【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及柔性結構，具體地，涉及一種變剛度柔性機構和柔性平臺。
技術介紹
1、納米技術在現代科學及工業中占據越來越重要的地位，因其潛在巨大的科學價值、經濟價值和社會價值，已被廣泛視為一項重要的戰略技術。其中，納米操控是在原子或分子尺度上移動或改變樣品的過程，在原子操作、納米線操作、納米光刻、納米表征、半導體制備和半導體檢測等領域均有廣泛應用。納米操控也是力學、物理學、化學、材料學和生物學等多學科的交叉研究的前沿熱點。
2、相關技術中，為實現宏觀尺度的納米制備，需求搭建兼具納米精度和宏觀運動范圍的運動系統。為應對這一挑戰，可以考慮使用剛性平臺或柔性平臺。其中剛性平臺包括傳統的導軌運動臺、氣浮運動臺和磁浮運動臺等。而導軌運動臺由于其不可避免的存在摩擦，因此難以實現納米級精度，氣浮運動臺需要氣源且對外界環境有一定要求、磁浮運動臺的磁場可能對操作產生影響。
技術實現思路
1、本專利技術旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。
2、為此，本專利技術的實施例提出一種變剛度柔性機構和柔性平臺，該變剛度柔性機構具有結構緊湊、運動重復度高的優點。
3、根據本專利技術實施例的變剛度柔性機構包括：
4、固定座和擺動座，所述固定座和所述擺動座在所述固定座的高度方向上間隔布置；
5、第一變形件，所述第一變形件的第一端與所述固定座相連，所述第一變形件的第二端與所述擺動座相連，所述擺動座相對所述固定座移動，所述第一變形件可彎曲；
<...【技術保護點】
1.一種變剛度柔性機構，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的變剛度柔性機構，其特征在于，還包括柔性單元，所述柔性單元與所述固定座相連，所述柔性單元包括第一固定件、第二固定件和柔性件，所述第一固定件和所述第二固定件沿所述固定座的高度方向間隔布置，所述第一固定件和所述第二固定件之間限定出緩沖區，所述柔性件與所述第一固定件和所述第二固定件相連且置于所述緩沖區內，所述柔性件為多個，多個所述柔性件在所述固定座的長度方向上相對布置，所述柔性件包括依次相連的第一柔性部、第一連接部和第二柔性部，所述第一連接部的延伸方向與所述固定座的高度方向一致，所述第一柔性部和所述第二柔性部在所述第一連接部的延伸方向上相對布置，所述第一柔性部和所述第二柔性部在所述固定座的高度方向的尺寸相等，且在所述第一固定件和所述第二固定件之間發生相對移動，所述第一柔性部和所述第二柔性部可彎曲。
3.根據權利要求2所述的變剛度柔性機構，其特征在于，所述第一固定件包括第一固定本體和第一凸出部，所述第一凸出部與所述第一固定本體相連且朝向所述第二固定件延伸，所述第一凸出部為多個，多個所述第一凸出部沿所
4.根據權利要求3所述的變剛度柔性機構，其特征在于，所述第一柔性部到所述第一固定本體之間的距離與所述第二柔性部到所述第二固定本體之間的距離之和大于等于所述第一凸出部到所述第二凸出部之間的距離。
5.根據權利要求4所述的變剛度柔性機構，其特征在于，所述第一連接部鄰近所述第一固定本體的側壁與所述第一柔性部鄰近所述第一固定本體的側壁共面；
6.根據權利要求5所述的變剛度柔性機構，其特征在于，所述第一變形件為多個，多個所述第一變形件沿所述固定座的長度方向間隔布置。
7.根據權利要求6所述的變剛度柔性機構，其特征在于，所述第二變形件為多個，所述配合槽為多個，多個所述配合槽與多個所述第二變形件一一對應，多個所述第二變形件沿所述固定座的長度方向間隔布置。
8.根據權利要求7所述的變剛度柔性機構，其特征在于，在沿所述固定座的長度方向上，相鄰的兩個所述第一變形件之間設置至少一個所述第二變形件。
9.根據權利要求7所述的變剛度柔性機構，其特征在于，還包括多個柔性組，一個所述柔性組包括連接件和多個第二變形件，多個所述第二變形件的第二端與所述連接件相連且置于所述配合槽內。
10.一種柔性平臺，其特征在于，包括：多個連接座和多個柔性機構，所述柔性機構為根據權利要求1-9中任一項所述的變剛度柔性機構，多個所述連接座分為第一連接組和第二連接組，所述第一連接組和所述第二連接組在第一方向上間隔開，所述第一連接組和所述第二連接組均包括多個所述連接座，且所述第一連接組的多個所述連接座與所述第二連接組的多個所述連接座一一對應，多個所述連接座沿所述第一方向的周向間隔布置，相鄰的兩個所述連接座之間連接一個所述柔性機構。
...【技術特征摘要】
1.一種變剛度柔性機構，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的變剛度柔性機構，其特征在于，還包括柔性單元，所述柔性單元與所述固定座相連，所述柔性單元包括第一固定件、第二固定件和柔性件，所述第一固定件和所述第二固定件沿所述固定座的高度方向間隔布置，所述第一固定件和所述第二固定件之間限定出緩沖區，所述柔性件與所述第一固定件和所述第二固定件相連且置于所述緩沖區內，所述柔性件為多個，多個所述柔性件在所述固定座的長度方向上相對布置，所述柔性件包括依次相連的第一柔性部、第一連接部和第二柔性部，所述第一連接部的延伸方向與所述固定座的高度方向一致，所述第一柔性部和所述第二柔性部在所述第一連接部的延伸方向上相對布置，所述第一柔性部和所述第二柔性部在所述固定座的高度方向的尺寸相等，且在所述第一固定件和所述第二固定件之間發生相對移動，所述第一柔性部和所述第二柔性部可彎曲。
3.根據權利要求2所述的變剛度柔性機構，其特征在于，所述第一固定件包括第一固定本體和第一凸出部，所述第一凸出部與所述第一固定本體相連且朝向所述第二固定件延伸，所述第一凸出部為多個，多個所述第一凸出部沿所述柔性單元的長度方向相對布置；
4.根據權利要求3所述的變剛度柔性機構，其特征在于，所述第一柔性部到所述第一固定本體之間的距離與所述第二柔性部到所述第二固定本體之間的距離之和大于等于所述第一凸出部到所述第二凸出部之間的距離。
5.根據權...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉義杰，姜鵬飛，王子越，羅超，郭吉昌，陳志良，韋堯中，劉暢，何宗科，任旺，
申請(專利權)人：中煤科工天津巖層智控科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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