半導體清洗設備中的抽風裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種半導體清洗設備中的抽風裝置，它包括帶有排風口的抽風箱，抽風箱上可拆卸式地連接有抽風體，該抽風體上具有環繞在化學槽槽口周邊的內壁，并且該內壁上均布有若干抽風口。本實用新型專利技術縮短了抽風口與化學槽口的距離，抽風效果更好，有害氣體不會散開出來，影響到工作環境中，導致人受到有毒氣體的傷害，本實用新型專利技術的抽風體為可拆卸式地連接，方便了抽風體內部的清潔。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種半導體清洗設備中的抽風裝置，包括帶有排風口（1？1）的抽風箱（1），其特征在于：抽風箱（1）底部開有導流孔（1？2），抽風箱（1）上裝有可拆卸式的抽風體（2），該抽風體（2）上具有環繞在化學槽（3）槽口周邊的內壁，并且該內壁上均布有若干抽風口（2？1）。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：卡爾·羅伯特·休斯特，
申請(專利權)人：硅密常州電子設備有限公司，
類型：實用新型
國別省市：