一種前開式圓片盒，主要包括一盒體，盒體內(nèi)部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)插槽以容置復(fù)數(shù)個(gè)圓片，盒體的一側(cè)面形成一開口可供上述復(fù)數(shù)個(gè)圓片的輸入及輸出，以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，而門體是以內(nèi)表面與盒體的開口相結(jié)合，并用以保護(hù)置放于盒體內(nèi)部的復(fù)數(shù)個(gè)圓片，其中前開式圓片盒的特征在于：門體的內(nèi)部配置至少一門閂結(jié)構(gòu)，其包括一橢圓凸輪、一對(duì)與橢圓凸輪兩端接觸的滑動(dòng)裝置、至少一個(gè)滑輪配置于門體內(nèi)部且嵌入于滑動(dòng)裝置的滑槽中以及至少一個(gè)與滑動(dòng)裝置連接成一體的定位彈片。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)是關(guān)于一種前開式園片盒，特別是關(guān)于一種配置于前開式園片盒的門體內(nèi)部的門閂結(jié)構(gòu)(Latch)。
技術(shù)介紹
半導(dǎo)體園片由于需經(jīng)過(guò)各種不同流程的處理且需配合工藝設(shè)備，因此 會(huì)被搬運(yùn)到不同的工作站。為了方便園片的搬運(yùn)且避免受到外界的污染， 常會(huì)利用一密封容器以供自動(dòng)化設(shè)備輸送。請(qǐng)參考圖l所示，是公知技術(shù) 的園片盒示意圖。此園片盒是一種前開式園片盒(Front Opening Unified Pod, FOUP)，具有一盒體10及一門體20，盒體10內(nèi)部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)插槽11可 水平容置復(fù)數(shù)個(gè)園片，且在盒體10的一側(cè)面具有一開口 12可供園片的載 出及加載，而門體20具有一個(gè)外表面21及一個(gè)內(nèi)表面22，門體20由內(nèi) 表面22與盒體10的開口 12相結(jié)合，用以保護(hù)盒體10內(nèi)部的復(fù)數(shù)個(gè)園片。 此外，在門體20的外表面21上配置至少一個(gè)門閂開孔23，用以開啟或是 封閉前開式園片盒。在上述前開式園片盒中，由于半導(dǎo)體園片是水平地置 于盒體10內(nèi)部，因此，在前開式園片盒搬運(yùn)過(guò)程中需有一園片限制件 (wafer restraint),以避免園片因震動(dòng)而產(chǎn)生異位或往盒體10的開口 12方 向移動(dòng)。請(qǐng)參考圖2所示，為一美國(guó)公告專利6,736,268所公開的一種前開式 園片盒的門體示意圖。如圖2所示，門體20的內(nèi)表面22配置有一凹陷區(qū) 域24，此凹陷區(qū)域24是從內(nèi)表面22的頂端221延伸到底端222且在左右 二個(gè)門閂結(jié)構(gòu)230(于門體內(nèi)部)之間，而在凹陷區(qū)域24中再進(jìn)一步配置有 園片限制件模塊，此園片限制件模塊是由左右二個(gè)園片限制件100所組成， 而在每一個(gè)園片限制件100上具有復(fù)數(shù)個(gè)園片接觸頭110，以利用此園片 接觸頭110頂持其相對(duì)的園片，避免園片在傳送過(guò)程中因震動(dòng)而異位或往 盒體的開口方向移動(dòng)。然而，上述園片限制件模塊設(shè)置于門體20內(nèi)表面22的凹陷區(qū)域24之中，這使得園片僅能貼平門體20其內(nèi)表面22或僅能 稍微落入凹陷區(qū)域24，無(wú)法有效地讓園片落入凹陷區(qū)域24以縮短前開式 園片盒前后徑的尺寸。此外，園片限制件模塊與園片摩擦所產(chǎn)生的微粒粉 塵容易累積在凹陷區(qū)域24內(nèi)，在清潔上需先把園片限制件模塊與門體20 內(nèi)表面22的凹陷區(qū)域24分離，如此反復(fù)的分離及組裝，容易造成園片限 制件模塊的松脫。此外，于另一件美國(guó)專利5,711,427中公開出前開式園片盒的門體20 其門閂結(jié)構(gòu)230示意圖。如圖3所示。門體20與盒體10的結(jié)合方式主要 是在門體20中(即外表面21及內(nèi)表面22之間)的兩側(cè)分別設(shè)置活動(dòng)式插梢 231，且在盒體10開口處的邊緣附近設(shè)有插孔(未顯示于圖中)可與插梢 231相對(duì)應(yīng)，并利用設(shè)于門體20外表面21上的門閂開孔的轉(zhuǎn)動(dòng)，使插梢 231與插孔互相結(jié)合進(jìn)而達(dá)到將門體20固定于盒體10的目的，其中利用 門閂開孔的轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)控制插梢231的往返活動(dòng)是通過(guò)一個(gè)圓形的凸輪(cam) 232即可達(dá)成。