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    下載一種用于晶體生長爐的電極結構的技術資料

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    本技術涉及一種用于晶體生長爐的電極結構,屬于半導體領域。本技術包括絕緣陶瓷環、石墨電極和銅電極,石墨電極安裝在銅電極的一端,且絕緣陶瓷環套裝在石墨電極和銅電極外,其結構特點在于:還包括旋轉銅頭壓板、旋轉銅頭、水電纜電流饋入端、緊定螺母、電極...
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