一種鏈式真空爐制造技術

本發明專利技術公開了一種鏈式真空爐，包括沿水平方向順次布置的預裝料爐室、燒結加熱爐室、預冷爐室和冷卻爐室，每相鄰兩爐室之間均通過法蘭連接在一起，每相鄰兩爐室之間均設置有隔熱門閘板閥，當所述隔熱門閘板閥開啟時，相鄰兩爐室之間連通；當所述隔熱門閘板閥閉合時，相鄰兩爐室之間密封隔開；且每個爐室都設置有獨立的抽真空系統。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種鏈式真空爐。
技術介紹
玻封二極管組裝過程中的高溫焊接目前采用傳統的鏈式爐或真空爐，鏈式爐焊接芯片在兩電極間(玻璃管內)無法固定，電性穩定性較差；真空爐雖可以滿足電性要求，跟傳統鏈條爐相比存在能源浪費多，產能低的缺陷
技術實現思路
本專利技術目的是為了解決上述問題，提供一種鏈式真空爐。本專利技術的技術方案是一種鏈式真空爐，包括沿水平方向順次布置的預裝料爐室、燒結加熱爐室、預冷爐室和冷卻爐室，每相鄰兩爐室之間均通過法蘭連接在一起，每相鄰兩爐室之間均設置有隔熱門閘板閥，當所述隔熱門閘板閥開啟時，相鄰兩爐室之間連通；當所述隔熱門閘板閥閉合時，相鄰兩爐室之間密封隔開；且每個爐室都設置有獨立的抽真空系統，其中 所述預裝料爐室上設有進料爐門，預裝料爐室內部設有可將預裝料爐室內的工件自動輸送至所述燒結加熱爐室內的送料機構I; 所述燒結加熱爐室設置有對工件進行燒結加熱的加熱系統； 所述預冷爐室和冷卻爐室均設置有冷卻降溫系統，預冷爐室的內部設有可將所述燒結加熱爐室內的工件取至該預冷爐室內的取料機構I ;冷卻爐室上設有出料爐門，冷卻爐室內部設有可將預冷爐室內的工件取至該冷卻爐室內的取料機構II。每個爐室都設置有獨立的真空檢測系統。所述送料機構I由水平運行的送料軌道、以及用于驅動該送料軌道運動的減速電機構成。所述預裝料爐室外部設置有進料架，進料架上設有可將工件輸送到預裝料爐室內的送料機構II，該送料機構II由水平運行的送料軌道、以及用于驅動該送料軌道運動的減速電機構成，且進料架上的送料軌道與所述預裝料爐室內送料軌道對接。所述取料機構I和取料機構II均由水平運行的取料軌道、以及用于驅動該取料軌道運動的減速電機構成。所述冷卻爐室外部設置有出料架，出料架上設有可將冷卻取料爐室內的工件取至該出料架上的取料機構III，該取料機構III由水平運行的取料軌道、以及用于驅動該送料軌道運動的減速電機構成，且取料機構III的取料軌道與冷卻爐室內的取料軌道對接。所述加熱系統包括設置在燒結加熱爐室的爐體內的方形加熱腔室、以及沿所述加熱腔室內壁均分布置的加熱鑰帶，所述加熱腔室外設有保溫隔熱屏，該保溫隔熱屏由多層厚度大于O. 5mm的耐高溫不銹鋼片通過螺栓連接而成，所述加熱鑰帶通過高溫陶瓷和金屬鑰螺栓固定在燒結加熱爐室的內爐壁上。 所述預冷爐室的內爐壁上設置有保溫隔熱層。所述冷卻降溫系統由高壓風機、高效換熱器和導流板構成。本專利技術的優點是本專利技術的鏈式真空爐在保證高溫焊接產品品質的前期下，改善能源浪費，同時提升產能。附圖說明下面結合附圖及實施例對本專利技術作進一步描述 圖I為本專利技術鏈式真空爐的結構示意 圖2為圖I的俯視圖； 其中1預裝料爐室，2燒結加熱爐室，3預冷爐室，4冷卻爐室，5法蘭，6進料架，7出料架，8隔熱門閘板閥，10工件； 1-1進料爐門，1-2送料機構I; 2-1保溫隔熱屏，2-2加熱腔室，2-3加熱鑰帶； 3-1取料機構I，3-2保溫隔熱層； 4-1取料爐門，4-2取料機構II； 6-1送料機構II； 7-1取料機構III。具體實施例方式如圖I和圖2所示，本實施例的鏈式真空爐，包括沿水平方向順次布置的預裝料爐室I、燒結加熱爐室2、預冷爐室3和冷卻爐室4，每相鄰兩爐室之間均通過法蘭5連接在一起，可隨時拆裝。而且每相鄰兩爐室之間均設置有隔熱門閘板閥8，當所述隔熱門閘板閥8開啟時，相鄰兩爐室之間連通；當所述隔熱門閘板閥8閉合時，相鄰兩爐室之間密封隔開。隔熱門閘板閥的開啟由氣缸驅動完成。而且，每個爐室都設置有獨立的抽真空系統和獨立的真空檢測系統，其中抽真空系統可對各爐室進行獨立的抽真空處理——用高純惰性氣體(如氮氣)置換出爐室內的空氣后抽真空，以實現爐室內的高真空低氧環境，可使爐室內的氣體壓力達到O. 67Pa;真空檢測系統用于檢測各爐室的真空度，當相鄰兩爐室的爐內壓力保持基本平衡時，中間的隔熱門閘板閥8才能開啟。上述各個爐室的爐體均為圓筒形臥式結構，各爐室的爐壁全部設計成雙層水冷結構，內層為不銹鋼，外層采用優質碳鋼制造。