本發明專利技術公開了一種支撐腳裝置，包括：支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環，所述支撐腳本體位于支撐環上表面，所述支撐腳螺母穿過支撐環下表面與所述支撐腳本體通過緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環。本發明專利技術的支撐腳裝置結構簡單、易實現、可以不受設備結構限制，節省設備空間、可根據需要沿圓環調節位置，以克服現有技術中支撐腳單一性安裝方式的缺陷。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體晶片工藝
，特別涉及一種支撐腳裝置，尤其涉及一種用于半導體晶片工藝過程的支撐腳裝置。
技術介紹
現有技術的支撐腳都是半開放式的，只能調節支撐腳到圓心的前后距離，這種支撐腳只需在圓環上開相應的對心槽即可實現，但在實際應用中有一定的局限性。比如，在半導體行業，根據設備本身的結構，機械手的活動空間受到一定的限制，取片時可能會由于支撐腳的安裝位置不當，導致機械手出現撞車的情況。這種情況下，在不改變支撐腳大小，如果擴大機械手的進手范圍，從而會避免上述情況發生，同時也會節省設備本身的空間。圖I為現有技術去掉其中一個支撐腳本體后的結構圖，如圖I所示，現有技術的支撐腳本體I只能通過對心槽3來調節支撐腳本體I到圓心距離，不能使之根據設備本身的結構要求使支 撐腳本體I沿支撐環2調節位置，這樣調節形式單一。
技術實現思路
(一)要解決的技術問題本專利技術要解決的技術問題是，針對現有技術的不足，提供一種構簡單、易實現、可以不受設備結構限制，節省設備空間、可根據需要沿圓環調節位置的開放式支撐腳裝置。(二)技術方案一種支撐腳裝置，包括支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環，所述支撐腳本體位于支撐環上表面，所述支撐腳螺母穿過支撐環下表面與所述支撐腳本體通過緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環。更好地，所述支撐腳本體包括在所述支撐腳本體上表面開設的調節所述支撐腳本體到所述支撐環圓心的距離的長形圓孔，在所述支撐腳本體下表面開設的使支撐腳本體滑行的滑行槽，所述滑行槽與所述長形圓孔連通；所述支撐腳本體還包括支撐晶片的斜行面和防止機械手碰撞的槽孔。更好地，支撐腳螺母包括在所述支撐腳螺母上表面開設的緊固所述支撐腳本體的螺紋孔，所述螺紋孔上下貫通所述支撐腳螺母，所述支撐腳螺母還包括卡入所述滑行槽的滑行塊、固定所述支撐環的突出塊和擋板，所述滑行塊的寬度與滑行槽內壁之間的寬度相同，所述擋板的上表面與所述支撐環的下表面緊密貼合。更好地，所述支撐環包括兩個套連的同心圓環。更好地，所述支撐腳螺母突出塊上設有兩個圓弧面，所述兩個圓弧面與所述兩個套連的同心圓環之間的內圓面接觸，并且所述突出塊的寬度與所述兩個同心圓環之間的距離相等。更好地，所述卡入滑行槽的滑行塊的上表面與滑行槽留有間隙。更好地，所述支撐腳本體及支撐腳螺母至少為3件。更好地，所述緊固件為螺栓。(三)有益效果本專利技術的支撐腳裝置結構簡單、易實現、可以不受設備結構限制，節省設備空間、可根據需要沿圓環調節位置，以克服現有技術中支撐腳單一性安裝方式的缺陷。附圖說明圖I為現有技術去掉其中一個支撐腳本體后的結構圖；圖2為本專利技術支撐腳裝置的剖面圖；圖3為本專利技術支撐腳本體的結構示意圖； 圖4為本專利技術支撐腳螺母的結構示意圖；圖5為本專利技術支撐環的結構示意圖；圖6為本專利技術支撐腳裝置使用示意圖。具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本專利技術的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本專利技術，但不用來限制本專利技術的范圍。如圖2所示，本專利技術提供一種支撐腳裝置，包括支撐腳本體100、支撐腳螺母200和支撐環300，所述支撐腳本體100位于支撐環300上表面，所述支撐腳螺母200穿過支撐環300下表面與所述支撐腳本體100通過緊固件400緊固，所述支撐腳本體100和支撐腳螺母200夾緊所述支撐環300。所述緊固件400為螺栓。如圖3所示，所述支撐腳本體100包括在所述支撐腳本體100上表面開設的調節所述支撐腳本體100到所述支撐環300圓心的距離的長形圓孔101，在所述支撐腳本體100下表面開設的使支撐腳本體100滑行的滑行槽102，所述滑行槽102與所述長形圓孔101連通；所述支撐腳本體100還包括支撐晶片4的斜行面103和防止機械手碰撞的槽孔104。