石英環類產品加工治具制造技術

本實用新型專利技術公開了一種石英環類產品加工治具，包括產品吸盤治具、真空吸盤、壓塊、機床工作臺、氣管和與所述氣管連接的連接頭，所述真空吸盤通過所述壓塊與所述機床工作臺連接，所述連接頭通過AB膠與所述真空吸盤固定連接，所述產品吸盤治具通過石蠟與所述真空吸盤粘結；所述產品吸盤治具設有吸氣孔；所述真空吸盤設置吸氣回路槽、吸氣接頭孔和排液孔；所述產品吸盤治具上的吸氣孔與所述真空吸盤上的吸氣回路槽對齊。本實用新型專利技術大大提高產品合格率，降低生產成本，縮短了產品的生產周期，可廣泛用于石英環類產品加工的生產線上。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及石英產品的制造領域，尤其是適用于一種石英環類產品加工治具。
技術介紹
石英環類產品屬于半導體設備中的必要產品，現有制造技術中，石英環類產品制造時產品需要在加熱平臺上加熱后，在產品和石英定盤上涂上高強度石蠟，使產品和定盤很好吻合粘結；然后使產品和定盤冷卻，再用夾具裝夾到機床工作臺上，加工完成后，在將粘有產品的定盤放置在加熱平臺上加熱使石蠟溶解，并用沸水洗凈油脂。由于主要是手工 作業過程，所以產品與定盤的吻合程度很難保證，同時電量消耗較大，反復搬運工作量大，粘蠟工作周期也比較長，浪費時間。采用粘蠟的加工方法存在的缺點是整體效率低，能耗加大，質量不穩定，粘蠟過程會產生產品粘結面的劃傷；同時，需要將產品搬來搬去，安全也是一個很大的問題。
技術實現思路
為了解決現有技術中手工粘蠟操作時存在的整體效率低，能耗大，質量不穩定且粘蠟過程會產生產品粘結面的劃傷等問題，本技術提供一種產品加工效率高且質量穩定可靠的質量、電能消耗低的石英環類產品加工治具。本技術采用的技術方案是石英環類產品加工治具，其特征在于包括產品吸盤治具、真空吸盤、壓塊、機床工作臺、氣管和與所述氣管連接的連接頭，所述真空吸盤通過所述壓塊與所述機床工作臺連接，所述連接頭通過膠體與所述真空吸盤固定連接，所述產品吸盤治具通過石蠟與所述真空吸盤粘結。進一步，所述產品吸盤治具設有吸氣孔；根據不同的產品尺寸進行更換，而在其產品吸盤治具上根據產品結構設置不同形狀的吸氣孔。進一步，所述真空吸盤設置吸氣回路槽、吸氣接頭孔和排液孔。進一步，所述產品吸盤治具上的吸氣孔與所述真空吸盤上的吸氣回路槽完全配合對齊，以不能有漏氣現象為目的。本技術考慮到產品與別的材料接觸污染和產品劃傷等問題，所述的真空吸盤采用與產品相同的材料石英制成，是整個治具的主體部分，起到定位和氣體腔體回路作用?？紤]到產品與別的材料接觸污染和產品劃傷等問題，所述的產品吸盤治具采用與產品相同的材料石英制成，同時，所述的產品吸盤治具根據不同的產品尺寸進行更換，而在其上根據產品結構設置不同形狀吸氣孔，起到產品定位和產品吸力作用。所述的壓塊是由不銹鋼材料制成的，主要作用是將真空吸盤牢固的固定在機床工作臺上。所述的氣管和連接頭，其作用是連接真空泵和真空吸盤，使其形成回路。技術使用時，將所述氣管與所述連接頭進行連接，并將連接頭用膠體與所述石英材料的真空吸盤進行連接，確認好氣密性，將產品吸盤治具用高強度石蠟固定安裝到真空吸盤上，并確認好相對位置使吸氣孔與吸氣槽完全配合對齊，再用壓塊固定，將產品放入產品吸盤治具上，開啟真空泵使其產品吸牢，固定后，尺寸不會在加工過程中再變動，無需調節或測量尺寸，加工完成后，放氣直接可以拿下產品。本技術的有益效果體現在I、通過采用加工治具操作，解決了加工過程中粘蠟和脫蠟工作；2、通過采用加工治具產品加工，解決了操作人員粘蠟時造成劃傷和粘蠟不牢的問題；3、通過采用加工治具，解決了質量不穩定的問題；4、通過采用加工治具，能耗低，成本大大降低。 5、本技術具有大大提高產品合格率，降低生產成本，縮短了產品的生產周期，可廣泛用于石英環類產品加工的生產線上。附圖說明圖I是本技術石英環類產品加工治具的結構示意圖。圖2是本技術石英環類產品加工治具的截面圖。圖3是本技術石英環類產品加工治具的真空吸盤結構示意圖。圖4是本技術石英環類產品加工治具的產品吸盤治具結構示意圖。