而在半導(dǎo)體廠的實(shí)施操縱中，前開式園片盒的開啟主要是由一園片裝 載機(jī)構(gòu)(未顯示于圖中)，園片裝載機(jī)構(gòu)至少具有一開啟閂(未顯示于圖 中)，園片裝載機(jī)構(gòu)是利用此開啟閂插入前開式園片盒的門體20外表面21 上的門閂開孔23，并轉(zhuǎn)洞凸輪232以帶動(dòng)活動(dòng)式插梢231完成開啟或是封 閉前開式園片盒。另外，其它已公開的前開式園片盒的門體中的門閂結(jié)構(gòu)的美國(guó)專利還 有US5，915,562、 US5，957,292、 US6622883 and US6卯2063等。這些門閂 結(jié)構(gòu)為了使門體與盒體接合時(shí)，達(dá)到氣密的目的，其活動(dòng)式插梢會(huì)在縱向 方向上產(chǎn)生位移，以便由活動(dòng)式插梢將一彈性的氣密件卡固，以期同時(shí)達(dá) 到關(guān)閉前開式園片盒以及氣密的目的。然而，這些公知的門閂專利皆是由 復(fù)雜的機(jī)械結(jié)構(gòu)來(lái)組成，除了會(huì)增加故障率外，也會(huì)在操動(dòng)的過(guò)程中，產(chǎn) 生太多的機(jī)械摩擦，而造成園片的污染；此外，經(jīng)由活動(dòng)式插梢的位移來(lái) 卡固彈性氣密件，其氣密的效果欠佳，無(wú)法長(zhǎng)時(shí)間保持氣密。且，在目前常見的前開式園片盒的門體20內(nèi)表面上還會(huì)配置有一些 限制件，以便門體20蓋合盒體10時(shí)，這些限制件會(huì)與園片接觸，使得園 片被完全固定，以降低園片在前開式園片盒中因運(yùn)輸過(guò)程而產(chǎn)生異位而為了避免限制件與園片接觸時(shí)，力量太大而造成園片的碰撞及摩擦；因此，如圖4所示，有一些美國(guó)專利即公開一種將彈性組件86配置在門閂結(jié)構(gòu) 230中的凸輪232及門體20之間，當(dāng)凸輪232轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)活動(dòng)式插梢231 封閉前開式園片盒的過(guò)程中，此彈性組件86可以發(fā)揮阻尼的效果，使得 配置于門體20內(nèi)表面上的限制件可以在和緩且平順的狀態(tài)下與園片接觸， 如此便可解決碰撞及摩擦的問(wèn)題。這些專利包括US6，880,718、US7,168,587 andUS7,182，203等。然而，這種類似側(cè)向牽引的方式，容易在活動(dòng)式插梢 231移動(dòng)的方向上產(chǎn)生一偏移力量，會(huì)造成無(wú)法卡入盒體10的插孔中，致 使盒體10與門體20無(wú)法蓋合。同時(shí)，也會(huì)增加前開式園片盒的制造成本。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
依據(jù)公知技術(shù)的前開式園片盒的門體結(jié)構(gòu)中，其門閂皆是由復(fù)雜的機(jī) 械結(jié)構(gòu)來(lái)組成，除了會(huì)增加故障率外，也會(huì)在操動(dòng)的過(guò)程中，產(chǎn)生太多的 機(jī)械摩擦，而可能造成園片的污染。為此，本專利技術(shù)的目的在于提供一種前 開式園片盒中配置有橢圓凸輪的門閂結(jié)構(gòu)，使其滑動(dòng)裝置僅于單一平面上 進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)，故可以簡(jiǎn)化門閂的結(jié)構(gòu)。本專利技術(shù)的另一目的在于提供一種前開式園片盒中配置有橢圓凸輪的 門閂結(jié)構(gòu)，可由滑輪的設(shè)計(jì)，使其橢圓凸輪帶動(dòng)滑動(dòng)裝置于單一平面上進(jìn) 行往返運(yùn)動(dòng)時(shí)，可降低往返運(yùn)動(dòng)時(shí)的摩擦力，故可以降低污染。本專利技術(shù)的再一目的在于提供一種前開式園片盒中配置有橢圓凸輪的 門閂結(jié)構(gòu)，其可在門閂結(jié)構(gòu)之間形成一凹陷區(qū)域，使得此凹陷區(qū)域能有效 的容置園片，故可縮短前開式園片盒前后徑的尺寸，且讓整體園片盒的重 心較集中于園片盒的正中央，以增加園片盒的穩(wěn)定度。