所述預裝料爐室I上設有進料爐門1-1，預裝料爐室I內部設有可將預裝料爐室內的工件10自動輸送至所述燒結加熱爐室2內的送料機構I 1-2。本例中，所述送料機構I1-2由水平運行的送料軌道、以及用于驅動該送料軌道運動的減速電機構成。預裝料爐室I既可在燒結加熱爐室2保持真空狀態下打開進料爐門實現裝料，也可實現獨立抽真空，在真空狀態下將工件10送入燒結加熱爐室2進行燒結。所述燒結加熱爐室2設置有對工件10進行燒結加熱的加熱系統。本實施例中，所述加熱系統包括設置在燒結加熱爐室2的爐體內的方形加熱腔室2-2、以及沿所述加熱腔室2-2內壁均分布置的加熱鑰帶2-3，所述加熱腔室2-2外設有保溫隔熱屏2-1，該保溫隔熱屏由多層厚度大于O. 5mm的耐高溫不銹鋼片通過螺栓連接而成，所述加熱鑰帶通過高溫陶瓷和金屬鑰螺栓固定在燒結加熱爐室的內爐壁上，可保證長期使用不變形、壽命長，同時能保證加熱的均勻性。上述加熱腔室2-2分為前、中、后三個加熱區，以減少加熱爐室內的溫差；加熱采用三臺可控硅加熱變壓器，以低電壓大電流方式加熱，溫度控制實現閉環式控制，可實現溫度的PID自動調節。所述預冷爐室3的內部設置有可將所述燒結加熱爐室2內的工件10取至該預冷爐室3內的取料機構I 3-1。而且，預冷爐室3的內爐壁上設置有保溫隔熱層3-2，該保溫隔熱層3-2可保證剛從燒結加熱爐室2中出來的高溫工件10緩緩降至某一溫度值，避免了高溫工件10因急劇降溫而造成的工件結構和工件性能損害。所述預冷爐室3和冷卻爐室4均設有冷卻降溫系統，所述冷卻降溫系統主要由高壓風機、高效換熱器和導流板構成，所用氣體均為惰性氣體。當對冷卻爐室4內的工件10 進行冷卻時，向冷卻爐室內充入一定壓力的高純氮氣即可啟動所述高壓風機，此時高速氣流經導流板噴向工件10，從工件出來的熱氣流通過高效熱交換器進行冷卻，再經高壓風機噴向工件10從而實現對工件的快速冷卻。冷卻爐室4上設有出料爐門4-1，冷卻爐室4內部設有可將所述預冷爐室3內的工件10取至該冷卻爐室4內的取料機構II 4-2。冷卻爐室4用于工件10的快速降溫，故其內并未設置起保護作用的保溫隔熱屏。所述取料機構I 3-1和取料機構II 4-2均由水平運行的取料軌道、以及用于驅動該取料軌道運動的減速電機構成。所述預裝料爐室I上的進料爐門1-1和冷卻爐室4上的出料爐門4-1均由雙層圓形封頭與圓法蘭焊接而成，爐門內通冷卻水，爐門中部設有觀察窗，爐門法蘭上設有密封槽以便安裝密封圈，爐門與爐體之間由鋼板制作成鉸鏈式連接。所述預裝料爐室I外部設置有進料架6，進料架6上設有可將工件10輸送到預裝料爐室I內的送料機構II 6-1。該送料機構II 6-1由水平運行的送料軌道、以及用于驅動該送料軌道運動的減速電機構成，所述送料軌道可與所述預裝料爐室I內送料軌道對接。所述冷卻爐室4外部設置有出料架7，出料架7上設有可將冷卻取料爐室4內的工件10取至該出料架7上的取料機構III 7-1，該取料機構III 7-1由水平運行的取料軌道、以及用于驅動該送料軌道運動的減速電機構成，且取料機構III 7-1的取料軌道可與冷卻爐室4內的取料軌道對接。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種鏈式真空爐，其特征在于該鏈式真空爐包括沿水平方向順次布置的預裝料爐室（1）、燒結加熱爐室（2）、預冷爐室（3）和冷卻爐室（4），每相鄰兩爐室之間均通過法蘭（5）連接在一起，每相鄰兩爐室之間均設置有隔熱門閘板閥（8），當所述隔熱門閘板閥（8）開啟時，相鄰兩爐室之間連通；當所述隔熱門閘板閥（8）閉合時，相鄰兩爐室之間密封隔開；且每個爐室都設置有獨立的抽真空系統，其中：所述預裝料爐室（1）上設有進料爐門（1？1），預裝料爐室（1）內部設有可將預裝料爐室內的工件（10）自動輸送至所述燒結加熱爐室（2）內的送料機構Ⅰ（1？2）；所述燒結加熱爐室（2）設置有對工件（10）進行燒結加熱的加熱系統；所述預冷爐室（3）和冷卻爐室（4）均設置有冷卻降溫系統，預冷爐室（3）的內部設有可將所述燒結加熱爐室（2）內的工件（10）取至該預冷爐室（3）內的取料機構Ⅰ（3？1）；冷卻爐室（4）上設有出料爐門（4？1），冷卻爐室（4）內部設有可將預冷爐室（3）內的工件（10）取至該冷卻爐室（4）內的取料機構Ⅱ（4？2）。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳盟舜，
申請(專利權)人：蘇州群鑫電子有限公司，
類型：發明
國別省市：