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本技術公開了一種基于探針的半導體器件檢測裝置，其包括：底座、轉盤、半導體器件載具、探針、固定板和升降板，所述轉盤可旋轉地水平設置在底座上方，所述半導體器件載具間隔設置在轉盤上，所述底座上設置有位于轉盤兩側的立柱，所述固定板設置在立柱的頂部，...該專利屬于張家港意發功率半導體有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過張家港意發功率半導體有限公司授權不得商用。
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