研磨墊拆卸工具制造技術

本實用新型專利技術公開了一種研磨墊拆卸工具，包括手柄和連接桿，所述連接桿的一端垂直連接于所述手柄的中部，所述連接桿上沿連接桿的縱向設有一長條形槽。本實用新型專利技術提供的研磨墊拆卸工具，結構簡單、易于操作，使用時，先將研磨墊的一小部分卷起，插入到連接桿的長條形槽中，然后，轉動手柄將研磨墊全卷繞在連接桿上數圈，最后利用杠桿原理，以研磨墊下方的研磨平臺的邊緣為支點，向下按手柄，使得研磨墊抬起，從而，實現對研磨平臺上的研磨墊的快速、有效拆卸，省時省力，有效提高了工作效率。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及半導體制造領域，尤其涉及一種研磨墊拆卸工具。
技術介紹
在當前這個半導體飛速發展的時代，高產能、高效率是一個半導體制造廠成功發展必不可少的條件。化學機械拋光(CMP,Chemical Mechanical Polishing)作為集成電路制程中的一道新型的工序持續了有二十多年的時間，它也由起步階段發展成為集成電路制造工藝中非常重要的一部分。目前，較為常用的CMP的機臺包括研磨單元和清洗單元兩部分，研磨單元有很多耗材，為了滿足高產能、高良率的要求，工程師必須不斷地更換這些耗材，其中更換研磨墊是設備工程師每天非常大的一項任務，但是一直以來，工程師的重點都放在產品技術的更 新和良率的提高上面，工程師操作方法和工作效率往往被忽略。 晶圓研磨過程中通常分為粗磨(粗研磨)和細磨(精研磨)兩個階段，晶圓在做粗磨過程中會使用研磨單元，一般研磨單元最多可以同時研磨4片12英寸的晶圓，因此，需要用到50英寸的研磨墊。研磨墊為了能很好的固定在研磨平臺(platen)上，背面附著有很強的粘膠，設備工程師在更換研磨墊時必須先將研磨平臺旋轉到一個易于操作位置，然后需要兩個以上的設備工程師同時作業，從研磨平臺上手工用力撕下報廢的研磨墊。因為是人為操作，所以研磨平臺的位置以及用力的大小都很難控制，這對設備的長期維護非常不利，而且每天更換十張以上的研磨墊，設備工程師的體力耗費很大，工作效率很低。因此，如何提供一種可以結構簡單、易于操作的研磨墊拆卸工具是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種結構簡單、易于操作的研磨墊拆卸工具。為了達到上述的目的，本技術采用如下技術方案一種研磨墊拆卸工具，包括手柄和連接桿，所述連接桿的一端垂直連接于所述手柄的中部，所述連接桿上沿連接桿的縱向設有一長條形槽。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述長條形槽的長度范圍是15-20厘米。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述長條形槽的寬度范圍是2-5厘米。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述連接桿的長度范圍是100-120厘米。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述連接桿是空心圓管。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述連接桿的外徑范圍是5-8厘米。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄的長度范圍是40-50厘米。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄是空心圓管。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄的外徑范圍是5-8厘米。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄和連接桿是一體成型的。本技術提供的研磨墊拆卸工具，結構簡單、易于操作，使用時，先將研磨墊的一小部分卷起，插入到連接桿的長條形槽中，然后，轉動手柄將研磨墊全卷繞在連接桿上數圈，最后利用杠桿原理，以研磨墊下方的研磨平臺的邊緣為支點，向下按手柄，使得研磨墊抬起，從而，實現對研磨平臺上的研磨墊的快速、有效拆卸，省時省力，有效提高了工作效率。附圖說明本技術的研磨墊拆卸工具由以下的實施例及附圖給出。圖I是本技術的研磨墊拆卸工具一實施例的結構示意圖；圖中1-手柄、2-連接桿、21-長條形槽。