一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗制造技術

本實用新型專利技術涉及真空鍍膜技術領域，具體的說是一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，包括鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋，所述觀察窗還包括遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環、手柄和擋塊。本實用新型專利技術采用雙重式保護結構：擋玻璃置于觀察窗座內腔，在觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔，構成第一重保護。遮板置于真空腔室內，遮蔽觀察窗視口，形成第二重保護。本實用新型專利技術與現有技術相比能夠有效防止真空腔室內的濺射物在觀察玻璃和擋板玻璃上的沉積，保證觀察窗具有良好的觀察效果，降低擋板玻璃的更換次數，結構新穎，使用方便，密封性能好，安全可靠。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗本技術涉及真空鍍膜
，具體的說是一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗。觀察窗是真空鍍膜設備運行過程中至關重要的裝置，起著非常重要的作用。操作者使用觀察窗實時監測真空腔室內設備的運行狀況，從而控制鍍膜進度，保證鍍膜質量和設備運行的安全性。傳統的觀察窗結構簡單，在鍍膜過程中，真空腔室內會有少量濺射物附著在觀察玻璃上。隨著濺射物的不斷沉積，觀察窗玻璃會變得模糊不清，甚至無法觀察真空腔室內的工作情況，直接影響到了作業的監控，帶來安全隱患，不夠安全可靠。·本技術就是為了解決現有技術中的不足，提供一種結構新穎、能起到雙重保護作用的真空腔室觀察窗。為實現上述目的，提供一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，包括遮板I、密封圈2、快卸連接器3、磁流體密封件4、卡環5、手柄6、擋塊15、鋼絲擋圈8、擋玻璃9、密封圈10、觀察玻璃11、橡膠墊圈12和法蘭蓋13，其特征在于第一重保護結構由鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋構成，在觀察窗座的內腔，由內向外依次裝入鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈，所述觀察窗座密封焊接在真空腔室上，擋玻璃在觀察窗和真空腔室之間形成間隔，并在鋼絲擋圈的作用下與觀察玻璃貼合；第二重保護結構由遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環、手柄和擋塊構成，磁流體密封件通過快卸連接器和密封圈固聯在法蘭連接器上，所述法蘭連接器密封焊接在真空腔室上，磁流體密封件的真空腔內一端設有遮板，另一端設有卡環和手柄，遮板在重力作用下自動轉回直至其下沿與擋塊相接。所述的鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈由觀察窗座內腔的凹槽、法蘭蓋和螺釘共同固定。所述的擋板玻璃由鋼絲擋圈卡持在觀察窗座內腔，并與觀察玻璃貼合。所述的鋼絲擋圈開設有缺口，并在缺口尾端折有彎爪。所述的磁流體密封件作為旋轉機構。所述的快卸連接器對磁流體密封件進行密封聯接。本技術同現有技術相比，采用了雙重保護結構，擋玻璃置于觀察窗座內腔，在觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔，構成第一重保護。遮板置于真空腔室內，遮蔽觀察窗視口，構成第二重保護。其次，本技術的擋玻璃由鋼絲擋圈卡持在觀察窗座內腔，并與觀察玻璃貼合，可以更好的保護觀察玻璃。鋼絲擋圈開有缺口，并在缺口尾端折有彎爪。通過捏住彎爪即可拆卸鋼絲擋圈，方便取出擋玻璃進行更換。另外，本技術采用磁流體密封件作為旋轉動力傳輸件，使得傳動機構簡潔緊湊，密封性好。采用快卸連接器進行密封聯接，便于裝置拆卸，且密封性能好。遮板可在重力的作用下，自動轉回直至其下沿與擋塊相接，將觀察窗完全遮蔽。圖I是本技術的真空腔室觀察窗的結構示意圖；圖2是本技術的真空腔室觀察窗的遮板施用示意圖；如圖所示，圖中1為遮板2為密封圈3為快卸連接器4為磁流體密封件5為卡環6為手柄7為法蘭連接器8為鋼絲擋圈9為擋玻璃10為密封圈11為觀察玻璃12為橡膠墊圈13為法蘭蓋14為觀察窗座15為擋塊16為觀察窗視口；指定圖I為本技術的摘要附圖。 [具體實施方式]以下結合附圖對本技術作進一步說明，這種裝置的結構和原理對本技術來說是非常清楚的。本技術包括鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋，所述觀察窗還包括遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環、手柄和擋塊。所述真空腔室觀察窗的第一重保護由鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋構成。在觀察窗座的內腔，由內向外依次裝入鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈，該五個部件由觀察窗座內腔的凹槽、法蘭蓋和螺釘共同作用固定。所述觀察窗座密封焊接在真空腔室上。