光罩盒的光罩卡止具制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)的目的在于提供一種光罩盒的光罩卡止具，該光罩盒的光罩卡止具是用于保存或搬運光罩基板的盒內(nèi)的光罩卡止具，其可不接觸光罩面而牢固地安置在盒內(nèi)，且可防止光罩的破損或由偏移引起產(chǎn)生靜電。本發(fā)明專利技術(shù)的光罩盒的光罩卡止具是包含混入有碳的樹脂者，其設(shè)置在光罩盒的內(nèi)表面的四角的各角部，從卡止具基體經(jīng)由彎曲臂而具有枝部，在枝部具有上表面方向的突起部及設(shè)置在該突起部的一面的傾斜面，通過光罩的棱線以該傾斜面將光罩載置在枝部上，且該彎曲臂朝下方向撓曲而以彈力保持光罩。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)是一種用以保存或搬運用于制造半導體元件或液晶顯示元件等的光罩基板的盒，且是關(guān)于一種光罩盒的光罩卡止具，其可牢固地安置在盒內(nèi)，并且可不接觸光罩面即賦予有光罩圖案的面或圖案化前的表面，進而可防止光罩的破損或由偏移引起產(chǎn)生靜電。
技術(shù)介紹
以往以來，關(guān)于半導體集成電路等的制造步驟中所使用的光罩基板，例如用以制造半導體元件或液晶顯示元件等的光刻蝕步驟等中所使用的光罩基板，極其排斥基板表面的污染，而關(guān)于在保存或搬運該光罩基板時收納其的光罩盒，使用其的主要目的在于防止在光罩基板上附著塵埃或產(chǎn)生傷痕等。光罩基板是微細的照相制版品，在光罩基板上附著塵埃或產(chǎn)生傷痕等會成為光罩的缺陷并再現(xiàn)于光阻上，若就這樣將該光罩基板裝入微電子器件中，則會破壞器件的正常功能，且因塵埃的附著而造成重大損傷，因此必須排除一切污染物，并極力防止塵埃的附著。因此，例如采用如下構(gòu)成，即在光罩基板的處理上作出不接觸端面以外的面等處理上的規(guī)定,或在收納時小心地處理以免塵埃附著在光罩基板上,此外小心地收納以免塵埃進入至光罩盒內(nèi)，進而不使塵埃進入收納后的光罩盒內(nèi)。此外，在賦予有光罩圖案的光罩基板上，通過框架支撐光罩護膜即以硝化纖維素為代表的光學上透明的薄膜以防止在光罩圖案面上附著塵?；虍a(chǎn)生傷痕。進而，以往的透明導電樹脂有時會產(chǎn)生有害氣體等，必須提供一種可代替其的素材，特別是可防止由帶電所引起的塵埃的附著的樹脂材料。考慮到導電體積電阻率這一點或防止有害氣體的產(chǎn)生、或者長期使用等而要求使用碳。因此，通過以聚碳酸酯為主體的樹脂而利用碳賦予導電性，可阻止有害氣體的產(chǎn)生及維持導電體積電阻率的合理值(E3 9 Ω)，雖然在這一點上非常有用，但相反地碳的混入使用量變多，光罩盒特別是與光罩基板接觸的卡止部變脆而導致產(chǎn)生微粒等。尤其關(guān)于卡止部，即便在包含高密度聚乙烯或低密度聚乙烯或者聚丙烯樹脂等具有比較黏的材質(zhì)的光罩盒中，也存在為了防止在與光罩基板的接觸部分處產(chǎn)生微粒而使卡止具具有特征的光罩盒。例如，作為光罩盒的卡止具即光罩支撐體，存在日本專利特開2001-301877所示的構(gòu)成者。作為該卡止具的光罩支撐體是從本體及蓋體的內(nèi)表面突出必要數(shù)量的保持枝部并在該部分上載置光罩基板的構(gòu)件，關(guān)于該保持枝部，揭示有在干部包括具有傾斜平面的臺板部的保持枝部或在干部具有帽子部的保持枝部?