具體實施方式以下將對本技術的研磨墊拆卸工具作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本技術進行更詳細的描述，其中表示了本技術的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本技術而仍然實現本技術的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本技術的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本技術由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。為使本技術的目的、特征更明顯易懂，以下結合附圖對本技術的具體實施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本技術實施例的目的。請參閱圖1，本技術提供的研磨墊拆卸工具，包括手柄I和連接桿2，所述連接桿2的一端垂直連接于所述手柄I的中部，所述連接桿2上沿連接桿2的縱向設有一長條形槽21。所述研磨墊拆卸工具結構簡單、易于操作，使用時，先將研磨墊的一小部分卷起，插入到連接桿2的長條形槽21中，使得研磨墊深入長條形槽21中5-6厘米；然后，轉動手柄I將研磨墊全卷繞在連接桿2上數圈；最后利用杠桿原理，以研磨墊下方的研磨平臺的邊緣為支點，向下按手柄1，使得研磨墊抬起，從而，實現對研磨平臺上的研磨墊的快速、有效拆卸，省時省力，有效提高了工作效率。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述連接桿2是空心圓管，以使整個拆卸工具更加輕便，并且節省材料。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述連接桿2的長度B1范圍是100-120厘米，所述連接桿2的外徑Id1范圍可以是5-8厘米。上述結構的連接桿2，適用于50英寸的研磨墊拆卸。當然，連接桿2的長度范圍也可以根據所需要拆卸的研磨墊的大小進行調整。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述長條形槽21的長度a2范圍可以是15-20厘米，所述長條形槽21的寬度b2范圍是2-5厘米，使得長條形槽21的寬度略微大于研磨墊的厚度，以和研磨墊的厚度相適應，便于長條形槽21卷繞所述研磨墊。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄I是空心圓管，以使整個拆卸工具更加輕便，并且節省材料。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄I的長度a3范圍可以是40-50厘米，所述手柄I的外徑范圍可以是5-8厘米。上述結構的手柄I便于設備工程抓握，提高使用的便利性和舒適度。當然，手柄I的長度范圍也可以進行適應性調整。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄I和連接桿2的材質均是金屬，當然，所述手柄I和連接桿2也可以由其它具有一定剛度的材料制成。優選的，在上述的研磨墊拆卸工具中，所述手柄I和連接桿2是一體成型的，以便于加工制作。綜上所述，本技術提供的研磨墊拆卸工具，結構簡單、易于操作，使用時，先將·研磨墊的一小部分卷起，插入到連接桿的長條形槽中，然后，轉動手柄將研磨墊全卷繞在連接桿上數圈，最后利用杠桿原理，以研磨墊下方的研磨平臺的邊緣為支點，向下按手柄，使得研磨墊抬起，從而，實現對研磨平臺上的研磨墊的快速、有效拆卸，省時省力，有效提高了工作效率。顯然，本領域的技術人員可以對本技術進行各種改動和變型而不脫離本技術的精神和范圍。這樣，倘若本技術的這些修改和變型屬于本技術權利要求及其等同技術的范圍之內，則本技術也意圖包含這些改動和變型在內。權利要求1.一種研磨墊拆卸工具，其特征在于，包括手柄和連接桿，所述連接桿的一端垂直連接于所述手柄的中部，所述連接桿上沿連接桿的縱向設有一長條形槽。2.根據權利要求I所述的研磨墊拆卸工具，其特征在于，所述長條形槽的長度范圍是15-20厘米。3.根據權利要求2所述的研磨墊拆卸工具，其特征在于，所述長條形槽的寬度范圍是2-5厘米。4.根據權利要求2所述的研磨本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種研磨墊拆卸工具，其特征在于，包括手柄和連接桿，所述連接桿的一端垂直連接于所述手柄的中部，所述連接桿上沿連接桿的縱向設有一長條形槽。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱思靜，馬嵐，
申請(專利權)人：武漢新芯集成電路制造有限公司，中芯國際集成電路制造上海有限公司，
類型：實用新型
國別省市：