【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)系統(tǒng)，可廣泛用于平面光柵不同級(jí)次衍射波的波前檢測(cè)。
技術(shù)介紹
衍射光柵是利用光的多狹縫衍射效應(yīng)進(jìn)行色散，使光波衍射而產(chǎn)生大量光束繼而形成光譜的光柵元件，它是應(yīng)用在光譜儀器中的核心元件之一。一般來說平面光柵質(zhì)量的好壞通常直接決定了一臺(tái)光譜儀器的優(yōu)劣，因此平面光柵質(zhì)量的檢測(cè)對(duì)于光柵的使用者和制作者來說都是必不可少的。平面光柵檢測(cè)的內(nèi)容包括平面光柵性能及影響平面光柵性能的主要參數(shù)的測(cè)量。平面光柵的性能指標(biāo)有衍射波前、光柵分辨率、衍射效率、雜散光和鬼 線。衍射波前是全部影響平面光柵性能參數(shù)的綜合反映，包括槽形、雜散光、鬼線及基片像差。平面光柵的衍射波前直接決定了光譜質(zhì)量和分辨本領(lǐng)，而且從波面形狀可以判斷有無鬼線及鬼線的種類。測(cè)量平面光柵衍射波前及波前像差，實(shí)質(zhì)上是利用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)平面或球面波與實(shí)際波面相比較。干涉法檢測(cè)平面光柵是一種傳統(tǒng)方法，由于用到的裝置較多，測(cè)量結(jié)果很難精確。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)公開了一種平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)系統(tǒng)，可以有效克服現(xiàn)有技術(shù)在對(duì)平面光柵衍射波前檢測(cè)時(shí)測(cè)量精度不夠和平面光柵位置不易調(diào)整，且費(fèi)時(shí)費(fèi)力的缺陷。本技術(shù)利用現(xiàn)代高科技產(chǎn)品ZYGO干涉儀在分辨率，抗干涉能力和測(cè)量精度方面的優(yōu)異性能，并配合標(biāo)準(zhǔn)反射鏡的使用，可使平面光柵衍射波前測(cè)量在測(cè)量精度方面得到極大改善。本技術(shù)的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)系統(tǒng)，包括平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置、平面光柵正級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路、平面光柵負(fù)級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路；A)所述的平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置包括ZYG0干涉...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)系統(tǒng)，包括：平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置、平面光柵正級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路、平面光柵負(fù)級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路；其特征在于：A)所述的平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置包括：ZYGO干涉儀、計(jì)算機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)平面透鏡、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、平面反射鏡，平面光柵；其中標(biāo)準(zhǔn)平面透鏡安裝在ZYGO干涉儀上，ZYGO干涉儀內(nèi)置激光儀，通過數(shù)據(jù)線與計(jì)算機(jī)連接，平面光柵置于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的平面光柵與平面反射鏡置于光路中；B)平面光柵正級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路：激光從ZYGO干涉儀中的激光器射出，經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)平面透鏡后，與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上平面光柵的法線構(gòu)成入射角，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上平面光柵的入射角等于衍射角；C)平面光柵負(fù)級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路,激光從ZYGO干涉儀中的激光器射出，經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)平面透鏡、平面光柵到達(dá)平面反射鏡，平面反射鏡與平面光柵衍射光垂直，衍射光作為測(cè)量波面經(jīng)平面反射鏡反射，沿原路返回ZYGO干涉儀。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)系統(tǒng)，包括平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置、平面光柵正級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路、平面光柵負(fù)級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路；其特征在于 A)所述的平面衍射光柵衍射波前檢測(cè)裝置包括ZYGO干涉儀、計(jì)算機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)平面透鏡、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、平面反射鏡，平面光柵；其中標(biāo)準(zhǔn)平面透鏡安裝在ZYGO干涉儀上，ZYGO干涉儀內(nèi)置激光儀，通過數(shù)據(jù)線與計(jì)算機(jī)連接，平面光柵置于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的平面光柵與平面反射鏡置于光路中； B)平面光柵正級(jí)次衍射波前檢測(cè)的入射光與衍射光光路激光從ZYGO干涉儀中的激光器射出，經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)平面透...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：錢林勇，黃元申，徐邦聯(lián)，王琦，張大偉，陶春先，倪爭(zhēng)技，莊松林，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海理工大學(xué)，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：
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