用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及一種密封裝置，公開了一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置。所述運動管件可相對固定平板旋轉和/或上下滑動，該密封裝置包括上軸套和下軸套，所述上軸套和下軸套分別套在所述運動管件的管壁上；下軸套下端與所述固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內部；上軸套上端與所述運動管件連接。本發明專利技術采用上軸套和下軸套對運動管件和固定平板的連接處進行封閉，一方面避免運動管件中噴出的液體從該連接處進入其它腔室，另一方面保證運動管件的順利運動；進一步地，在上軸套上部的內壁和下軸套下部的外壁之間的間隙中設有滾珠固定架和滾珠，可有效保證運動管件與固定平板的垂直度。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及ー種密封裝置，特別是涉及ー種用于可旋轉和/或上下滑動的運動管件和固定平板連接處的密封裝置。
技術介紹
目前，在多種設備中需要安裝既可以旋轉又可以滑動的運動管件，如用于硅片清洗的清洗設備エ藝腔室中的噴淋臂。根據不同エ藝的要求，運動管件在工作時可相對其固定平板進行旋轉和/或上下滑動，因而運動管件與固定平板之間需留有一定的間隙來保證順利運動。然而，管件中噴出的液體經常會有部分通過運動管件與固定平板之間的間隙進入到其它的腔室中，影響其它腔室的正常運行。因此，對運動管件和固定平板的連接處進行有效密封是非常必要的，但現有的設備中未設置密封裝置來防止該類連接處的液體滲漏。
技術實現思路
(一)要解決的技術問題本專利技術要解決的技術問題是如何提供一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，以克服運動管件中噴出的液體從該連接處進入其它腔室導致影響其他腔室正常運行的弊端。(ニ)技術方案為了解決上述技術問題，本專利技術提供的一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，所述運動管件可相對固定平板旋轉和/或上下滑動，所述密封裝置包括上軸套和下軸套，所述上軸套和下軸套分別套在所述運動管件的管壁上；下軸套下端與所述固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內部；上軸套上端與所述運動管件連接。其中，所述下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，所述邊沿與固定平板連接。其中，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內壁之間設有間隙。其中，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內壁之間的間隙中設有滾珠固定架，所述滾珠固定架內設有滾珠。其中，所述滾珠固定架設于所述下軸套上部的外壁上。其中，所述滾珠固定架在所述下軸套上部的外壁周向上設有設為多個，多個所述滾珠固定架分布在所述下軸套上部的外壁周向上。其中，所述滾珠固定架設為三個。其中，所述上軸套上端與所述運動管件的連接處設有密封圏。其中，所述密封圈設為多個。其中，所述上軸套上端由可拆卸的左、右部分組成。(三)有益效果上述技術方案所提供的一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，采用上軸套和下軸套對運動管件和固定平板的連接處進行封閉，下軸套下端與固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內部，上軸套上端與運動管件連接，一方面避免運動管件中噴出的液體從該連接處進入其它腔室，另ー方面保證運動管件的順利運動；進ー步地，下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，該邊沿與固定平板連接，可確保下軸套與固定平板的密封性，以防止運動管件中的液體從下軸套與固定平板連接處的間隙中泄露；進ー步地，在上軸套和下軸套的間隙中増加滾珠，使得在維持運動管件正常旋轉和/或正常上下滑動的同吋，可有效保證運動管件與固定平板的垂直度并產生少量的粉塵顆粒。附圖說明圖I是本專利技術一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置的剖面圖；圖2是本專利技術一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置的外觀圖；圖3是本專利技術中下軸套的俯視圖；圖4是本專利技術中上軸套的裝配圖。 其中，I、運動管件；2、固定平板；3、上軸套；31、上軸套上端；32、上軸套下部；311、左部分；312、右部分；4、下軸套；41、下軸套上部；42、下軸套下端；5、滾珠固定架；6、密封圏。具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本專利技術的具體實施方式作進ー步詳細描述。以下實施例用于說明本專利技術，但不用來限制本專利技術的范圍。