晶圓標記的位置檢查裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術提供一種晶圓標記的位置檢查裝置，屬于半導體制程技術領域。該位置檢查裝置包括：設置有弧形卡槽的卡板、以及設置有標記可視框的定位板；其中，所述弧形卡槽的形狀被設置為與晶圓的標記所在的邊緣部分的邊沿形狀相對應，所述定位板的一端在所述弧形卡槽的中央位置處垂直固定在所述卡板上，以使所述弧形卡槽與邊緣部分相卡合時、所述標記可視框相對所述弧形卡槽的位置與所述晶圓上的標記區(qū)域相對所述邊緣部分的邊沿的位置相對應。該位置檢查裝置操作簡單、標記位置檢查方便，人為誤差小，并且容易對標記的位置指標進行量化。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現(xiàn)步驟摘要】

本技術屬于半導體制程
，涉及半導體制程中所使用的晶圓的打標過程，尤其涉及被打標在晶圓上的標記的位置檢查裝置。
技術介紹
晶圓是制造芯片的常規(guī)襯底材料，在對晶圓上執(zhí)行許多步的半導體制程，以同時形成多個芯片。在半導體制程中，需要對每片晶圓進行打標以標識每片晶圓，從而方便在芯片出貨時識別，并且有利于追溯歷史。打標一般通過打標機完成，在每片晶圓的預定位置上打標形成標記。圖I所示為晶圓上打標形成標記的示意圖。如圖I所示，晶圓900上設置有預定 的標記區(qū)域910，其用于標出標記。標記區(qū)域910通常位于晶圓900的邊緣區(qū)域部分，這樣可以提高晶圓的利用率。標記區(qū)域910在晶圓上的位置必須在規(guī)定的范圍內，以便最終制程完成后標記仍然能夠被辨識、不被遮擋。但是，標記在晶圓上的打標位置經常會出現(xiàn)走位的現(xiàn)象，這就需要對標記的位置進行監(jiān)控檢查。現(xiàn)有技術中，通常采用人工目檢的方式完成，如果檢查不合格，則采用重新打標或者換位打標的方式進行補救。這種方法有較大的人為誤差，且不便于量化檢查指標。
技術實現(xiàn)思路
為解決以上技術問題或者其他技術問題，本技術提出一種方便檢查晶圓標記位置的裝置。本技術公開一種晶圓標記的位置檢查裝置，其包括設置有弧形卡槽的卡板,和設置有標記可視框的定位板；其中，所述弧形卡槽的形狀被設置為與晶圓的標記所在的邊緣部分的邊沿形狀相對應，所述定位板的一端在所述弧形卡槽的中央位置處垂直固定在所述卡板上，以使所述弧形卡槽與邊緣部分相卡合時、所述標記可視框相對所述弧形卡槽的位置與所述晶圓上的標記區(qū)域相對所述邊緣部分的邊沿的位置相對應。按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝，其中，所述弧形卡槽的內徑等于所述晶圓的直徑。按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝，其中，所述弧形卡槽與標記處所對應的晶圓邊沿相卡合時，所述定位板經過所述晶圓的圓心。按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝，其中，所述標記可視框在所述定位板上對應于所述標記區(qū)域挖孔形成。按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝，其中，所述標記可視框為方形。按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝，其中，所述定位板的長度大于所述晶圓的直徑，所述定位板的寬度大于所述標記區(qū)域的寬度。按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝，其中，設置所述弧形卡槽的長度和高度以使所述標記可視框對應落在所述弧形卡槽的弧形區(qū)域范圍內。本技術的提供的晶圓標記的位置檢查裝置操作簡單，方便了晶圓標記的位置檢查、監(jiān)控，人為誤差小，并且容易對標記的位置指標進行量化。附圖說明從結合附圖的以下詳細說明中，將會使本技術的上述和其他目的及優(yōu)點更加完全清楚，其中，相同或相似的要素采用相同的標號表示。圖I是晶圓上打標形成標記的示意圖。圖2是按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝置的結構示意圖。圖3是圖2所示位置檢查裝置在對晶圓的標記進行位置檢查時的示意圖。具體實施方式下面介紹的是本技術的多個可能實施例中的一些，旨在提供對本技術的基本了解，并不旨在確認本技術的關鍵或決定性的要素或限定所要保護的范圍。容易理解，根據(jù)本技術的技術方案，在不變更本技術的實質精神下，本領域的一般技術人員可以提出可相互替換的其他實現(xiàn)方式。