；蛘?，作為用以防止與光罩基板的接觸并防止光罩基板在收納時的偏移的構(gòu)成，有日本專利特開2003-222992或日本專利特開2005-321529。與日本專利特開2003-222892相關(guān)的構(gòu)成是如下的光罩盒關(guān)于該卡止具使用具有傾斜面的卡止具，本體的開口部方向的卡止具以使傾斜面朝向盒中心部逐漸變低的方式設(shè)置，深側(cè)方向的卡止具以使傾斜面朝向盒開口部方向逐漸變低的方式設(shè)置，進而蓋體的開口部方向的卡止具以使傾斜面朝向盒深側(cè)方向逐漸變低的方式而設(shè)置，蓋體的深側(cè)方向的卡止具以使傾斜面朝向盒中央部逐漸變低的方式設(shè)置，且在閉合蓋體時從上下方向并且從前后左右方向按壓光罩的棱線部分。此外，日本專利特開2005-321529中所示的構(gòu)成是一種具有卡止具的光罩盒，其由如下光罩盒構(gòu)成，該光罩盒在光罩基板的各角部方向上，具有用以分別在一個角部附近沿兩個方向載置或按壓光罩基板的進行卡止的卡止具，并且該卡止具包括分別適合于光罩基板的棱線面的傾斜面。日本專利特開2001-301877 日本專利特開2003-222992日本專利特開2005-321529
技術(shù)實現(xiàn)思路
首先，通過以聚碳酸酯為主體的樹脂而利用碳賦予導電性的導電性樹脂在阻止產(chǎn)生有害氣體及耐長期使用這一點上非常有用，相反地導電體積電阻率會因碳的混入比率而產(chǎn)生變動，且素材本身的脆性也會產(chǎn)生變動。因此，要求使用具有最佳的導電體積電阻率的聚碳酸酯樹脂。尤其，因至少含有碳而使素材表現(xiàn)出脆性，且必須防止卡止光罩基板的卡止具的破損、或防止在卡止具與光罩基板的接觸部分上產(chǎn)生微粒、以及極力消除由此所引起的光罩基板在光罩盒內(nèi)的偏移等。在此情形時，關(guān)于日本專利特開2001-301877中，將與光罩的接觸部分設(shè)為帽子部或具有傾斜平面的臺板部而極力減小接觸面，但至少在該部分上與光罩的面接觸，因而該部分的污染或產(chǎn)生傷痕是不可避免的。尤其有如下可能性成為以帽子部進行支撐或以具有傾斜平面的臺板部從四個方向支撐，因搬運時等的沖擊而導致內(nèi)部的光罩搖晃，使得光罩從保持枝部偏移，從而帽子部的接觸面擴大并且與各部分接觸，因該部分受到磨削而產(chǎn)生塵埃。尤其，特別的應抑制的力是由蓋體的封鎖力所產(chǎn)生的力，而非為緊密固定地抑制者。因此，無論如何也會產(chǎn)生光罩基板的偏移等。其次，日本專利特開2003-222992與此不同，其是以具有傾斜面的卡止具從上下方向朝前后左右方按壓光罩的棱線部分的構(gòu)成，故為不接觸光罩的表面部分者，因從上下方向朝前后左右方向按壓，由此難以因搬運時等的沖擊而使內(nèi)部的光罩搖晃，此外即便產(chǎn)生偏移，也不會因與光罩的棱線部分的接觸部分偏移而與光罩的面接觸。這樣無論如何也會在搬運時等產(chǎn)生些許偏移，無法否定伴隨該偏移而在光罩的棱線部分產(chǎn)生粉塵的可能性。