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本發(fā)明公開了一種基于激光沖擊波力學(xué)效應(yīng)的無閥微泵，該微泵包括泵體、流體入口、流體出口和犧牲層元件，其中泵體包括泵膜、泵腔以及擴(kuò)張管和收縮管，所述擴(kuò)張管和收縮管分別呈錐形管結(jié)構(gòu)，所述犧牲層元件設(shè)置在泵腔上部泵膜處并由對(duì)激光輻射敏感的材料制成。...該專利屬于華中科技大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過華中科技大學(xué)授權(quán)不得商用。