靶材焊接定位裝置制造方法及圖紙

一種靶材焊接定位裝置，包括：設(shè)置在背板上的定位孔，適于裝入所述定位孔且對(duì)靶材進(jìn)行限位的定位銷。采用本實(shí)用新型專利技術(shù)的靶材焊接定位裝置，當(dāng)靶材放置在背板的焊接面上進(jìn)行焊接時(shí)，采用定位銷裝入所述定位孔對(duì)靶材進(jìn)行限位，焊接完畢后，取出所述定位銷，因而實(shí)現(xiàn)了焊接過程中限制靶材偏移。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及焊接
，尤其涉及一種靶材焊接定位裝置。
技術(shù)介紹
在大規(guī)模集成電路制造中，一般通過物理氣相沉積濺射靶材方法在硅片上形成一層金屬薄膜。靶材在濺射過 程中通常和背板通過焊料焊接起來形成濺射靶材組件。所述背板在所述靶材組件組裝及濺射過程中起到支撐及傳導(dǎo)熱量的作用。釬焊方法為靶材與背板焊接常用的方法，其原理是將工件放在加熱平板上，達(dá)到一定溫度后，將焊料放置在靶材與背板中間，待焊料融化后，在一定的壓力下，保持一段時(shí)間，將兩者焊接在一起。上述釬焊過程中，除了焊接的結(jié)合率、結(jié)合強(qiáng)度對(duì)靶材與背板形成的靶材組件的使用具有影響外，靶材的偏移量也直接影響成品的安裝與使用。基于此，本技術(shù)提出一種靶材焊接定位裝置，以對(duì)焊接過程中靶材的偏移問題進(jìn)行改善。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)解決的問題是提出一種靶材焊接定位裝置，以對(duì)焊接過程中靶材的偏移問題進(jìn)行改善。為解決上述問題，本技術(shù)提供一種靶材焊接定位裝置，包括設(shè)置在背板上的定位孔，適于裝入所述定位孔且對(duì)祀材進(jìn)行限位的定位銷。可選地，所述定位孔至少為兩個(gè)。可選地，所述靶材為圓形靶材，所述兩個(gè)定位孔在所述背板上的位置相對(duì)所述圓形靶材目標(biāo)焊接區(qū)域的中心呈180度。可選地，所述靶材為方形靶材，所述兩個(gè)定位孔在所述背板上的位置分別為所述方形靶材目標(biāo)焊接區(qū)域相對(duì)的兩側(cè)。可選地，所述定位銷具有螺紋，所述定位孔為與所述定位銷的螺紋匹配的螺孔。可選地，所述的靶材焊接定位裝置還包括擋塊，所述擋塊上具有與所述定位孔、所述定位銷匹配的貫通孔。可選地，所述靶材為圓形靶材，所述擋塊具有與所述圓形靶材弧度匹配的曲面。可選地，所述靶材為方形靶材，所述定位孔為兩個(gè)且在所述背板上的位置分別為所述方形靶材目標(biāo)焊接區(qū)域中相對(duì)的兩頂角，所述擋塊具有垂直且相連的兩部件。可選地，所述定位孔至少為四個(gè)，每個(gè)所述擋塊至少具有兩個(gè)所述貫通孔。可選地，所述定位孔為所述背板與靶材形成的靶材組件的安裝孔。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)通過在背板上設(shè)置定位孔，當(dāng)靶材放置在背板的焊接面上進(jìn)行焊接時(shí)，采用定位銷裝入所述定位孔對(duì)靶材進(jìn)行限位，焊接完畢后，取出所述定位銷，如此，實(shí)現(xiàn)了限制焊接過程中靶材的偏移。可選方案中，所述靶材為圓形靶材，所述背板上的定位孔設(shè)置兩個(gè)，并且這兩個(gè)定位孔在所述背板上的位置相對(duì)所述圓形靶材目標(biāo)焊接區(qū)域的中心呈180度，以使得定位銷裝入所述定位孔對(duì)靶材進(jìn)行180度限位。可選方案中，所述靶材為方形靶材，所述背板上的定位孔設(shè)置兩個(gè)，并且這兩個(gè)定位孔在所述背板上的位置分別為所述方形靶材目標(biāo)焊接區(qū)域中相對(duì)的兩側(cè)，以使得定位銷裝入所述定位孔對(duì)靶材進(jìn)行兩邊限位。可選方案中，所述定位銷具有螺紋或無螺紋，當(dāng)具有螺紋時(shí)，所述定位孔為與所述定位銷的螺紋匹配的螺孔，靶材與背板焊接時(shí)，所述定位銷旋入所述定位孔中，焊接完畢后，再旋出；當(dāng)定位銷無螺紋時(shí)，靶材與背板焊接時(shí)，所述定位銷只需放入所述定位孔，焊接完畢后，再去除，使用方便。可選方案中，所述的靶材焊接定位裝置還包括擋塊，所述擋塊上具有與所述定位 孔、所述定位銷匹配的螺孔，上述擋塊與定位銷相比，增大了與靶材的接觸面，避免靶材偏移的效果更佳。可選方案中，所述靶材為方形靶材，所述定位孔為兩個(gè)且在所述背板上的位置分別為所述方形靶材目標(biāo)焊接區(qū)域中相對(duì)的兩頂角，所述擋塊具有垂直且相連的兩部件，采用在兩頂角對(duì)靶材進(jìn)行限位，提高了擋塊的利用率。可選方案中，所述定位孔為所述背板與靶材形成的靶材組件的安裝孔，利用了現(xiàn)有的安裝孔，避免了重新在背板上進(jìn)行孔的加工，降低了成本。附圖說明圖I是實(shí)施例一的靶材焊接定位裝置的示意圖；圖2是實(shí)施例二的靶材焊接定位裝置的示意圖；圖3是實(shí)施例三的靶材焊接定位裝置的示意圖；圖4是實(shí)施例四的靶材焊接定位裝置的示意圖；圖5是實(shí)施例五的靶材焊接定位裝置的示意圖；圖6是實(shí)施例六的靶材焊接定位裝置的示意圖。