擋玻璃在觀察窗和真空腔室之間形成間隔，并在鋼絲擋圈的作用下與觀察玻璃貼合，保護觀察玻璃。所述真空腔室觀察窗的第二重保護由遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環、手柄和擋塊構成。磁流體密封件使用快卸連接器和密封圈固聯在法蘭連接器上。所述法蘭連接器密封焊接在真空腔室上。磁流體密封件的真空腔內一端安裝遮板，另一端安裝卡環和手柄。遮板在重力作用下自動轉回直至其下沿與擋塊相接，將觀察窗完全遮蔽，保護擋玻璃和觀察玻璃。如圖I所示，是本技術的結構示意圖，所述的觀察窗包括鋼絲擋圈8、擋玻璃9、密封圈10、觀察玻璃11、橡膠墊圈12和法蘭蓋13，所述觀察窗還包括遮板I、密封圈2、快卸連接器3、磁流體密封件4、卡環5、手柄6和擋塊15。如圖I所示，在觀察窗座14的內腔，由內向外依次裝入鋼絲擋圈8、擋玻璃9、密封圈10、觀察玻璃11、橡膠墊圈12，該五個部件由觀察窗座14內腔的凹槽、法蘭蓋13和螺釘共同作用固定。磁流體密封件4安裝在法蘭連接器7上，使用快卸連接器3對兩部件進行連接。磁流體密封件4和法蘭連接器7的安裝面之間置有密封圈2。遮板I安裝在磁流體密封件4的真空腔室內一端，使用鍵進行固定。卡環5安裝在磁流體密封件4的真空腔室外一端，使用鍵和螺釘進行固定。卡環5上安裝手柄6。擋塊15置于真空腔室內部，靠近觀察窗的側壁上，用于定位遮板I的位置。擋玻璃9由鋼絲擋圈8卡持在觀察窗座14內腔，并與觀察玻璃11貼合。在擋玻璃9觀察玻璃11與真空腔室之間形成間隔，構成第一重保護。遮板I置于真空腔室內，遮擋觀察窗視口，防止鍍膜過程中的濺射物直接在擋玻璃9上沉積，間接保護觀察玻璃11，構成第二重保護。鋼絲擋圈8設有彎爪結構，捏住彎爪，即可卸下鋼絲擋圈8，取出擋玻璃9進行更換，操作過程簡便快捷。如圖2所示，遮板I在重力的作用下，自動轉回直至其下沿與擋塊15相接，將觀察窗完全遮蔽。逆時針旋轉手柄6，通過磁流體密封件4帶動遮板I旋轉，即可重新打開觀察窗視口。·權利要求1.一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，包括遮板(I)、密封圈(2)、快卸連接器(3)、磁流體密封件(4)、卡環(5)、手柄(6)、擋塊(15)、鋼絲擋圈(8)、擋玻璃(9)、密封圈(10)、觀察玻璃(11)、橡膠墊圈(12)和法蘭蓋(13)，其特征在于第一重保護結構由鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋構成，在觀察窗座的內腔，由內向外依次裝入鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈，所述觀察窗座密封焊接在真空腔室上，擋玻璃在觀察窗和真空腔室之間形成間隔，并在鋼絲擋圈的作用下與觀察玻璃貼合；第二重保護結構由遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環、手柄和擋塊構成，磁流體密封件通過快卸連接器和密封圈固聯在法蘭連接器上，所述法蘭連接器密封焊接在真空腔室上，磁流體密封件的真空腔內一端設有遮板，另一端設有卡環和手柄，遮板在重力作用下自動轉回直至其下沿與擋塊相接。2.如權利要求I所述的一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈由觀察窗座內腔的凹槽、法蘭蓋和螺釘共同固定。3.如權利要求I所述的一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的擋板玻璃由鋼絲擋圈卡持在觀察窗座內腔，并與觀察玻璃貼合。4.如權利要求I所述的一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的鋼絲擋圈開設有缺口，并在缺口尾端折有彎爪。5.如權利要求I所述的一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的磁流本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種帶有雙重保護結構的真空腔室觀察窗，包括遮板（1）、密封圈（2）、快卸連接器（3）、磁流體密封件（4）、卡環（5）、手柄（6）、擋塊（15）、鋼絲擋圈（8）、擋玻璃（9）、密封圈（10）、觀察玻璃（11）、橡膠墊圈（12）和法蘭蓋（13），其特征在于第一重保護結構由鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋構成，在觀察窗座的內腔，由內向外依次裝入鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈，所述觀察窗座密封焊接在真空腔室上，擋玻璃在觀察窗和真空腔室之間形成間隔，并在鋼絲擋圈的作用下與觀察玻璃貼合；第二重保護結構由遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環、手柄和擋塊構成，磁流體密封件通過快卸連接器和密封圈固聯在法蘭連接器上，所述法蘭連接器密封焊接在真空腔室上，磁流體密封件的真空腔內一端設有遮板，另一端設有卡環和手柄，遮板在重力作用下自動轉回直至其下沿與擋塊相接。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：葛治亮，李險峰，張超群，汪舒生，
申請(專利權)人：中國建材國際工程集團有限公司，
類型：實用新型
國別省市：