【技術實現步驟摘要】
光刻機電子系統的整體布局的結構
本技術屬于光刻
，涉及一種光刻機電子系統的整體布局的結構。
技術介紹
光刻技術是用于在襯底表面上印刷具有特征的構圖。這樣的襯底可包括用于制造半導體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等的基片。經常使用的基片為半導體晶圓或玻璃基片。電子系統實現光刻機的自動控制，主要包括光學焦距的自動控制、激光機能量的穩定控制，氣動門的控制以及各種告警指示。其中每一個功能都需要一個電子子系統，每一個子系統都需要一個開關電源供電，并且與上位機通信。這樣，接線眾多，不但亂，而且檢修不方便。電子系統是光刻機中不可缺少的一個組成部分，其體積的大小，布線的復雜程度將影響光刻機的整體設計與布局，因此，應盡量的減少電子系統的布線與體積。
技術實現思路
本技術提供一種使用一個通信系統實現各個子系統與上位機的通信，使用連接板實現各個子系統與·通信系統的連接與供電的光刻機電子系統的整體布局的結構。本技術采用的技術方案如下光刻機電子系統的整體布局的結構，包括有上位機和多個子系統，其特征在于還包括有電路板、連接板，所述的電路板上設有通信系統，通信系統還擴展設有8個SPI 口、兩個串口和一個網口，上位機通過網口與通信系統進行通信連接，各個子系統通過SPI 口和串口與通信系統連接，各個子系統均置于連接板上，所述的連接板上設有電源，連接板上的電源為各個子系統供電。所述的各個子系統和連接板固定于一個4U機箱中。本技術增加連接板，連接板負責將所有的子系統連接起來，并給子系統提供電源，將各個子系統插在連接板上，與...
【技術保護點】
一種光刻機電子系統的整體布局的結構，包括有上位機和多個子系統，其特征在于：還包括有電路板、連接板，所述的電路板上設有通信系統，通信系統還擴展設有8個SPI口、兩個串口和一個網口，上位機通過網口與通信系統進行通信連接，各個子系統通過SPI口和串口與通信系統連接，各個子系統均置于連接板上，所述的連接板上設有電源，連接板上的電源為各個子系統供電。
【技術特征摘要】
1.一種光刻機電子系統的整體布局的結構，包括有上位機和多個子系統，其特征在于 還包括有電路板、連接板，所述的電路板上設有通信系統，通信系統還擴展設有8個SPI 口、 兩個串口和一個網口，上位機通過網口與通信系統進行通信連接，各個子系...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳修濤，周玉，陳勇，
申請(專利權)人：合肥芯碩半導體有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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