硅片清洗設備以及儲液罐制造技術

本發明專利技術實施例公開了一種儲液罐，包括主罐體和顯液管，顯液管一端開口，另一端與主罐體相連通，顯液管與主罐體之間還設置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體。上述儲液罐中在主罐體和顯液管之間設置有可展開的膠囊體，膠囊體將主罐體和顯液管分隔成兩部分。當需要觀察主罐體上化學藥劑的高度時，在顯液管的開口處注入測量液，當主罐體內化學藥劑高度發生變化時，膠囊體展開或者閉合，顯液管中的測量液高度隨即發生變化。由于上述儲液罐中主罐體和顯液管可注入不同的液體，且顯液管可注入易分辨、清洗的測量液，因此可以避免由于顯液管和主罐體采用同一液體容易產生沾污物的現象發生。本發明專利技術實施例還提供了一種硅片清洗設備。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種儲液罐，包括主罐體(21)和顯液管(22)，所述顯液管(22)一端開口，另一端與所述主罐體(21)相連通，其特征在于，所述顯液管(22)與所述主罐體(21)之間還設置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體(26)。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：王守志，
申請(專利權)人：浚鑫科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：