平板型X射線圖像傳感器制造技術(shù)

本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)提供了一種平板型X射線圖像傳感器，通過(guò)將Vcom環(huán)形回路與多條數(shù)據(jù)線交疊的區(qū)域內(nèi)的部分Vcom環(huán)形回路設(shè)計(jì)成由多根相互之間具有間隙的支線段組成的支線段組，且所述支線段組兩頭超出所述交疊的區(qū)域，從而當(dāng)由于靜電放電擊穿而需要切割Vcom環(huán)形回路時(shí)，只需切割支線段組中多根支線段中的一根即可，由此，支線段組中剩余的多根支線段仍舊可以實(shí)現(xiàn)向光電二極管提供偏置電壓的功能，進(jìn)而避免了Vcom環(huán)形回路修復(fù)后出現(xiàn)浮空狀態(tài)，無(wú)法為光電二極管提供有效的偏置電壓的問(wèn)題，保證了平板型X射線圖像傳感器的性能。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及圖像顯示
，特別涉及一種平板型X射線圖像傳感器。
技術(shù)介紹
平板型X射線圖像傳感器是一種將X光按光強(qiáng)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的裝置。X光照射物體并且穿透物體后，通過(guò)吸收、散射、發(fā)射而使光強(qiáng)發(fā)生變化，不同區(qū)域的不同光強(qiáng)，表示了被照射物體不同區(qū)域的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的差異。穿透被照射物體的X光通過(guò)平板型X射線圖像傳感器轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的電信號(hào)，最終實(shí)現(xiàn)一個(gè)與被照射物體內(nèi)部結(jié)構(gòu)直接相關(guān)的灰階圖像。所以平板型X射線圖像傳感器實(shí)現(xiàn)了物體的無(wú)損內(nèi)部成像，是實(shí)現(xiàn)無(wú)損檢測(cè)的最佳方法之一，在醫(yī)療成像，工業(yè)無(wú)損探測(cè)等領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用和長(zhǎng)足的發(fā)展。平板型X射線圖像傳感器是一個(gè)大面積的像素陣列，像素的大小和多少反映了 最后圖像的分辨率和面積。請(qǐng)參考圖1，其為平板型X射線圖像傳感器中一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，平板型X射線圖像傳感器中每個(gè)像素都包括一個(gè)光電二極管(PIN Photo-Diode) 12及與所述光電二極管12耦接、用以控制電信號(hào)的讀取的薄膜晶體管(TFT) 11。具體的，當(dāng)X射線照射到閃爍層13(Scintillator，例如碘化銫，用以將X射線轉(zhuǎn)換成可見(jiàn)光)上，X射線被轉(zhuǎn)換為可見(jiàn)光，光電二極管12在可見(jiàn)光的照射下產(chǎn)生光電子，在光電二極管偏置電壓Vcom(公共電極)15的作用下，電子存儲(chǔ)到光電二極管底電極14上，接著由掃描時(shí)序電路(圖I中未示出)驅(qū)動(dòng)TFT 10逐行打開(kāi)，光電二極管12產(chǎn)生的光電子被讀出電路(圖I中未示出)收集并轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。現(xiàn)有的平板型X射線圖像傳感器中，給光電二極管提供偏置電壓的Vcom (公共電極)包括外圍的Vcom總線及顯示區(qū)內(nèi)的Vcom線，其中，外圍的Vcom總線圍繞像素陣列成環(huán)形形狀，位于不同層(layer)的信號(hào)線(一般為數(shù)據(jù)信號(hào)線)不可避免的與環(huán)形形狀的Vcom總線(Vcom環(huán)形回路，以下簡(jiǎn)稱(chēng)Vcom ring)相交疊。由于工藝設(shè)備接觸、電路貼合(1C/FPC bonding)、性能測(cè)試等手動(dòng)操作過(guò)程中會(huì)引入靜電，通常在數(shù)據(jù)信號(hào)線與Vcom ring交疊處釋放而產(chǎn)生靜電放電(Electron Static Discharge, ESD)擊穿,導(dǎo)致數(shù)據(jù)信號(hào)線與Vcom ring短路,使產(chǎn)品出現(xiàn)壞線而成為廢品。此類(lèi)缺陷現(xiàn)有的修復(fù)方式是激光隔離Vcomring與數(shù)據(jù)信號(hào)線的短路區(qū)域,但是這樣修復(fù)后Vcom ring被斷開(kāi),破壞了 Vcom環(huán)路電壓的一致性，使得平板型X射線圖像傳感器性能下降。請(qǐng)參考圖2，其為現(xiàn)有的平板型X射線圖像傳感器中Vcom ring修復(fù)狀態(tài)示意圖。如圖2所示，所述平板型X射線圖像傳感器包括光電二極管10、與所述光電二極管10耦接的TFT 9、用以讀取信號(hào)的數(shù)據(jù)信號(hào)線I及與所述信號(hào)線I相交疊的Vcom ring(在此，所述Vcom ring包括Vcom ring底層線2及Vcom ring頂層線3),當(dāng)然，還包括與所述Vcomring連接的、位于顯示區(qū)內(nèi)的Vcom線5,所述Vcom ring底層線2與數(shù)據(jù)信號(hào)線I的交疊處具有有源層4。當(dāng)由于靜電放電擊穿使得所述Vcom ring底層線2與數(shù)據(jù)信號(hào)線I連通時(shí)，就需要執(zhí)行激光隔離Vcom ring的短路區(qū)域。例如,數(shù)據(jù)信號(hào)線A與Vcom ring底層線2具有擊穿區(qū)域6，數(shù)據(jù)信號(hào)線C與Vcom ring底層線2具有擊穿區(qū)域7，則進(jìn)行激光修復(fù)時(shí)，需要將Vcom ring底層線2及Vcom ring頂層線3與數(shù)據(jù)線信號(hào)的短路區(qū)域予以隔離。具體的，在所述數(shù)據(jù)信號(hào)線A兩側(cè)執(zhí)行激光切割8，在所述數(shù)據(jù)信號(hào)線C兩側(cè)執(zhí)行激光切割8，此時(shí)即可把擊穿區(qū)域6及擊穿區(qū)域7予以隔離。