溫馨提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明的目的在于提供一種光罩盒的光罩卡止具,該光罩盒的光罩卡止具是用于保存或搬運(yùn)光罩基板的盒內(nèi)的光罩卡止具,其可不接觸光罩面而牢固地安置在盒內(nèi),且可防止光罩的破損或由偏移引起產(chǎn)生靜電。本發(fā)明的光罩盒的光罩卡止具是包含混入有碳的樹脂者,其設(shè)置...該專利屬于株式會(huì)社荒川樹脂;日星產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過株式會(huì)社荒川樹脂;日星產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社授權(quán)不得商用。