個膠圈與水冷法蘭進行密封，多個膠圈沿著銅電極的長度方向設置，即膠圈對銅電極的徑向密封，相鄰兩個膠圈之間形成夾層結構，提高了設備的背底漏率和檢漏難度。
2、由于位于銅電極上端的膠圈與晶體生長爐之間的距離較近，即膠圈位于高溫側，長時間使用會導致密封失效，同時由于位于銅電極上端的膠圈與晶體生長爐之間的距離較近，還會導致銅電極擺動范圍受限；現有技術中電極結構的水電纜安裝方向是唯一的，無法在實現水電纜多角度固定；電極連接頭的錐面與水電纜進行密封，密封效果差。
技術實現思路
1、本技術的目的在于克服現有技術中存在的上述不足，而提供一種結構設計合理的用于晶體生長爐的電極結構。
2、本技術解決上述問題所采用的技術方案是：該用于晶體生長爐的電極結構，包括絕緣陶瓷環、石墨電極和銅電極，所述石墨電極安裝在銅電極的一端，且絕緣陶瓷環套裝在石墨電極和銅電極外，其結構特點在于：還包括旋轉銅頭壓板、旋轉銅頭、水電纜電流饋入端、緊定螺母、電極連接頭、寶塔接頭、冷彎頭和冷卻水管，所述銅電極的另一端通過旋轉銅頭壓板安裝在旋轉銅頭上，所述旋轉銅頭上安裝有壓板螺釘b，且壓板螺釘b與旋轉銅頭壓板連接，所述冷卻水管安裝在旋轉銅頭上，所述冷卻水管的一端位于銅電極內，所述冷卻水管的另一端與冷彎頭的一端
3、進一步地，還包括絕緣膠圈支撐架、壓板螺釘a、絕緣壓板、絕緣螺套、電極限位環、金屬密封法蘭a和金屬密封法蘭b，所述絕緣壓板安裝在絕緣膠圈支撐架外，所述絕緣膠圈支撐架、金屬密封法蘭b、金屬密封法蘭a和電極限位環均套裝在銅電極外，且絕緣膠圈支撐架、金屬密封法蘭b、金屬密封法蘭a通過電極限位環與銅電極固定，所述電極限位環上安裝有限位頂絲，所述限位頂絲與銅電極抵接，所述絕緣螺套安裝在金屬密封法蘭a和金屬密封法蘭b上，所述壓板螺釘a套裝在絕緣螺套內，并壓板螺釘a與絕緣壓板貫穿，且壓板螺釘a與水冷法蘭連接。
4、進一步地，所述絕緣陶瓷環位于水冷法蘭內，所述絕緣陶瓷環、絕緣膠圈支撐架、金屬密封法蘭b、金屬密封法蘭a、電極限位環依次設置。
5、進一步地，所述絕緣膠圈支撐架與絕緣壓板之間安裝有膠圈a，所述銅電極的另一端與旋轉銅頭之間安裝有膠圈b，所述電極連接頭的另一端與絕緣膠圈支撐架之間安裝有膠圈c，所述電極連接頭的一端與旋轉銅頭之間安裝有膠圈d，所述金屬密封法蘭b與銅電極之間安裝有膠圈e。
6、相比現有技術，本技術具有以下優點：該電極結構將在高溫側無需設置膠圈，而是將膠圈設置在低溫側，可延長膠圈的使用壽命，同時也可增大銅電極的擺動范圍，將膠圈設置在金屬密封法蘭a、金屬密封法蘭b的端部，也可稱之為端面密封，通過擰動壓板螺釘b可實現旋轉銅頭的任意角度固定，電極連接頭的徑向與水電纜電流饋入端通過膠圈c密封，可提高其密封效果。
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1.