一種化學(xué)液去氣泡裝置制造方法及圖紙

一種化學(xué)液去氣泡裝置，涉及一種液體去氣泡裝置，包含液桶、去氣泡容器、設(shè)于所述去氣泡容器頂端的進(jìn)液口、排氣口、出液口以及設(shè)于其底端的排液口，所述液桶通過進(jìn)液管道與所述進(jìn)液口密封連接，其特征在于：在所述進(jìn)液管道上還依次設(shè)有通過壓縮空氣驅(qū)動的氣動泵和氣動隔膜進(jìn)液閥，在所述排氣口上設(shè)有一排氣管道，所述出液口通過出液管道與濕法處理機(jī)密封連接，在所述排液口上設(shè)有一排液管道。有益效果是：通過本實用新型專利技術(shù)解決了管道中化學(xué)液含有氣泡的問題，并且控制簡單、方便可靠、檢修方便。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種化學(xué)液去氣泡裝置，具體涉及一種可滿足半導(dǎo)體、太陽能和LED/LCD等行業(yè)的無氣泡化學(xué)液輸送要求、并改善化學(xué)液在線流量監(jiān)測精度的化學(xué)液去氣泡裝置。
技術(shù)介紹
現(xiàn)有工業(yè)制造過程中，特別是半導(dǎo)體、太陽能和LED/IXD等行業(yè)對化學(xué)液添加主要是通過氣動泵，相關(guān)閥門管件直接加至需液濕法處理機(jī)臺的槽體里，但由于未去除液體中氣泡，影響了在線流量計的精度，從而使得實際的加液量產(chǎn)生偏差，化學(xué)品的濃度變化，使得相關(guān)工藝得不到保證。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)所解決的技術(shù)問題在于提供一種可滿足半導(dǎo)體、太陽能和LED/LCD等行業(yè)的無氣泡化學(xué)液輸送要求、并改善化學(xué)液在線流量監(jiān)測精度的化學(xué)液去氣泡裝置。本技術(shù)所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種化學(xué)液去氣泡裝置，包含液桶、去氣泡容器、設(shè)于所述去氣泡容器頂端的進(jìn)液口、排氣口、出液口以及設(shè)于其底端的排液口，所述液桶通過進(jìn)液管道與所述進(jìn)液口密封連接，其特征在于在所述進(jìn)液管道上還依次設(shè)有通過壓縮空氣驅(qū)動的氣動泵和氣動隔膜進(jìn)液閥，在所述排氣口上設(shè)有一排氣管道，所述出液口通過出液管道與濕法處理機(jī)密封連接，在所述排液口上設(shè)有一排液管道。在所述去氣泡容器外表面上部還設(shè)有一高液位傳感器；在所述去氣泡容器外表面底部還設(shè)有一低液位傳感器；在所述出液管道上還設(shè)有一氣動隔膜出液閥；在所述排氣管道上還設(shè)有一氣動隔膜排氣閥；在所述排液管道上還設(shè)有一排液閥；所述氣動泵為一耐腐蝕氣動泵，所述高液位傳感器為一耐腐蝕高液位傳感器；所述低液位傳感器為一耐腐蝕低液位傳感器。本技術(shù)具有的有益效果是通過本技術(shù)解決了管道中化學(xué)液含有氣泡的問題，并且控制簡單、方便可靠、檢修方便。附圖說明圖I為本技術(shù)一種化學(xué)液去氣泡裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式為了使本技術(shù)實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本技術(shù)。實施例參照圖1，一種化學(xué)液去氣泡裝置，包含液桶I、去氣泡容器4、設(shè)于去氣泡容器4頂端的進(jìn)液口 41、排氣口 42、出液口 43以及設(shè)于其底端的排液口 44，液桶I通過進(jìn)液管道31與進(jìn)液口 41密封連接，在進(jìn)液管道31上依次設(shè)有通過壓縮空氣驅(qū)動的氣動泵2和氣動隔膜進(jìn)液閥3，在排氣口 42上設(shè)有排氣管道51，出液口 43通過出液管道61與濕法處理機(jī)密封連接，在排液口 44上設(shè)有排液管道71。在去氣泡容器4外表面上部設(shè)有一高液位傳感器8 ;在去氣泡容器4外表面底部設(shè)有一低液位傳感器9 ;在出液管道61上還設(shè)有一氣動隔膜出液閥6 ;在排氣管道51上還設(shè)有一氣動隔膜排氣閥5 ;在排液管道71上還設(shè)有一排液閥7 ;氣動泵2為一耐腐蝕氣動泵，高液位傳感器8為一耐腐蝕高液位傳感器，低液位傳感器9為一耐腐蝕低液位傳感器。液桶I中裝有化學(xué)液，通過氣動泵2將化學(xué)液從液桶I內(nèi)抽出來， 經(jīng)過打開的進(jìn)液閥3輸入到去氣泡容器4內(nèi)，排氣閥5同時打開排氣，出液閥6和排液閥7保持關(guān)閉。此時輸入到去氣泡容器4內(nèi)的化學(xué)液可能含有大量氣體，特別是液桶I新更換后從進(jìn)液閥3到液桶I這段管道內(nèi)含有較多氣體。當(dāng)化學(xué)液進(jìn)入去氣泡容器4后，由于浮力的作用，氣泡會自動浮到密閉的去氣泡容器4上部，通過打開的排氣閥5排入排氣管道51，而化學(xué)液留在下面，實現(xiàn)氣液分離。氣動泵2持續(xù)工作，直至去氣泡容器4內(nèi)液位達(dá)到高液位傳感器8的位置后，排氣閥5關(guān)閉，出液閥6根據(jù)濕法處理機(jī)臺內(nèi)槽體的需液信號打開，這樣可將化學(xué)液輸入至濕法處理機(jī)臺的槽體里。