本專利技術(shù)還有一目的在于提供一前開式園片盒中配置有橢圓凸輪的門 閂結(jié)構(gòu)，其可在門體的內(nèi)表面上配置園片限制件，可以有效地固定園片。為實(shí)現(xiàn)上述各目的，本專利技術(shù)提供的前幵式園片盒，主要包括一盒體， 盒體內(nèi)部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)插槽以容置復(fù)數(shù)個(gè)園片，且在盒體的一側(cè)面形成一開 口可供復(fù)數(shù)個(gè)園片的輸入及輸出，以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面， 門體是以內(nèi)表面與盒體的開口相結(jié)合，并用以保護(hù)盒體內(nèi)部的復(fù)數(shù)個(gè)園 片，其中前開式園片盒的特征在于門體的內(nèi)表面配置一H陷區(qū)域且凹陷區(qū)域系位于兩凸出平臺(tái)之間，每一凸出平臺(tái)內(nèi)部配置一門閂結(jié)構(gòu)，其包括 一橢圓凸輪、 一對(duì)與橢圓凸輪兩端接觸的滑動(dòng)裝置、至少一個(gè)滑輪配置于 凸出平臺(tái)內(nèi)部且嵌入于滑動(dòng)裝置的滑槽中以及一個(gè)與滑動(dòng)裝置連接成一 體的定位彈片。本專利技術(shù)接著提供一種前開式園片盒，主要包括一盒體，盒體內(nèi)部設(shè)有 復(fù)數(shù)個(gè)插槽以容置復(fù)數(shù)個(gè)園片，且在盒體的一側(cè)面形成一開口可供復(fù)數(shù)個(gè) 園片的輸入及輸出，以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，門體是以內(nèi) 表面與盒體的開口相結(jié)合，并用以保護(hù)盒體內(nèi)部的復(fù)數(shù)個(gè)園片，其中前開 式園片盒的特征在于門體外表面及內(nèi)表面之間配置至少一門閂結(jié)構(gòu)，其 包括一橢圓凸輪、 一對(duì)與橢圓凸輪兩端接觸的滑動(dòng)裝置、至少一個(gè)滑輪配 置于門體外表面及內(nèi)表面之間且嵌入于滑動(dòng)裝置的滑槽中以及一個(gè)與滑 動(dòng)裝置連接成一體的定位彈片。附圖說(shuō)明圖1是公知技術(shù)的本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種前開式園片盒，主要包括一盒體，該盒體內(nèi)部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)插槽以容置復(fù)數(shù)個(gè)園片，且在該盒體的一側(cè)面形成一開口供該復(fù)數(shù)個(gè)園片的輸入及輸出，而該盒體開口處的邊緣配置至少一對(duì)插孔，以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面且于該門體的邊緣配置至少一對(duì)與該對(duì)插孔相應(yīng)的閂孔，該門體是以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結(jié)合，并用以保護(hù)該盒體內(nèi)部的該復(fù)數(shù)個(gè)園片，其中該前開式園片盒的特征在于： 該門體的該內(nèi)表面配置一凹陷區(qū)域且該凹陷區(qū)域位于兩凸出平臺(tái)之間，每一該凸出平臺(tái)內(nèi)部配置一門閂結(jié)構(gòu)，該門閂結(jié)構(gòu)包括一橢圓凸輪、一對(duì)與該橢圓凸輪兩端接觸的滑動(dòng)裝置、至少一個(gè)滑輪配置于該門體的該凸出平臺(tái)內(nèi)部且嵌入于該滑動(dòng)裝置的滑槽中以及一個(gè)與該滑動(dòng)裝置連接成一體的定位彈片，由控制該橢圓凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)使得該滑動(dòng)裝置往返于該對(duì)插孔與該閂孔中。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：林志銘，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：家登精密工業(yè)股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：71[中國(guó)|臺(tái)灣]
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