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本實用新型公開了一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置分別驅動的兩根旋轉軸，旋轉軸上各固定有機械臂，機械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉軸旋轉角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為...該專利屬于硅密（常州）電子設備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過硅密（常州）電子設備有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置分別驅動的兩根旋轉軸，旋轉軸上各固定有機械臂，機械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉軸旋轉角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為...