隨著化學(xué)液不斷被輸送，密閉的去氣泡容器4內(nèi)也會積聚大量氣體，使得去氣泡容器4內(nèi)液面降至低液位傳感器9位置，此時排氣閥5打開排氣，出液閥6關(guān)閉。去氣泡容器4內(nèi)會蓄積化學(xué)液，當(dāng)液面增至高液位傳感器8的位置，此時排氣閥5關(guān)閉，出液閥6打開，繼續(xù)將化學(xué)液輸送至濕法處理機(jī)臺的槽體里。當(dāng)去氣泡容器內(nèi)液面再次降至低液位傳感器9位置時，再次打開排氣閥5和關(guān)閉出液閥6，以此循環(huán)往復(fù)，直至濕法處理機(jī)臺內(nèi)槽體液體容積達(dá)到工藝要求，機(jī)臺會給氣動泵2停止信號，氣動泵2即停止輸液。而留在去氣泡容器4內(nèi)的廢液可以通過排液閥7排到排液管道71內(nèi)。通過以上控制，實現(xiàn)了無氣泡的化學(xué)液輸送。以上顯示和描述了本技術(shù)的基本原理和主要特征和本技術(shù)的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本技術(shù)不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本技術(shù)的原理，在不脫離本技術(shù)精神和范圍的前提下，本技術(shù)還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本技術(shù)范圍內(nèi)。本技術(shù)要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。權(quán)利要求1.一種化學(xué)液去氣泡裝置，包含液桶、去氣泡容器、設(shè)于所述去氣泡容器頂端的進(jìn)液口、排氣口、出液口以及設(shè)于其底端的排液口，所述液桶通過進(jìn)液管道與所述進(jìn)液口密封連接，其特征在于在所述進(jìn)液管道上還依次設(shè)有通過壓縮空氣驅(qū)動的氣動泵和氣動隔膜進(jìn)液閥，在所述排氣口上設(shè)有一排氣管道，所述出液口通過出液管道與濕法處理機(jī)密封連接，在所述排液口上設(shè)有一排液管道。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學(xué)液去氣泡裝置，其特征在于在所述去氣泡容器外表面上部還設(shè)有一高液位傳感器； 在所述去氣泡容器外表面底部還設(shè)有一低液位傳感器。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學(xué)液去氣泡裝置，其特征在于在所述排氣管道上還設(shè)有一氣動隔膜排氣閥。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學(xué)液去氣泡裝置，其特征在于在所述出液管道上還設(shè)有一氣動隔膜出液閥。5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學(xué)液去氣泡裝置，其特征在于在所述排液管道上還設(shè)有一排液閥。6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的化學(xué)液去氣泡裝置，其特征在于所述氣動泵為一耐腐蝕氣動泵。7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的化學(xué)液去氣泡裝置，其特征在于所述高液位傳感器為一耐腐蝕高液位傳感器；所述低液位傳感器為一耐腐蝕低液位傳感器。專利摘要一種化學(xué)液去氣泡裝置，涉及一種液體去氣泡裝置，包含液桶、去氣泡容器、設(shè)于所述去氣泡容器頂端的進(jìn)液口、排氣口、出液口以及設(shè)于其底端的排液口，所述液桶通過進(jìn)液管道與所述進(jìn)液口密封連接，其特征在于在所述進(jìn)液管道上還依次設(shè)有通過壓縮空氣驅(qū)動的氣動泵和氣動隔膜進(jìn)液閥，在所述排氣口上設(shè)有一排氣管道，所述出液口通過出液管道與濕法處理機(jī)密封連接，在所述排液口上設(shè)有一排液管道。有益效果是通過本技術(shù)解決了管道中化學(xué)液含有氣泡的問題，并且控制簡單、方便可靠、檢修方便。文檔編號B01D19/00GK202682853SQ20122023876公開日2013年1月23日 申請日期2012年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月24日專利技術(shù)者王飛 申請人:上海旭熠電子技術(shù)有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種化學(xué)液去氣泡裝置，包含液桶、去氣泡容器、設(shè)于所述去氣泡容器頂端的進(jìn)液口、排氣口、出液口以及設(shè)于其底端的排液口，所述液桶通過進(jìn)液管道與所述進(jìn)液口密封連接，其特征在于：在所述進(jìn)液管道上還依次設(shè)有通過壓縮空氣驅(qū)動的氣動泵和氣動隔膜進(jìn)液閥，在所述排氣口上設(shè)有一排氣管道，所述出液口通過出液管道與濕法處理機(jī)密封連接，在所述排液口上設(shè)有一排液管道。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王飛，
申請(專利權(quán))人：上海旭熠電子技術(shù)有限公司，
類型：實用新型
國別省市：