如圖4所示，支撐腳螺母200包括在所述支撐腳螺母200上表面開設的緊固所述支撐腳本體100的螺紋孔203，所述螺紋孔203上下貫通所述支撐腳螺母200，所述支撐腳螺母200還包括卡入所述滑行槽102的滑行塊202、固定所述支撐環300的突出塊201和擋板204，所述滑行塊202的寬度與滑行槽102內壁之間的寬度相同。所述擋板204的上表面與所述支撐環300的下表面緊密貼合。如圖5所示，所述支撐環300包括兩個套連的同心圓環。所述支撐腳螺母突出塊201上設有兩個圓弧面，所述兩個圓弧面與所述兩個套連的同心圓環之間的內圓面接觸，并且所述突出塊201的寬度與所述兩個同心圓環之間的距離相等。所述支撐腳本體100斜行面103中心與所述支撐環300圓心相對。所述卡入滑行槽102的滑行塊202的上表面與滑行槽102留有間隙。所述支撐腳本體100及支撐腳螺母200至少為3件。如圖6所示，工作原理為在支撐腳安裝過程中，所述支撐腳本體100放置在支撐環300上表面，支撐腳螺母200從支撐環300的下表面穿過，使支撐腳螺母200上的擋板204與支撐環300的下表面緊密貼合，此時支撐腳螺母200上的滑行塊202已經落入支撐腳本體100的滑行槽102內，并且支撐腳螺母200上的突出塊201已經卡入支撐環300的兩個連接環之間，移動支撐腳螺母200到安裝位置，調整支撐腳本體100到圓心距離，緊固件400穿過支撐腳本體100與支撐腳螺母200并固定，由于支撐腳本體100上的滑行槽102底面與支撐腳螺母200上的滑行塊202上表面之間留有一定的間隙，所以能夠使支撐腳本體100、支撐腳螺母200和支撐環300連接牢固。如果沒有間隙，支撐腳本體100滑行槽102的底面與支撐腳螺母200的上表面會接觸，此時支撐腳螺母200的擋板204不能靠緊支撐環300，因此緊固件400失去固定的意義。本專利技術的支撐腳裝置，一方面可有效地解決支撐腳的單一安裝位置，使其根據需要沿圓環改變安裝位置，從而不受設備本身結構的限制，另一方面，由于機械手從兩個支撐本體100之間進手，本專利技術改變了支撐腳本體100安裝位置，給機械手留有最大的進手空間，在相同的支撐腳本體100的尺寸下，可以減小設備的尺寸。以上實施方式僅用于說明本專利技術，而并非對本專利技術的限制，有關
的普通技術人員，在不脫離本專利技術的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有 等同的技術方案也屬于本專利技術的范疇，本專利技術的專利保護范圍應由權利要求限定。本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種支撐腳裝置，其特征在于，包括：支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環，所述支撐腳本體位于支撐環上表面，所述支撐腳螺母穿過支撐環下表面與所述支撐腳本體通過緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環。
【技術特征摘要】
1.一種支撐腳裝置，其特征在于，包括支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環，所述支撐腳本體位于支撐環上表面，所述支撐腳螺母穿過支撐環下表面與所述支撐腳本體通過緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環。2.如權利要求I所述的支撐腳裝置，其特征在于，所述支撐腳本體包括在所述支撐腳本體上表面開設的調節所述支撐腳本體到所述支撐環圓心的距離的長形圓孔，在所述支撐腳本體下表面開設的使支撐腳本體滑行的滑行槽，所述滑行槽與所述長形圓孔連通；所述支撐腳本體還包括支撐晶片的斜行面和防止機械手碰撞的槽孔。3.如權利要求2所述的支撐腳裝置，其特征在于，支撐腳螺母包括在所述支撐腳螺母上表面開設的緊固所述支撐腳本體的螺紋孔，所述螺紋孔上下貫通所述支撐腳螺母，所述支撐腳螺母還...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李廣義，趙宏宇，裴立坤，徐俊成，王營營，
申請(專利權)人：北京七星華創電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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