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本實用新型公開了一種光刻機(jī)電子系統(tǒng)的整體布局的結(jié)構(gòu)，包括有上位機(jī)和多個子系統(tǒng)、電路板、連接板，電路板上設(shè)有通信系統(tǒng)，通信系統(tǒng)還擴(kuò)展設(shè)有8個SPI口、兩個串口和一個網(wǎng)口，上位機(jī)通過網(wǎng)口與通信系統(tǒng)進(jìn)行通信連接，各個子系統(tǒng)通過SPI口和串口與通信...該專利屬于合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司授權(quán)不得商用。