具體實(shí)施方式為使本技術(shù)的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，以下結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。由于本技術(shù)重在解釋原理，因此，未按比例制圖。實(shí)施例一本實(shí)施例一以方形靶材的釬焊為例，詳細(xì)介紹本技術(shù)提供的靶材焊接定位裝置。參照?qǐng)DI所示，焊接時(shí)，首先在方形背板11焊接面上布置釬料，將將方形靶材10放置在目標(biāo)焊接區(qū)域。該方形背板11上設(shè)置有定位孔12，該定位孔12適于容納定位銷13，該定位孔12與定位銷13形成了本技術(shù)的焊接定位裝置。對(duì)于本實(shí)施例一的焊接定位裝置1，其中的定位孔12設(shè)置兩個(gè)，且該兩個(gè)定位孔12在方形背板11上的位置為滿足分別設(shè)置在方形靶材10目標(biāo)焊接區(qū)域相對(duì)的兩側(cè)，即在焊接過程中，該定位銷13卡在方形靶材10相對(duì)的兩側(cè)面，從兩個(gè)側(cè)面夾持該方形靶材10。其它實(shí)施例中，也可以在方形靶材10四個(gè)側(cè)面設(shè)置匹配使用的定位孔與定位銷。本技術(shù)中，定位孔12與與定位銷13是可拆卸連接方式，即在焊接時(shí)，將定位銷13放入定位孔12限制方形靶材10在焊接過程中發(fā)生移位，在焊接完畢后，將定位銷13從定位孔12中取出，不影響最終形成的靶材組件成品的使用。滿足上述可拆卸連接方式的結(jié)構(gòu)有多種，例如所述定位銷13具有螺紋或無螺紋，當(dāng)具有螺紋時(shí)，所述定位孔12為與所述定位銷13的螺紋匹配的螺孔，方形靶材10與方形背板11焊接時(shí)，將定位銷13旋入所述定位孔12中，焊接完畢后，再旋出；當(dāng)定位銷13無螺紋時(shí)，方形靶材10與方形背板11焊接時(shí)，所述定位銷13只需放入所述定位孔12，焊接完畢后，再去除，后種方式使用更方便。在具體實(shí)施過程中，該定位孔12可以通過打孔方式設(shè)置，也可以利用方形靶材10上現(xiàn)有的用于將成品靶材組件安裝在濺鍍機(jī)上的安裝孔，省去打孔工藝。·實(shí)施例二本實(shí)施例二仍以方形靶材的焊接為例，與實(shí)施例一不同的是，參照?qǐng)D2所示的靶材焊接定位裝置2，設(shè)置了擋塊14。具體地，實(shí)施例一采用定位銷13與方形靶材10的側(cè)面接觸進(jìn)行限位，本實(shí)施例二設(shè)置為面接觸，該面接觸的實(shí)現(xiàn)方式有兩種1)當(dāng)定位銷13具有螺紋，所述定位孔12具有與所述定位銷13的螺紋匹配的螺孔，在此情況下，只需在該擋塊上設(shè)置一個(gè)與定位銷13的螺紋匹配的螺孔(孔內(nèi)部具有螺紋的貫通孔)，即由一個(gè)定位銷13可以實(shí)現(xiàn)方形靶材10在焊接過程中限位；2)當(dāng)定位銷13上無螺紋，針對(duì)這種情況，需在該擋塊14上設(shè)置兩個(gè)及其以上與所述定位銷13的匹配的貫通孔(孔的內(nèi)表面光滑)，即由兩個(gè)及其以上的定位銷13定位，相應(yīng)地，在該方形背板11相應(yīng)位置需設(shè)置兩個(gè)或更多定位孔12。如此，兩個(gè)擋塊14至少需在方形背板11上設(shè)置4個(gè)定位孔12。上述的匹配使用即使擋塊14、定位銷13滿足可拆卸連接方式。實(shí)施例三本實(shí)施例三還是針對(duì)方形靶材的焊接，與實(shí)施例一、二不同的是，參照?qǐng)D3所示的靶材焊接定位裝置3，方形靶材10’分為了三塊。其原因如下對(duì)于某些靶材，例如釩的某些合金，在磁控濺射過程中，會(huì)出現(xiàn)中間區(qū)域消耗滿，兩端區(qū)域消耗外，為了增強(qiáng)整塊靶材的使用壽命，針對(duì)上述問題，兩個(gè)較厚的方形靶材、一個(gè)較薄的方形靶材與方形背板11焊接在一起。對(duì)于這種情況，以無螺紋的定位銷13為例，擋塊14不僅設(shè)置在方形背板11的焊接面上，還貼合在厚薄靶材的交接面上，即一塊擋塊14同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)厚薄靶材的限位，如此可以節(jié)省擋塊14的數(shù)目，降低成本。如此，四本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種靶材焊接定位裝置，其特征在于，包括：設(shè)置在背板上的定位孔，適于裝入所述定位孔且對(duì)靶材進(jìn)行限位的定位銷。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：姚力軍，相原俊夫，大巖一彥，潘杰，王學(xué)澤，方敏，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：寧波江豐電子材料有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：