半導體清洗設備中的機械手夾持機構制造技術

本實用新型專利技術公開了一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置分別驅動的兩根旋轉軸，旋轉軸上各固定有機械臂，機械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉軸旋轉角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為可正反轉的電機，所述的檢測開關固定連接在機械臂上，位置傳感器和檢測開關通過信號線與控制單元相連接。本實用新型專利技術結構簡單，能夠夾取不同規(guī)格的晶圓花籃并且能夠辨別是否夾空。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置（6）分別驅動的兩根旋轉軸（1），旋轉軸（1）上各固定有機械臂（2），機械臂（2）上具有拾取器（2？1），其特征在于：還包括檢測旋轉軸（1）旋轉角度的位置傳感器（3）、與晶圓花籃（4）接觸的檢測開關（5）以及控制動力裝置（6）的控制單元，所述的動力裝置（6）為可正反轉的電機，所述的檢測開關（5）固定連接在機械臂（2）上，位置傳感器（3）和檢測開關（5）分別通過信號線與控制單元相連接。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：卡爾·羅伯特·休斯特，祝宇云，
申請(專利權)人：硅密常州電子設備有限公司，
類型：實用新型
國別省市：