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    一種石墨熱場保溫裝置制造方法及圖紙

    技術編號:8227662 閱讀:184 留言:0更新日期:2013-01-18 07:43
    本實用新型專利技術公開了一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器、底保溫板、中軸、支撐環,所述的支撐環套在中軸外并設置在底保溫板上,所述的加熱器底部與底保溫板之間形成腔體,所述的腔體內設有套在中軸外的固化碳氈塊。采用上述結構,本實用新型專利技術具有以下優點:1、熱輻射的反射率增加;2、固化碳氈塊阻隔熱量傳導,增加熱場的絕熱效果,節能超過35%;同時改變了單晶生長時晶體的縱向溫度梯度,相對傳統的封閉式熱場,拉加增加0.15mm/min;3、提高了設備生產產能,降低生產成本。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及一種石墨熱場保溫裝置
    技術介紹
    切克勞斯基法即CZ直拉單晶法,通過電阻加熱,將石英坩堝中的多晶硅料熔化,并保持略高于硅熔點的溫度,在惰性氣體的保護下,經過引晶、放肩、轉肩、等徑、收尾、晶體取出等步驟,完成晶體生長。眾所周知,硅的熔點是1420°C,如果是在20寸開放式熱場裝置、投料量105kg,要維持這個溫度,每小時需消耗IOOkw左右的電能。目前世界能源緊張,能源成本所占比重日益增加。如何降低生產能耗,降低生產成本,直接關系到企業的生存大計。因此,人們在CZ直拉單晶法的加熱裝置上,也就是石墨熱場上面做了諸多改進。效果最為明顯的就是增加了熱屏裝置,傳統的熱屏裝置一般為圓筒狀或圓錐狀,由原始的開放式熱場改為封閉式熱場,增加了熱場的保溫效果,降低熱量的損失。其生產能耗由開放式熱場的每小時IOOkw降低至75 70kw/h ;相對開放式熱場,縮小了單晶生長條件下惰性氣體的保護面積,使的保護面積更為集中化,惰性氣體的使用量也降低了 209Γ30% ;改變晶體的縱向溫度梯度,最大生長拉速提高了 0.2mm/min。但是,按照上述結構石墨熱場使用效果還不理想,還有改進的空間,能量的利用率依然低。
    技術實現思路
    本技術所要解決的技術問題是,針對現有技術的不足,提供一種增加熱場絕熱效果、提高能量利用率的石墨熱場保溫裝置。為解決上述技術問題,本技術的技術方案是一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器、底保溫板、中軸、支撐環,所述的支撐環套在中軸外并設置在底保溫板上,所述的加熱器底部與底保溫板之間形成腔體,所述的腔體內設有套在中軸外的固化碳氈塊。所述的固化碳氈塊設置在支撐環、環狀墊塊上。本技術采用上述結構,具有以下優點1、熱輻射的反射率增加;2、固化碳氈塊阻隔熱量傳導,增加熱場的絕熱效果,節能超過35% ;同時改變了單晶生長時晶體的縱向溫度梯度,相對傳統的封閉式熱場,拉加增加O. 15mm/min ;3、提高了設備生產產能,降低生產成本。以下結合附圖和具體實施方式對本技術作進一步詳細的說明;圖I為本技術的結構示意圖;圖2為本技術中
    技術介紹
    的結構示意圖;在圖I中,I、加熱器;2、底保溫板;3、中軸;4、支撐環;5、固化碳氈塊;6、腔體;7、環狀墊塊。具體實施方式如圖I所示一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器I、底保溫板2、中軸3、支撐環4,所述的支撐環4套在中軸3外并設置在底保溫板2上,所述的加熱器I底部與底保溫板2之間形成腔體6,腔體6內設有套在中軸3外的固化碳氈塊5。固化碳氈塊具有重量輕、耐高溫、保溫性好的優點。固化碳氈塊設置在支撐環、環狀墊塊7上。本技術熱輻射的反射率增加;固化碳氈塊阻隔熱量傳導,增加熱場的絕熱效果,節能超過35%;同時改變了單晶生長時晶體的縱向溫度梯度,相對傳統的封閉式熱場,拉加增加O. 15mm/min ;提高了設備生產產能,降低生產成本。上面結合附圖對本技術進行了示例性描述,顯然本技術具體實現并不受 上述方式的限制,只要采用了本技術的技術方案進行的各種改進,或未經改進直接應用于其它場合的,均在本技術的保護范圍之內。權利要求1.一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器(I)、底保溫板(2)、中軸(3)、支撐環(4),所述的支撐環(4)套在中軸(3)外并設置在底保溫板(2)上,所述的加熱器(I)底部與底保溫板(2)之間形成腔體(6),其特征在于所述的腔體(6)內設有套在中軸(3)外的固化碳氈塊(5)。2.根據權利要求I所述的一種石墨熱場保溫裝置,其特征在于所述的固化碳氈塊設置在支撐環、環狀墊塊(7)上。專利摘要本技術公開了一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器、底保溫板、中軸、支撐環,所述的支撐環套在中軸外并設置在底保溫板上,所述的加熱器底部與底保溫板之間形成腔體,所述的腔體內設有套在中軸外的固化碳氈塊。采用上述結構,本技術具有以下優點1、熱輻射的反射率增加;2、固化碳氈塊阻隔熱量傳導,增加熱場的絕熱效果,節能超過35%;同時改變了單晶生長時晶體的縱向溫度梯度,相對傳統的封閉式熱場,拉加增加0.15mm/min;3、提高了設備生產產能,降低生產成本。文檔編號C30B15/00GK202671708SQ20122029664公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月21日 優先權日2012年6月21日專利技術者孫平川, 王賢福, 楊江華, 韓冰, 計冰雨 申請人:蕪湖昊陽光能股份有限公司本文檔來自技高網
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    【技術保護點】
    一種石墨熱場保溫裝置,包括加熱器(1)、底保溫板(2)、中軸(3)、支撐環(4),所述的支撐環(4)套在中軸(3)外并設置在底保溫板(2)上,所述的加熱器(1)底部與底保溫板(2)之間形成腔體(6),其特征在于:所述的腔體(6)內設有套在中軸(3)外的固化碳氈塊(5)。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:孫平川王賢福楊江華韓冰計冰雨
    申請(專利權)人:蕪湖昊陽光能股份有限公司
    類型:實用新型
    國別省市:

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