如圖I和圖2，本專利技術實施例提供的用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，該運動管件I可相對固定平板2旋轉和/或上下滑動，該密封裝置包括上軸套3和下軸套4，該上軸套3和下軸套4分別套在運動管件I的管壁上；下軸套下端42與固定平板2連接，下軸套上部41位于上軸套下部32的內部；上軸套上端31與運動管件I連接。本專利技術采用上軸套3和下軸套4對運動管件I和固定平板2的連接處進行封閉，一方面避免運動管件I中噴出的液體從該連接處進入其它腔室，另ー方面保證運動管件I的順利運動。為了確保下軸套4與固定平板2的密封性，以防止運動管件I中的液體從下軸套4與固定平板2連接處的間隙中泄露，下軸套下端42帶有沿徑向突起的邊沿，該邊沿與固定平板連接。為了使得從運動管體I上噴出的液體更加地遠離運動管體I與固定平板2的連接處，以達到更佳的密封效果，上軸套下部32較上軸套上端31的直徑要大，使得從運動管件I上噴出的液體沿較寬的下部31甩出。下軸套上部41的外壁與上軸套下部32的內壁之間設有間隙，該間隙可減少運動管件I在旋轉和/或上下滑動時所受到的阻力。進ー步地，為了在維持運動管件I正常旋轉和/或正常上下滑動的同時，有效保證運動管件I與固定平板2的垂直度并產生少量的粉塵顆粒，該少量的粉塵顆粒不會對運動管件I的運動造成不利影響，如圖I和圖3，本實施例在下軸套上部41的外壁與上軸套下部32的內壁之間的間隙中設有滾珠固定架5，該滾珠固定架5內設有滾珠。優選地，滾珠固定架5設于下軸套上部41的外壁上，以便于加エ。滾珠固定架5在下軸套4的上部41外壁周向上設有多個，可均勻分布或非均勻分布，優選為均勻分布，以提高運動管件I運動的穩定性。更優地，該滾珠固定架5在下軸套上部41的外壁周向上設有三個。另外，該滾珠固定架5還可沿上軸套3的上部外壁周向上環形設置，然后再在該環形滾珠固定架5中設置多個固定格用于安裝滾珠。為了提高上軸套3與運動管件I連接處的密封性，本實施例在上軸套3與運動管件I的連接處設有密封圈6。該密封圈6可設為多個。優選地，密封圈6設為三個。如圖4所示，上軸套上端31由可拆卸的左、右部分311、312組成，并由螺釘進行連接，其目的是為了提高密封圈6的的壓緊カ并方便密封圈6的安裝和更換。上述技術方案所提供的一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置所產生的主要效果為I、采用上軸套和下軸套對運動管件和固定平板的連接處進行封閉，下軸套下端與固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內部，上軸套上端與運動管件連接，一方面避免運動管件中噴出的液體從該連接處進入其它腔室，另ー方面保證運動管件的順利運動；2、下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，該邊沿與固定平板連接，可確保下軸套與固定平板的密封性，以防止運動管件中的液體從下軸套與固定平板連接處的間隙中泄露； 3、在上軸套和下軸套的間隙中增加滾珠，使得在維持運動管件正常旋轉和/或正常上下滑動的同時，可有效保證運動管件與固定平板的垂直度并產生少量的粉塵顆粒，該少量的粉塵顆粒不會對運動管件的運動造成不利影響。以上所述僅是本專利技術的優選實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本專利技術技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本專利技術的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，所述運動管件可相對固定平板旋轉和/或上下滑動，其特征在于，所述密封裝置包括上軸套和下軸套，所述上軸套和下軸套分別套在所述運動管件的管壁上；下軸套下端與所述固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內部；上軸套上端與所述運動管件連接。

【技術特征摘要】
1.一種用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，所述運動管件可相對固定平板旋轉和/或上下滑動，其特征在于，所述密封裝置包括上軸套和下軸套，所述上軸套和下軸套分別套在所述運動管件的管壁上；下軸套下端與所述固定平板連接，下軸套上部位于上軸套下部的內部；上軸套上端與所述運動管件連接。2.如權利要求I所述的用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述下軸套下端帶有沿徑向突起的邊沿，所述邊沿與固定平板連接。3.如權利要求I所述的用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內壁之間設有間隙。4.如權利要求3所述的用于運動管件和固定平板連接處的密封裝置，其特征在于，所述下軸套上部的外壁與所述上軸套下部的內壁之間的間隙中設有滾珠固定架，所述滾珠固定架內設...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王浩，姬丹丹，王銳廷，
申請(專利權)人：北京七星華創電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：