顯影液組成物制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)是有關(guān)于一種顯影液組成物，其包括：（ａ）０．０１至３０重量份的堿性化合物；（ｂ）０．０１至３０重量份的如下式（Ｉ）所示的陰離子性界面活性劑，式（Ｉ）；以及（ｃ）其余重量份的水配成１００重量份的顯影液組成物，其中，Ｘ、Ｒ１、Ｒ２、ｎ及ｍ的定義如說(shuō)明書中所述。本發(fā)明專利技術(shù)所使用的陰離子性界面活性劑具有高濁點(diǎn)，故可提高顯影液組成物的濃度。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)是關(guān)于一種顯影液組成物，尤其是指一種光阻劑的顯影液組成物，其可配制為高濃度的顯影液組成物，特別適用于彩色濾光片用光阻劑的顯影用途上。
技術(shù)介紹
—般在集成電路、印刷電路板和液晶顯示器等工藝中，為獲致精細(xì)圖像，常利用光阻劑等放射線敏感組成物以涂布方式在基材上形成薄膜，經(jīng)過(guò)放射線照射后，以堿性顯影液顯像，來(lái)除去不要的涂膜部分，以獲致良好的圖像。 常用的顯影方法有浸漬顯影、搖動(dòng)顯影、噴灑顯影和靜置顯影等技術(shù)。由于一般光阻劑是由堿可溶性樹脂，例如酚醛樹脂(Novolac)、壓克力樹脂、聚對(duì)-羥基苯乙烯等，搭配不同的放射線敏感物質(zhì)，以形成正型或負(fù)型光阻劑。光阻劑經(jīng)過(guò)放射線照射后，改變其原來(lái)的溶解度，而可以溶于堿性顯影液中。堿性顯影液中所使用的堿性化合物一般分為無(wú)機(jī)堿及有機(jī)堿兩大類， 一般無(wú)機(jī)堿可為氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、以及碳酸氫鈉等， 一般有機(jī)堿可為氫氧化四甲銨或烷醇胺等堿性化合物，其皆被廣泛使用于顯影液中。 然根據(jù)公知顯影液的技術(shù)，光阻劑在涂膜并預(yù)烤、曝光后，以堿性顯影液來(lái)溶解除去未曝光而不要的涂膜部份，其顯影的現(xiàn)象產(chǎn)生是因?yàn)樵摴庾鑴┲泻兴峁倌芑４说任挥谟袡C(jī)聚合物基質(zhì)內(nèi)的酸基于堿溶液中被中和，而形成水溶性有機(jī)聚合物鹽。當(dāng)所溶解的光阻劑于溶液中累積時(shí)，顯影槽中開始形成不溶性有機(jī)物質(zhì)，最后形成水不溶性殘?jiān)驓埩粑铩４说仍俪练e的殘留物在顯影時(shí)卻容易產(chǎn)生未顯影部位粒子或未溶解物的殘存，因此顯影后比較難以形成精確的光阻劑圖像。尤其，近年來(lái)，隨著家用平面顯示器的普及化，為了提高色彩對(duì)比性和飽和度，液晶顯示器用彩色濾光片光阻劑添加了更多的顏料微粒子，使顯影時(shí)顯影槽中被溶解的顏料微粒子或其它的成分等水不溶性殘留物，容易隨著殘?jiān)睦鄯e，再沉積回基板或光阻涂膜上，造成彩色濾光片上殘留有殘?jiān)⒈砻嫖廴镜辱Υ谩?為了改善上述缺失，目前光阻劑的堿性顯影液除了堿性化合物外，還含有用于增強(qiáng)其清潔力的界面活性劑，以減少形成殘?jiān)?scum)的傾向。如美國(guó)專利US7，150，960即公開添加非離子性界面活性劑有降低殘?jiān)男ЧＡ硗猓砑咏缑婊钚詣┯性黾语@影速率，提高生產(chǎn)效率的優(yōu)點(diǎn)。 目前業(yè)界較常使用且具有卓越清潔力的非離子界面活性劑，為環(huán)氧烷基類界面活性劑。為了達(dá)到最大的清潔力，除了單一的環(huán)氧烷基類界面活性劑，還會(huì)使用復(fù)數(shù)種類的環(huán)氧烷基類界面活性劑的混合物，其中包括不同摩爾數(shù)的復(fù)數(shù)種類環(huán)氧烷基，如環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙烷等。 