因此，以下具體實施方式以及附圖僅是對本技術的技術方案的示例性說明，而不應當視為本技術的全部或者視為對本技術技術方案的限定或限制。圖2所示為按照本技術一實施例的晶圓標記的位置檢查裝置的結構示意圖，圖3所示為圖2所示位置檢查裝置在對晶圓的標記進行位置檢查時的示意圖。晶圓標記的位置檢查裝置100在該實施例中用于檢查如圖I所示的晶圓900中的標記是否符合預定位置要求，也即可以檢查打標形成的標記在晶圓上的落位是否準確(是否落位在標記區(qū)域910)。如圖2和圖3所示，位置檢查裝置100包括卡板110和定位板130，卡板110上設置有弧形卡槽111，弧形卡槽111的形狀與晶圓900的標記所在邊緣部分的邊沿形狀相對應，通常地晶圓900為圓形，弧形卡槽111的形狀與晶圓900的部分圓周邊沿形狀相對應設置即可。具體地，晶圓900的圓周邊沿形狀由其直徑決定，因此，弧形卡槽111的內徑基本等于晶圓900的直徑，弧形卡槽111的弧形部分的長度以弧形卡槽111能方便準備卡合晶圓900為準，當然，卡板110的寬度也影響弧形部分的長度。在該實施例中，定位板130在卡板110的板面上垂直地固定在卡板110上，如圖2和圖3所示，定位板130的一端固定在弧形卡槽111的中央位置處，因此，在定位板130的弧形卡槽111卡合欲檢查的晶圓900時，定位板130在平面晶圓900的表面上經過晶圓900的圓心A。因此，整體上，定位板130和卡板110大致地形成了丁字形尺。由于晶圓900的標記區(qū)域910 —般是位于晶圓900的邊緣部分，因此,其標記區(qū)域910的位置可以相對其邊緣部分的邊沿來定位。在該實施例中，如圖2和圖3所示，定位板130上設置有標記可視框131，在弧形卡槽111卡合晶圓900的邊沿時，標記可視框131可以在定位板130上對應于標記區(qū)域910挖孔形成，當然，在其他實施例中，標記可視框131也可以將定位板130上對應于標記區(qū)域910的部分設置為透明材料來形成。這樣，當晶圓上的標記準確落位于標記區(qū)域910中時，標記可視框131可以觀察到標記；否則，標記可視框131觀察不到標記或者觀察到標記偏離標記可視框131。因此，標記區(qū)域910相對弧形卡槽111的位置(即二者之間的相對位置關系)是與標記區(qū)域910相對其邊緣部分的邊沿的位置(即標記區(qū)域910與卡合的邊沿之間的相對位置關系)相對對應的。定位板130的長度一般地設置為大于晶圓900的直徑,其寬度也大于標記區(qū)域910的寬度。標記可視框131的面積大小可以設置為基本等于標記區(qū)域910的面積大小，其具體形狀可以為如圖2和圖3所示的方形，但是，其具體形狀并不限于該實施例，例如，其還可以為圓形。卡板110的長度設置為大于弧形卡槽111的長度，卡板110的寬度設置為大于弧形卡槽111的高度。在該實施例中，可以設置弧形卡槽111的長度和高度，以使標記可視框131對應落在弧形卡槽111的弧形區(qū)域范圍內。在使用本技術的位置檢查裝置100時，如圖3所示，在晶圓被打標后，將該丁·字形的檢查裝置100置放于晶圓900上，弧形卡槽111對應卡和在標記所對應的邊緣的邊沿上，通過觀看標記可視框131，可以判斷標記是否準確落位在預定的標記區(qū)域910中。如果觀察不到標記或者觀察到標記偏離標記可視框131，可以重新進行打標。因此，本技術針對晶圓標記位置檢查這一特殊要求，提供了位置檢查裝置100這種專用工具，方便了晶圓標記的位置檢查、監(jiān)控，操作簡單、人為誤差小，容易對標記的位置指標進行量化。需要理解的是，按照以上實施例的啟示，可以針對不同晶圓類型(例如不同直徑的晶圓)和/或標記區(qū)域在晶圓上的位置差異來相應地設計向合適的晶圓標記的位置檢查裝置，例如，修改弧形卡槽111的內徑，修改標記可視框131相對弧形卡槽111的位置。以上例子主要說明了本技術的晶圓標記的位置檢查裝置。盡管只對其中一些本技術的實施方式進行了描述，但是本領域普通技本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種晶圓標記的位置檢查裝置，其特征在于，包括：設置有弧形卡槽的卡板，和設置有標記可視框的定位板；其中，所述弧形卡槽的形狀被設置為與晶圓的標記所在的邊緣部分的邊沿形狀相對應，所述定位板的一端在所述弧形卡槽的中央位置處垂直固定在所述卡板上，以使所述弧形卡槽與邊緣部分相卡合時、所述標記可視框相對所述弧形卡槽的位置與所述晶圓上的標記區(qū)域相對所述邊緣部分的邊沿的位置相對應。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：李晶，
申請(專利權)人：無錫華潤上華科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：