一種用于晶體生長爐的電極結構，包括絕緣陶瓷環（2）、石墨電極（3）和銅電極（4），所述石墨電極（3）安裝在銅電極（4）的一端，且絕緣陶瓷環（2）套裝在石墨電極（3）和銅電極（4）外，其特征在于：還包括旋轉銅頭壓板（12）、旋轉銅頭（14）、水電纜電流饋入端（15）、緊定螺母（17）、電極連接頭（18）、寶塔接頭（20）、冷彎頭（21）和冷卻水管（22），所述銅電極（4）的另一端通過旋轉銅頭壓板（12）安裝在旋轉銅頭（14）上，所述旋轉銅頭（14）上安裝有壓板螺釘b（23），且壓板螺釘b（23）與旋轉銅頭壓板（12）連接，所述冷卻水管（22）安裝在旋轉銅頭（14）上，所述冷卻水管（22）的一端位于銅電極（4）內，所述冷卻水管（22）的另一端與冷彎頭（21）的一端連接，所述冷彎頭（21）的另一端與寶塔接頭（20）連接，所述電極連接頭（18）的一端安裝在旋轉銅頭（14）上，所述電極連接頭（18）的另一端通過緊定螺母（17）與水電纜電流饋入端（15）連接。
2.根據權利要求1所述的用于晶體生長爐的電極結構，其特征在于：還包括絕緣膠圈支撐架（5）、壓板螺釘a（7）、絕緣壓板
3.根據權利要求2所述的用于晶體生長爐的電極結構，其特征在于：所述絕緣陶瓷環（2）位于水冷法蘭（1）內，所述絕緣陶瓷環（2）、絕緣膠圈支撐架（5）、金屬密封法蘭b（26）、金屬密封法蘭a（25）、電極限位環（10）依次設置。
4.根據權利要求2所述的用于晶體生長爐的電極結構，其特征在于：所述絕緣膠圈支撐架（5）與絕緣壓板（8）之間安裝有膠圈a（6），所述銅電極（4）的另一端與旋轉銅頭（14）之間安裝有膠圈b（13），所述電極連接頭（18）的另一端與絕緣膠圈支撐架（5）之間安裝有膠圈c（16），所述電極連接頭（18）的一端與旋轉銅頭（14）之間安裝有膠圈d（19），所述金屬密封法蘭b（26）與銅電極（4）之間安裝有膠圈e（24）。
...【技術特征摘要】
1.一種用于晶體生長爐的電極結構，包括絕緣陶瓷環（2）、石墨電極（3）和銅電極（4），所述石墨電極（3）安裝在銅電極（4）的一端，且絕緣陶瓷環（2）套裝在石墨電極（3）和銅電極（4）外，其特征在于：還包括旋轉銅頭壓板（12）、旋轉銅頭（14）、水電纜電流饋入端（15）、緊定螺母（17）、電極連接頭（18）、寶塔接頭（20）、冷彎頭（21）和冷卻水管（22），所述銅電極（4）的另一端通過旋轉銅頭壓板（12）安裝在旋轉銅頭（14）上，所述旋轉銅頭（14）上安裝有壓板螺釘b（23），且壓板螺釘b（23）與旋轉銅頭壓板（12）連接，所述冷卻水管（22）安裝在旋轉銅頭（14）上，所述冷卻水管（22）的一端位于銅電極（4）內，所述冷卻水管（22）的另一端與冷彎頭（21）的一端連接，所述冷彎頭（21）的另一端與寶塔接頭（20）連接，所述電極連接頭（18）的一端安裝在旋轉銅頭（14）上，所述電極連接頭（18）的另一端通過緊定螺母（17）與水電纜電流饋入端（15）連接。
2.根據權利要求1所述的用于晶體生長爐的電極結構，其特征在于：還包括絕緣膠圈支撐架（5）、壓板螺釘a（7）、絕緣壓板（8）、絕緣螺套（9）、電極限位環（10）、金屬密封法蘭a（25）和金屬密封法蘭b（26），所述絕緣壓板（8）安裝在絕緣膠圈支撐架（5）外，所述絕緣膠圈支撐架（5...
【專利技術屬性】
技術研發人員：郭森，
申請(專利權)人：杭州晶馳機電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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