然而，此類堿性顯影液因添加有非離子界面活性劑，所以會(huì)繼承代表界面活性劑性質(zhì)之一的濁點(diǎn)(當(dāng)堿性顯影液的溫度升高或濃度提升時(shí)，導(dǎo)致該顯影液變成白濁的溫度)。尤其是無(wú)機(jī)堿類顯影液偶爾會(huì)出現(xiàn)以下問題堿性顯影液可能在儲(chǔ)存或運(yùn)送過(guò)程中受熱而變白濁及分層，進(jìn)而析出，嚴(yán)重的是，在儲(chǔ)槽中因?yàn)榉謱訉?dǎo)致計(jì)量的濃度不正確，上下層的濃度及成分比例都不相同，更嚴(yán)重的是，在輸送的管路中因?yàn)闇囟茸兓謱游龀觯诠苈返乃澜侵卸逊e，進(jìn)而堵塞管路。 —般的堿性顯影液在低濃度時(shí)不易發(fā)現(xiàn)非離子界面活性劑析出分層的現(xiàn)象，然而， 一旦需配制高濃度的堿性顯影液時(shí)，由于非離子界面活性劑的疏水基團(tuán)與水的疏水作用大于親水基團(tuán)的親水作用，因而發(fā)生分層進(jìn)而析出的問題。 故此類堿性顯影液的濃度會(huì)受其濁點(diǎn)的限制，而無(wú)法大幅的提高。故常常在此類型的顯影液中有相當(dāng)部份是溶劑，若試圖提高顯影液的濃度，以減少溶劑體積進(jìn)而減少運(yùn)費(fèi)時(shí)，就會(huì)有濁點(diǎn)下降至室溫以下，導(dǎo)致溶解度不佳，進(jìn)而分層析出的問題。 有一種提高堿性顯影液濁點(diǎn)方式，就是使用具有高濁點(diǎn)的非離子界面活性劑，但加入高濁點(diǎn)的非離子界面活性劑，會(huì)有產(chǎn)生其它的副作用，如在光阻膜上會(huì)殘存界面活性劑，或是產(chǎn)生殘?jiān)取?另 一 種提高堿性顯影液濁點(diǎn)方式，就是添加 一 種提高濁點(diǎn)的添加劑，例如TW200836026公開專利所提及的加入一種具有特別結(jié)構(gòu)的單羧酸化合物，例如加入苯甲酸鈉，可以有效的提高濁點(diǎn)，但還是會(huì)產(chǎn)生其它的副作用，如可能導(dǎo)致廢水池中的微生物死亡。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于提供一種顯影液組成物，其使用具有高濁點(diǎn)的陰離子界面活性劑，因而可提高顯影液組成物的濃度，使得本專利技術(shù)的顯影液組成物在高濃度下亦具有高濁點(diǎn)，可克服顯影液組成物可能在儲(chǔ)存或運(yùn)送過(guò)程中受熱而變白濁及分層進(jìn)而析出的問題，同時(shí)，本專利技術(shù)所使用的陰離子界面活性劑具有良好清潔力，可有效減少殘?jiān)⒈砻嫖廴镜辱Υ谩?據(jù)此，本專利技術(shù)提供的顯影液組成物，其包括(a)堿性化合物；(b)如下式(I)所示的陰離子性界面活性劑；以及(C)水，<formula>formula see original document page 4</formula><formula>formula see original document page 4</formula>式(I) 其中，X為氫、銨鹽、堿金屬或堿土金屬的陽(yáng)離子，&為氫原子或(V4烷基；R2為氫原子或C卜4烷基；n為0至10的整數(shù)；且m為4至20的整數(shù)。于式(I)中，^及1 2較佳分別為氫原子或甲基，更佳為甲基，而n較佳為0。 相較于一般公知顯影液，由于公知使用非離子界面活性劑，因此，當(dāng)提高顯影液的濃度時(shí)，會(huì)有溶解度不佳的析出問題，進(jìn)而導(dǎo)致顯影速度下降與殘?jiān)鼩埩簦蝗欢緦＠夹g(shù)所使用的陰離子性界面活性劑本身具有高濁點(diǎn)，因此可解決公知技術(shù)的濁點(diǎn)等問題，進(jìn)而可提高顯影液組成物的濃度。 