一種基于激光沖擊波力學(xué)效應(yīng)的無閥微泵及其制造方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種基于激光沖擊波力學(xué)效應(yīng)的無閥微泵，該微泵包括泵體、流體入口、流體出口和犧牲層元件，其中泵體包括泵膜、泵腔以及擴張管和收縮管，所述擴張管和收縮管分別呈錐形管結(jié)構(gòu)，所述犧牲層元件設(shè)置在泵腔上部泵膜處并由對激光輻射敏感的材料制成。當(dāng)犧牲層表面受到激光輻射時，其吸收激光能量并瞬間氣化，發(fā)生膨脹并產(chǎn)生等離子體爆炸氣團以對泵膜起到?jīng)_擊波的作用，相應(yīng)使得泵腔體積交替改變由此執(zhí)行流體的輸送操作。本發(fā)明專利技術(shù)還公開了相應(yīng)的制造方法。通過本發(fā)明專利技術(shù)，能夠通過對微泵結(jié)構(gòu)上的設(shè)計，有效利用激光沖擊波力學(xué)效應(yīng)來實現(xiàn)泵送功能，同時具備便于加工、成本和功耗低以及可遠程控制等優(yōu)點。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護點】
一種基于激光沖擊波力學(xué)效應(yīng)的無閥微泵，該無閥微泵包括泵體、設(shè)置在泵體上的流體入口和流體出口，以及犧牲層元件，其中：所述泵體包括柔性高分子材料制成的泵膜、由泵膜包圍形成的泵腔，以及分別設(shè)置在流體入口、流體出口與泵腔之間并與泵腔相連通的擴張管和收縮管，所述擴張管呈錐形管結(jié)構(gòu)且其直徑沿著從流體入口到泵腔的方向逐漸增大，所述收縮管同樣呈錐形管結(jié)構(gòu)且其直徑沿著從泵腔到流體出口的方向逐漸增大；所述犧牲層元件設(shè)置在泵腔上部的泵膜處，并由對激光輻射敏感的材料制成，當(dāng)其表面受到激光輻射后，該犧牲層吸收激光能量并發(fā)生氣化膨脹，產(chǎn)生等離子體爆炸氣團以對與之相連的泵膜起到?jīng)_擊波的作用，相應(yīng)使得泵腔體積交替改變由此執(zhí)行流體的輸送操作。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：熊良才，夏俊超，段永青，陳鵬，程華旸，吳優(yōu)，周全生，
申請(專利權(quán))人：華中科技大學(xué)，
類型：發(fā)明
國別省市：