本發明專利技術公開了一種靜電力調變齒間隙的微機電梳齒機構，包括靜電驅動齒、由左移定齒和右移定齒組成的定齒、動齒、第一錨區和絕緣襯底，第一錨區固定連接在絕緣襯底上；左移定齒包括第一寬梁、左移梳齒、四個沿橫向彎折的第一折疊梁；右移定齒包括第二寬梁、右移梳齒、四個沿橫向彎折的第二折疊梁；靜電驅動齒包括梳齒和第三錨區，右移梳齒、梳齒和左移梳齒依次交替布置；動齒包括質量塊、動齒梳齒、第二錨區和沿縱向彎曲的第三折疊梁，且右移梳齒、動齒梳齒和左移梳齒依次交替布置，第一寬梁上設有左移止擋塊，第二寬梁上設有右移止擋塊。該微機電梳齒機構在靜電力的驅動下，調變齒間隙，使得微機電振動所產生的信號強。
【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種靜電力調變齒間隙的微機電梳齒機構，其特征在于：該微機電梳齒機構包括靜電驅動齒、由左移定齒（103）和右移定齒（104）組成的定齒、動齒、四個第一錨區（112）和絕緣襯底（100），四個第一錨區（112）分別固定連接在絕緣襯底（100）上；所述的左移定齒（103）包括第一寬梁（107）、左移梳齒（108）、四個沿橫向彎折的第一折疊梁（111），左移梳齒（108）固定在第一寬梁（107）的兩側，第一寬梁（107）兩端的兩側分別通過一個第一折疊梁（111）連接在一個第一錨區（112）上；左移定齒（103）處于懸空狀態；所述的右移定齒（104）包括第二寬梁（109）、右移梳齒（110）、四個沿橫向彎折的第二折疊梁（113），右移梳齒（110）固定在第二寬梁（109）的兩側，第二寬梁（109）兩端的兩側分別通過一個第二折疊梁（113）連接在一個第一錨區（112）上；右移定齒（104）處于懸空狀態；所述的靜電驅動齒包括梳齒（101）和第三錨區（102），第三錨區（102）固定連接在絕緣襯底（100）上，梳齒（101）固定在第三錨區（102）的一側，且右移梳齒（110）、梳齒（101）和左移梳齒（108）依次交替布置；梳齒（101）處于懸空狀態；所述的動齒包括質量塊（105）、動齒梳齒（106）、兩個第二錨區（115）和兩個沿縱向彎曲的第三折疊梁（114），兩個第二錨區（115）固定連接在絕緣襯底（100）上，每個第二錨區（115）與一個第三折疊梁（114）的一端連接，第三折疊梁（114）的另一端與質量塊（105）連接，動齒梳齒（106）設置在質量塊（105）的一側，且右移梳齒（110）、動齒梳齒（106）和左移梳齒（108）依次交替布置，相鄰的右移梳齒（110）和動齒梳齒（106）之間的距離、相鄰的動齒梳齒（106）和左移梳齒（108）之間的距離、相鄰的右移梳齒（110）和梳齒（101）之間的距離、以及相鄰的梳齒（101）和左移梳齒（108）之間的距離相等；質量塊（105）、動齒梳齒（106）、和第三折疊梁（114）均處于懸空狀態；所述的左移定齒（103）的第一寬梁（107）上設有左移止擋塊（116），右移定齒（104）的第二寬梁（109）上設有右移止擋塊（117），左移止擋塊（116）和右移止擋塊（117）相對設置，且左移止擋塊（116）和右移止擋塊（117）之 間的距離小于相鄰的右移梳齒（110）和動齒梳齒（106）之間設計距離的兩倍。...
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：李偉華，浦烜，周再發，黃慶安，
申請(專利權)人：東南大學，
類型：發明
國別省市：
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