于本專利技術(shù)的顯影液組成物中，(a)堿性化合物可為一般周知的堿性化合物，較佳可為，鋰、鉀、鈉等堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、磷酸鹽、硼酸鹽或氨等無(wú)機(jī)堿性化合物；或是氫氧化四甲銨、氫氧化2-氫氧化乙基三甲銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、三異丙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、或單乙醇二甲基胺等的有機(jī)堿性化合物，也可為上述化合物的混合物。于本專利技術(shù)的顯影液組成物中，(b)陰離子性界面活性劑具體實(shí)例包括聚環(huán)氧乙烯烷基醚(polyoxyethylene alkyl ether)、聚環(huán)氧乙烯烷基芳基醚(polyoxyethylenealkylphenyl ether)、聚環(huán)氧乙條月旨肪酸酉旨(polyoxyethylene fatty acid ester)、山梨醣醇酐脂肪酸酯(sorbitanfatty acid ester)、聚環(huán)氧乙烯山梨醣醇酐脂肪酸酉旨(polyoxyethylenesorbitan fatty acid ester)、聚環(huán)氧乙烯苯乙烯化芳基醚(polyoxyethylene styrenated phenyl ether)、聚環(huán)氧乙烯二苯乙烯化芳基醚(polyoxyethylene distyrenated phenyl ether)、聚環(huán)氧乙烯三苯乙烯化芳基鵬(polyoxyethylene triistyrenated phenyl ether)、聚環(huán)氧乙烯氧化丙烯共聚物(polyoxyethylene polyoxypropylene ether)等非離子界面活性劑的陰離子化產(chǎn)物，也可為上述物質(zhì)的混合物。于上述陰離子化產(chǎn)物中，其陰離子基較佳為磺酸基，其配對(duì)的陽(yáng)離子基較佳為氫、銨鹽、堿金屬或堿土金屬陽(yáng)離子。 于本專利技術(shù)的顯影液組成本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種顯影液組成物，包括：（ａ）０．０１至３０重量份的堿性化合物；（ｂ）０．０１至３０重量份的如下式（Ⅰ）所示的陰離子性界面活性劑，＊＊＊式（Ⅰ）其中，Ｘ為氫、銨鹽、堿金屬或堿土金屬的陽(yáng)離子，Ｒ↓［１］為氫原子或Ｃ↓［１－４］烷基，Ｒ↓［２］為氫原子或Ｃ↓［１－４］烷基，ｎ為０至１０的整數(shù)，且ｍ為４至２０的整數(shù)；以及（ｃ）其余重量份的水配成１００重量份的該顯影液組成物。

【技術(shù)特征摘要】
一種顯影液組成物，包括(a)0.01至30重量份的堿性化合物；(b)0.01至30重量份的如下式(I)所示的陰離子性界面活性劑，式(I)其中，X為氫、銨鹽、堿金屬或堿土金屬的陽(yáng)離子，R1為氫原子或C1-4烷基，R2為氫原子或C1-4烷基，n為0至10的整數(shù)，且m為4至20的整數(shù)；以及(c)其余重量份的水配成100重量份的該顯影液組成物。F200810184388XC0000011.tif2. 如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，&為氫原子或甲基，R2為氫原子或甲基。3. 如權(quán)利要求2所述的顯影液組成物，其中，n為0。4. 如權(quán)利要求3所述的顯影液組成物，其中，&及R2為甲基。5. 如權(quán)利要求1所述的顯影液組成物，其中，該堿性化合物的含i6. 如權(quán)利要求1所述...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉大銘，李晏成，鄭敏精，周德綱，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：明德國(guó)際倉(cāng)儲(chǔ)貿(mào)易上海有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：31[中國(guó)|上海]