但，這樣的修復(fù)同時(shí)帶來(lái)了一個(gè)問(wèn)題，即數(shù)據(jù)信號(hào)線A與數(shù)據(jù)信號(hào)線C之間的Vcom ring底層線2及Vcom ring頂層線3被斷開(kāi)了，從而使得與該部分Vcom ring連接的Vcom線5處于浮空狀態(tài)，即無(wú)法為光電二極管提供有效的偏置電壓，從而降低了平板型X射線圖像傳感器的性能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的在于提供一種平板型X射線圖像傳感器，以解決現(xiàn)有技術(shù)中Vcom ring(Vcom環(huán)形回路)修復(fù)后出現(xiàn)浮空狀態(tài),從而無(wú)法為光電二極管提供有效的偏置電壓，降低了平板型X射線圖像傳感器的性能的問(wèn)題。 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本技術(shù)提供一種平板型X射線圖像傳感器，所述平板型X射線圖像傳感器包括多條數(shù)據(jù)線及Vcom環(huán)形回路，所述Vcom環(huán)形回路與所述多條數(shù)據(jù)線相交疊，所述Vcom環(huán)形回路包括由多根相互之間具有間隙的支線段組成的支線段組，所述支線段組位于所述交疊的區(qū)域，且所述支線段兩頭超出所述交疊的區(qū)域，且所述支線段組中每根支線段的寬度不同。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述支線段組中每根支線段為矩形。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述支線段組中每根支線段是長(zhǎng)度相同的矩形金屬線。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述支線段組中支線段的數(shù)量至少為兩根。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述支線段組中相鄰兩根支線段之間的間隙形狀相同。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述Vcom環(huán)形回路還包括由一總線段，所述總線段與支線段組連接。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述支線段的線寬總和小于或等于所述總線段的線寬。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述支線段與總線段由同一導(dǎo)電層同時(shí)形成。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述Vcom環(huán)形回路包括Vcom環(huán)形回路底層線及位于所述Vcom環(huán)形回路底層線之上的Vcom環(huán)形回路頂層線。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述Vcom環(huán)形回路底層線為柵極線。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，所述Vcom環(huán)形回路頂層線為ITO透明電極線。可選的，在所述的平板型X射線圖像傳感器中，還包括光電二極管及與所述光電二極管耦接的薄膜晶體管。在本技術(shù)提供的平板型X射線圖像傳感器中，通過(guò)將Vcom環(huán)形回路與多條數(shù)據(jù)線交疊的區(qū)域內(nèi)的部分Vcom環(huán)形回路設(shè)計(jì)成由多根相互之間具有間隙的支線段組成的支線段組，且所述支線段組兩頭超出所述交疊的區(qū)域，從而當(dāng)由于靜電放電擊穿而需要切割Vcom環(huán)形回路時(shí)，只需切割支線段組中多根支線段中的一根即可，由此，支線段組中剩余的多根支線段仍舊可以實(shí)現(xiàn)向光電二極管提供偏置電壓的功能，進(jìn)而避免了 Vcom環(huán)形回路修復(fù)后出現(xiàn)浮空狀態(tài)，無(wú)法為光電二極管提供有效的偏置電壓的問(wèn)題，保證了平板型X射線圖像傳感器的性能。附圖說(shuō)明圖I是平板型X射線圖像傳感器中一個(gè)像素的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有的平板型X射線圖像傳感器中Vcom ring修復(fù)狀態(tài)示意圖；圖3是本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例的平板型X射線圖像傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。·具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本技術(shù)提供的平板型X射線圖像傳感器作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本技術(shù)實(shí)施例的目的。請(qǐng)參考圖3，其為本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例的平板型X射線圖像傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，所述平板型X射線圖像傳感器包括多條數(shù)據(jù)線31 ;及Vcom環(huán)形回路32，所述Vcom環(huán)形回路32與所述多條數(shù)據(jù)線31具有交疊33，所述本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種平板型X射線圖像傳感器，其特征在于，包括：多條數(shù)據(jù)線及Vcom環(huán)形回路，所述Vcom環(huán)形回路與所述多條數(shù)據(jù)線相交疊，所述Vcom環(huán)形回路包括由多根相互之間具有間隙的支線段組成的支線段組，所述支線段組位于所述交疊的區(qū)域，且所述支線段兩頭超出所述交疊的區(qū)域，且所述支線段組中每根支線段的寬度不同。

【技術(shù)特征摘要】

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：胡世文，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：上海天馬微電子有限公司，
類(lèi)型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：