一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置制造方法及圖紙

本技術(shù)公開了一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其包括：底座、轉(zhuǎn)盤、半導(dǎo)體器件載具、探針、固定板和升降板，所述轉(zhuǎn)盤可旋轉(zhuǎn)地水平設(shè)置在底座上方，所述半導(dǎo)體器件載具間隔設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上，所述底座上設(shè)置有位于轉(zhuǎn)盤兩側(cè)的立柱，所述固定板設(shè)置在立柱的頂部，所述升降板可升降地設(shè)置在固定板的下方，所述升降板底部水平設(shè)置有電動絲桿滑臺，所述電動絲桿滑臺底部設(shè)置有滑座，所述滑座底部設(shè)置有與探針對應(yīng)的安裝套，所述探針設(shè)置在安裝套中并指向下方。本技術(shù)所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，可以實(shí)現(xiàn)對多個(gè)半導(dǎo)體器件的依次檢測以及對單個(gè)半導(dǎo)體器件上多個(gè)檢測點(diǎn)的檢測，提升了檢測效率。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及半導(dǎo)體器件檢測領(lǐng)域，尤其涉及一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置。

技術(shù)介紹

1、在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過程中，為了確保半導(dǎo)體器件的性能，需要進(jìn)行對應(yīng)的檢測。半導(dǎo)體器件的體積小，檢測過程中可以通過探針與半導(dǎo)體器件對應(yīng)端口進(jìn)行接觸和檢測。

2、為了提升自動化水平，可以通過設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體器件的定位以及探針的驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)自動檢測，但是探針和半導(dǎo)體器件的位置固定，每次裝夾只能進(jìn)行單個(gè)半導(dǎo)體器件的檢測，效率低，而且如果半導(dǎo)體器件上含有多個(gè)檢測點(diǎn)位的話，還需要更換設(shè)備，成本高，需要進(jìn)行改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的目的在于提供一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，可以進(jìn)行多個(gè)半導(dǎo)體器件的檢測或者單個(gè)半導(dǎo)體器件檢測上多個(gè)檢測點(diǎn)的檢測，提升檢測效率。

2、為達(dá)此目的，本技術(shù)采用以下技術(shù)方案：

3、一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，包括：底座、轉(zhuǎn)盤、半導(dǎo)體器件載具、探針、固定板和升降板，所述轉(zhuǎn)盤可旋轉(zhuǎn)地水平設(shè)置在底座上方，所述半導(dǎo)體器件載具間隔設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上，所述底座上設(shè)置有位于轉(zhuǎn)盤兩側(cè)的立柱，所述固定板設(shè)置在立柱的頂部，所述升降板可升降地設(shè)置在固定板的下方，所述升降板底部水平設(shè)置有電動絲桿滑臺，所述電動絲桿滑臺底部設(shè)置有滑座，所述滑座底部設(shè)置有與探針對應(yīng)的安裝套，所述探針設(shè)置在安裝套中并指向下方。

4、其中，所述底座上設(shè)置有驅(qū)動轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的電機(jī)。

5、其中，所述半導(dǎo)體器件載具在轉(zhuǎn)盤上環(huán)形陣列分布。

6、其中，所述固定板上設(shè)置有與升降板相連接的氣缸。

7、其中，所述安裝套一側(cè)設(shè)置有指向探針的緊固螺絲。

8、其中，所述滑座底部設(shè)置有與探針線性連接的檢測儀。

9、其中，所述升降板上設(shè)置有與立柱對應(yīng)的導(dǎo)向孔。

10、本技術(shù)的有益效果：一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，半導(dǎo)體器件可以放置在半導(dǎo)體器件載具上，通過轉(zhuǎn)盤依次送至探針下方，利用升降板驅(qū)動探針下降，進(jìn)行半導(dǎo)體器件的監(jiān)測，或者通過轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)以及探針隨滑座的橫移，實(shí)現(xiàn)對單個(gè)半導(dǎo)體器件上多個(gè)檢測點(diǎn)的依次檢測，通用性好，提升了檢測效率，降低了人工成本。

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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，包括：底座、轉(zhuǎn)盤、半導(dǎo)體器件載具、探針、固定板和升降板，所述轉(zhuǎn)盤可旋轉(zhuǎn)地水平設(shè)置在底座上方，所述半導(dǎo)體器件載具間隔設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上，所述底座上設(shè)置有位于轉(zhuǎn)盤兩側(cè)的立柱，所述固定板設(shè)置在立柱的頂部，所述升降板可升降地設(shè)置在固定板的下方，所述升降板底部水平設(shè)置有電動絲桿滑臺，所述電動絲桿滑臺底部設(shè)置有滑座，所述滑座底部設(shè)置有與探針對應(yīng)的安裝套，所述探針設(shè)置在安裝套中并指向下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，所述底座上設(shè)置有驅(qū)動轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的電機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體器件載具在轉(zhuǎn)盤上環(huán)形陣列分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，所述固定板上設(shè)置有與升降板相連接的氣缸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，所述安裝套一側(cè)設(shè)置有指向探針的緊固螺絲。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，所述滑座底部設(shè)置有與探針線性連接的檢測儀。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，所述升降板上設(shè)置有與立柱對應(yīng)的導(dǎo)向孔。

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【技術(shù)特征摘要】

1.一種基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，包括：底座、轉(zhuǎn)盤、半導(dǎo)體器件載具、探針、固定板和升降板，所述轉(zhuǎn)盤可旋轉(zhuǎn)地水平設(shè)置在底座上方，所述半導(dǎo)體器件載具間隔設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上，所述底座上設(shè)置有位于轉(zhuǎn)盤兩側(cè)的立柱，所述固定板設(shè)置在立柱的頂部，所述升降板可升降地設(shè)置在固定板的下方，所述升降板底部水平設(shè)置有電動絲桿滑臺，所述電動絲桿滑臺底部設(shè)置有滑座，所述滑座底部設(shè)置有與探針對應(yīng)的安裝套，所述探針設(shè)置在安裝套中并指向下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于探針的半導(dǎo)體器件檢測裝置，其特征在于，所述底座上設(shè)置有驅(qū)動轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)的電機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：周炳，
申請(專利權(quán))人：張家港意發(fā)功率半導(dǎo)體有限公司，
類型：新型
國別省市：