【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種石墨熱場保溫裝置。
技術介紹
切克勞斯基法即CZ直拉單晶法,通過電阻加熱,將石英坩堝中的多晶硅料熔化,并保持略高于硅熔點的溫度,在惰性氣體的保護下,經過引晶、放肩、轉肩、等徑、收尾、晶體取出等步驟,完成晶體生長。眾所周知,硅的熔點是1420°C,如果是在20寸開放式熱場裝置、投料量105kg,要維持這個溫度,每小時需消耗IOOkw左右的電能。目前世界能源緊張,能源成本所占比重日益增加。如何降低生產能耗,降低生產成本,直接關系到企業的生存大計。因此,人們在CZ直拉單晶法的加熱裝置上,也就是石墨熱場上面做了諸多改進。效果最為明顯的就是增加了熱屏裝置,傳統的熱屏裝置一般為圓筒狀或圓錐狀,由原始的開放式熱場改為封閉式熱場,增加了熱場的保溫效果,降低熱量的損失。其生產能耗由開放式熱場的每小時IOOkw降低至75 70kw/h ;相對開放式熱場,縮小了單晶生長條件下惰性氣體的保護面積,使的保護面積更為集中化,惰性氣體的使用量也降低了 209Γ30% ;改變晶體的縱向溫度梯度,最大生長拉速提高了 0.2mm/min。但是,按照上述結構石墨熱場使用效果還不理想,還有改進的空間,能量的利用率依然低。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是,針對現有技術的不足,提供一種增加熱場絕熱效果、提高能量利用率的石墨熱場保溫裝置。為解決上述技術問題,本技術的技術方案是一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器、底保溫板、中軸、支撐環,所述的支撐環套在中軸外并設置在底保溫板上,所述的加熱器底部與底保溫板之間形成腔體,所述的腔體內設有套在中軸外的固化碳氈塊。所述的固化碳氈塊設置在支撐環、環 ...
【技術保護點】
一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器(1)、底保溫板(2)、中軸(3)、支撐環(4),所述的支撐環(4)套在中軸(3)外并設置在底保溫板(2)上,所述的加熱器(1)底部與底保溫板(2)之間形成腔體(6),其特征在于:所述的腔體(6)內設有套在中軸(3)外的固化碳氈塊(5)。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:孫平川,王賢福,楊江華,韓冰,計冰雨,
申請(專利權)人:蕪湖昊陽光能股份有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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