具體實施方式參照圖I至圖4，石英環類產品加工治具，包括產品吸盤治具2、真空吸盤3、壓塊4、機床工作臺5、氣管6和與所述氣管6連接的連接頭7，所述真空吸盤3通過所述壓4塊與所述機床工作臺5連接，所述連接頭7通過膠體與所述真空吸盤3固定連接，所述產品吸盤治具2通過石蠟與所述真空吸盤3粘結。進一步，所述產品吸盤治具2設有吸氣孔；根據不同的產品尺寸進行更換，而在其產品吸盤治具2上根據產品結構設置不同形狀的吸氣孔。進一步，所述真空吸盤3設置吸氣回路槽、吸氣接頭孔和排液孔。進一步，所述產品吸盤治具2上的吸氣孔與所述真空吸盤3上的吸氣回路槽對齊，不能有漏氣現象。本技術考慮到產品I與別的材料接觸污染和產品劃傷等問題，所述的真空吸盤3采用與產品相同的材料石英制成，是整個治具的主體部分，起到定位和氣體腔體回路作用。所述的產品吸盤治具2根據不同的產品尺寸進行更換，而在其上根據產品結構設置不同形狀吸氣孔，起到產品定位和產品吸力作用。所述的壓塊4是由不銹鋼材料制成的，主要作用是將真空吸盤3牢固的固定在機床工作臺5上。所述的氣管6和連接頭7，其作用是連接真空泵和真空吸盤3，使其形成回路。技術使用時，將所述氣管6與所述連接頭7進行連接，并將連接頭7用膠體與所述石英材料的真空吸盤3進行連接，確認好氣密性，將產品吸盤治具2用高強度石蠟固定安裝到真空吸盤3上，并確認好相對位置使吸氣孔與吸氣槽完全配合對齊，再用壓塊4固定，將產品I放入產品吸盤治具2上，開啟真空泵使其產品吸牢，固定后，尺寸不會在加工過程中再變動，無需調節或測量尺寸，加工完成后，放氣直接可以拿下產品。本說明書實施例所述的內容僅僅是對專利技術構思的實現形式的列舉，本技術的保護范圍不應當被視為僅限于實施例所陳述的具體形式，本技術的保護范圍也及于本領域技術人員根據本專利技術構思所能夠想到的等同技術手段。權利要求1.石英環類產品加工治具，其特征在于包括產品吸盤治具、真空吸盤、壓塊、機床工作臺、氣管和與所述氣管連接的連接頭，所述真空吸盤通過所述壓塊與所述機床工作臺連接，所述連接頭通過膠體與所述真空吸盤固定連接，所述產品吸盤治具通過石蠟與所述真空吸盤粘結。2.如權利要求I所述的石英環類產品加工治具，其特征在于所述產品吸盤治具設有吸氣孔。3.如權利要求I所述的石英環類產品加工治具，其特征在于所述真空吸盤設置吸氣回路槽、吸氣接頭孔和排液孔。4.如權利要求f3之一所述的石英環類產品加工治具，其特征在于所述產品吸盤治具上的吸氣孔與所述真空吸盤上的吸氣回路槽對齊。5.如權利要求I所述的石英環類產品加工治具，其特征在于所述的產品吸盤治具采用與產品相同的材料石英制成。專利摘要本技術公開了一種石英環類產品加工治具，包括產品吸盤治具、真空吸盤、壓塊、機床工作臺、氣管和與所述氣管連接的連接頭，所述真空吸盤通過所述壓塊與所述機床工作臺連接，所述連接頭通過AB膠與所述真空吸盤固定連接，所述產品吸盤治具通過石蠟與所述真空吸盤粘結；所述產品吸盤治具設有吸氣孔；所述真空吸盤設置吸氣回路槽、吸氣接頭孔和排液孔；所述產品吸盤治具上的吸氣孔與所述真空吸盤上的吸氣回路槽對齊。本技術大大提高產品合格率，降低生產成本，縮短了產品的生產周期，可廣泛用于石英環類產品加工的生產線上。文檔編號C03B20/00GK202717695SQ20122031975公開日2013年2月6日 申請日期2012年7月3日 優先權日2012年7月3日專利技術者楊軍, 童健康, 吳然紅, 蘇云飛, 饒開紅, 顧永明 申請人:杭州大和熱磁電子有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
石英環類產品加工治具，其特征在于：包括產品吸盤治具、真空吸盤、壓塊、機床工作臺、氣管和與所述氣管連接的連接頭，所述真空吸盤通過所述壓塊與所述機床工作臺連接，所述連接頭通過膠體與所述真空吸盤固定連接，所述產品吸盤治具通過石蠟與所述真空吸盤粘結。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：楊軍，童健康，吳然紅，蘇云飛，饒開紅，顧永明，
申請(專利權)人：杭州大和熱磁電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：