【技術實現步驟摘要】
一種真空壓力調節閥
本專利技術涉及閥門
，尤其涉及一種壓力調節閥。
技術介紹
真空壓力調節閥是真空設備上必不可少的部件，用來調節真空設備的壓強，其操作的可控性和穩定性直接影響真空設備的使用性能。真空壓力調節閥一般通過調節閥口流導大小來調節反應室真空度，流導是真空管道、孔、擋板、阱及閥門等元件傳輸氣體的能力。 一般閥門的最小可控流導越小，閥的靈敏度越高，因此真空壓力調節閥設計過程中需盡可能增大閥芯厚度，同時又要顧及到閥芯在閥腔內轉動自如，間隙不能過小，因此要求閥腔、 閥芯和閥桿具有較高的精度，這就給設計和制造帶來了難度。
技術實現思路
本技術提供一種真空壓力調節閥，包括閥體、閥芯、閥桿、軸承、壓力傳感器、 PLC系統、電位器、電機和封堵，所述閥體內設置有閥芯和閥桿，所述閥桿穿過閥芯，其一端與所述軸承連接，其特征在于所述閥桿另一端與壓力傳感器連接，所述壓力傳感器還與 PLC系統連接，PLC系統分別通過導線與電位器、電機連接，所述封堵設置在閥體端部。本技術的有益效果為閥體設置有PLC系統，PLC能通過采集壓力傳感器所檢測到的真空室實際壓力值，與設定值比較，然后調節閥桿位置，來調節閥口流導大小，使真空室達到設定值，簡化了傳動及定位機構，整個過程快速自動實現對閥門的調節，精度較高，同時采用電機作動力源，經濟、實用。整個閥結構緊湊，體積小，適合廣泛推廣。附圖說明圖I為本技術的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術作進一步解釋說明。圖I中1_閥體、2-閥芯、3-閥桿、4-軸承、5-壓力傳感器、6-PLC系統、7-電位器、 8_電機、9_封堵。在本技術中，閥...
【技術保護點】
一種真空壓力調節閥，包括閥體（1）、閥芯（2）、閥桿（3）、軸承（4）、壓力傳感器（5）、PLC系統（6）、電位器（7）、電機（8）和封堵（9），所述閥體（1）內設置有閥芯（2）和閥桿（3），所述閥桿（3）穿過閥芯（2），其一端與所述軸承（4）連接，其特征在于：所述閥桿（3）另一端與壓力傳感器（5）連接，所述壓力傳感器（5）還與PLC系統（6）連接，PLC系統（6）分別通過導線與電位器（7）、電機（8）連接，所述封堵（9）設置在閥體（1）端部。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：蔡敏，唐廣勇，
申請(專利權)人：天津市金佳同達科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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