關(guān)于日本專利特開2005-321529，其包含具有在一個角部附近從兩個方向進行卡止的卡止具，并且該卡止具具有分別適合于光罩基板的棱線面的傾斜面的構(gòu)成，在包含高密度聚乙烯或低密度聚乙烯或者聚丙烯樹脂等具有比較黏的材質(zhì)的光罩盒的情形時，可緊密地按壓并且可在極微細的偏移等水準下防止微粒等的產(chǎn)生，但相反地若為具有既硬又脆的性質(zhì)的碳混入的聚碳酸酯樹脂素材，則有可能產(chǎn)生微粒等。此外，在該構(gòu)成中存在傾斜面上具有薄壁厚部的撓曲部的構(gòu)成，雖然也可實現(xiàn)防止偏移，但在該構(gòu)成中也留有產(chǎn)生些許偏移的可能性。因此，關(guān)于可防止產(chǎn)生有害氣體且具有可防止帶電的適當?shù)膶щ婓w積電阻率、且耐長期使用即采用包含更高品質(zhì)的素材的聚碳酸酯樹脂的光罩盒的與光罩基板接觸的光罩卡止具，期望提供一種可防止該光罩基板的偏移并且可防止產(chǎn)生粉塵的光罩盒的光罩卡止具。 如上所述，作為最佳的光罩盒，具體而言作為光罩盒的光罩卡止具，技術(shù)方案I的專利技術(shù)是包含至少混入有碳且具有10的3次方至10次方Ω左右的導電體積電阻率的樹脂的光罩盒的光罩卡止具；且該卡止具包含在光罩盒的內(nèi)表面的四角的各角部方向上載置應收納的光罩的四角的卡止具，該卡止具從其卡止具基體經(jīng)由彎曲臂而具有枝部，在該枝部具有上表面方向的突起部及設(shè)置在該突起部的一面的傾斜面，通過以傾斜面與載置的光罩的棱線接觸而將光罩載置在枝部上，且通過該彎曲臂朝下方向撓曲而以彈力保持光罩。通過如此構(gòu)成而可解決上述問題?；蛘撸部扇缂夹g(shù)方案2的專利技術(shù)般使用如下光罩盒的光罩卡止具彎曲臂的前端具有朝2個方向張開90度的枝部，在各枝部具有上表面方向的突起部、及設(shè)置在該突起部的一面上的傾斜面，且通過各個傾斜面分別與夾著載置的光罩的一角設(shè)置在的兩邊的棱線接觸而將光罩載置在該枝部上。在此情形時，也可如技術(shù)方案3的專利技術(shù)般使用如下光罩盒的光罩卡止具在彎曲臂的下表面具有止動銷，當彎曲臂撓曲時，通過該止動銷的前端接觸光罩盒的底面部或卡止具基體底部而阻止彎曲臂的進一步撓曲。代替該方案，也可為如技術(shù)方案4的專利技術(shù)般在彎曲臂的橫方向上突出形成止動銷，當彎曲臂撓曲時，通過該止動銷的突出部分接觸光罩盒的卡止具基體而阻止彎曲臂本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種光罩盒的光罩卡止具，其特征在于：其是包含至少混入有碳且具有10的3次方至10次方Ω左右的導電體積電阻率的樹脂的光罩盒的光罩卡止具(4)；且該卡止具(4)包含在光罩盒的內(nèi)表面的四角的各角部方向上載置應收納的光罩的四角的卡止具(4)，該卡止具(4)從其卡止具基體(40)經(jīng)由彎曲臂(41)而具有枝部(42)，在該枝部(42)具有上表面方向的突起部(43)與設(shè)置在該突起部(43)的一面的傾斜面(44)，通過以傾斜面(44)與載置的光罩的棱線接觸而將光罩載置在枝部(42)上，通過該彎曲臂，朝下方向撓曲而以彈力保持光罩。

【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：齋藤　森作，大?！≈胰?/a>，伊藤　好久，
申請(專利權(quán))人：株式會社荒川樹脂，日星產(chǎn)業(yè)株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：