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一種平面衍射光柵衍射波前檢測系統，包括：平面衍射光柵衍射波前檢測裝置、平面光柵正級次衍射波前檢測的入射光與衍射光光路、平面光柵負級次衍射波前檢測的入射光與衍射光光路；平面衍射光柵衍射波前檢測裝置中標準平面透鏡安裝在ZYGO干涉儀上，ZYGO...
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