用于放置基板的存儲裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術提供了一種用于放置基板的存儲裝置。存儲裝置包括：盒蓋；盒體，盒體與盒蓋可拆卸地連接，盒蓋與盒體之間形成存儲空間；至少一對插板，可拆卸地設置在盒體的內部，每對插板彼此相對地布置，并且每個插板均包括多個平行且間隔設置的插槽。本實用新型專利技術通過在盒體內設置插板，并與盒蓋相配合形成用于放置基板的存儲空間。由于插板上設置有多個平行且間隔設置的插槽，從而可以將放置在存儲裝置內的每個基板獨立隔開，因而減少了基板間的碰撞。本實用新型專利技術還具有結構簡單、制造成本低等特點。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及基板存儲領域，更具體地，涉及一種用于放置基板的存儲裝置。技術背景基板，例如大尺寸勻膠鉻版，是一種硬面光掩膜材料，即光掩膜基板。它是在平整的、高光潔度的玻璃基板上通過直流磁控濺射沉積上氮化鉻氮氧化鉻薄膜而形成鉻膜基板，再在其上涂敷一層光致抗蝕劑(又稱光刻膠)或電子束抗蝕劑制成勻膠鉻版。現有技術中基板一般放置在晶圓包裝盒中存儲。由于晶圓與基板的形狀不同，所以晶圓包裝盒的內部空間不能很好的滿足基板的存儲要求。而且晶圓包裝盒是透明的，但存儲基板時應需要滿足其避光的存儲要求，所以難以避免基板在存儲的過程中發生曝光的情況。在運輸的過程中，為保證不會發生基板與晶圓包裝盒的盒壁碰撞而導致基板損壞的情況，所以在盒內與基板角部對應的位置采用硬物頂住的方式進行固定，但此方法導致加工工序復雜、制造成本高，且當震動較大的情況下易造成基板產生擦痕。
技術實現思路
本技術旨在提供一種用于放置基板的存儲裝置，以解決現有技術中存儲基板時容易發生基板損壞的問題。為解決上述技術問題，本技術提供了一種用于放置基板的存儲裝置，包括盒蓋；盒體，盒體與盒蓋可拆卸地連接，盒蓋與盒體之間形成存儲空間；至少一對插板，可拆卸地設置在盒體的內部，每對插板彼此相對地布置，并且每個插板均包括多個平行且間隔設置的插槽。進一步地,存儲裝置還包括減震部，減震部設置在盒蓋的頂壁。進一步地，盒蓋和盒體均包括不透光層。進一步地，盒蓋包括第一容納腔，盒體包括第二容納腔，第一容納腔和第二容納腔配合形成存儲空間。進一步地，第一容納腔內設置有固定孔，減震部通過固定孔固定設置在盒蓋上。進一步地，減震部是彈性軟管或海綿件或橡膠件。進一步地，盒體的內側壁包括對應設置的第一側壁和第二側壁以及對應設置的第三側壁和第四側壁，第一側壁、第二側壁、第三側壁和第四側壁圍成盒體的內腔，第一側壁和第二側壁的兩端分別固定設置有從盒體的底部向開口方向延伸的一個或多個卡板，卡板與相鄰的第三側壁或第四側壁之間形成限位空間，插板包括卡設在限位空間內的第一插板。進一步地，第三側壁和第四側壁上均設置有卡扣凹槽，第一插板上設置有與卡扣凹槽相配合的卡扣。進一步地，插板還包括安裝在盒體的底壁上的第二插板，第二插板上具有與第一插板上的插槽相對應的插槽。進一步地，盒體還包括提手，提手設置在盒體的兩個相對設置的外側壁上，并沿遠離盒體的方向向外側延伸。本技術通過在盒體內設置插板，并與盒蓋相配合形成用于放置基板的存儲空間。由于插板上設置有多個平行且間隔設置的插槽，從而可以將放置在存儲裝置內的每個基板獨立隔開，因而減少了基板間的碰撞。本技術還具有結構簡單、制造成本低等特點。附圖說明構成本申請的一部分的附圖用來提供對本技術的進一步理解，本技術的示意性實施例及其說明用于解釋本技術，并不構成對本技術的不當限定。在附圖中 圖I示意性示出了本技術中的存儲裝置的結構示意圖；圖2示意性示出了本技術中的存儲裝置的正向的結構示意圖；以及圖3示意性示出了圖I中A的局部放大圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的實施例進行詳細說明，但是本技術可以由權利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。本技術提供一種用于放置基板的存儲裝置。如圖I所示，本技術的存儲裝置包括盒蓋10 ;盒體20，盒體20與盒蓋10可拆卸地連接，盒蓋10與盒體20之間形成存儲空間；至少一對插板40，可拆卸地設置在盒體20的內部,每對插板40彼此相對地布置，每個所述插板40均包括多個平行且間隔設置的插槽41。基板放置在盒體20內，并通過插板40進行間隔設置。為避免在搬運存儲裝置的過程中由于基板與盒體20、盒蓋10發生碰撞而引發基板損壞的情況，所以盒體20和盒蓋10不應制造得過大，而且基板放置在存儲裝置內后，基板應與盒體20、盒蓋10有一定的抵接作用，從而保證基板放置的可靠性。由于設置了插板40，從而使得每個基板都被獨立隔開，因而減少了基板間的碰撞，減少了基板損壞的情況。同時，本技術還具有結構簡單、制造成本低等特點。本技術中的存儲裝置還包括減震部30，減震部30設置在盒蓋10的頂壁。由于在盒蓋10內設置有減震部30，從而使得基板放置在殼體內后與減震部30相接觸，不僅提高了基板放置的可靠性，同時還避免了基板與盒體20、盒蓋10直接發生碰撞，起到了減震緩沖的作用。優選地，如圖I和圖2所示的實施例中，盒蓋10包括第一容納腔11，盒體20包括第二容納腔21，第一容納腔11和第二容納腔21配合形成存儲空間。第一容納腔11內設置有固定孔12，減震部30通過固定孔12固定設置在盒蓋10上。優選地，減震部30可拆卸地與固定孔12連接。由于減震部30可拆卸，因而可以根據放置在存儲裝置內基板的大小，來調整減震部30的大小，從而保證基板可以穩固的放置在存儲裝置內。優選地，減震部30是彈性軟管或海綿件或橡膠件。進一步地，減震部30是軟管。基板放置在存儲裝置內后，軟管會頂住基板。因為軟管柔韌性好，所以不會損傷基板，而且在搬運存儲裝置的過程中也會起到良好的緩沖作用。軟管還具有成本低、安裝方便的特點。優選地，如圖I和圖2所示的實施例中，盒體20的內側壁包括對應設置的第一側壁22和第二側壁23以及對應設置的第三側壁25和第四側壁26，第一側壁22、第二側壁23、第三側壁25和第四側壁26圍成盒體20的內腔，第一側壁22和第二側壁23的兩端分別固定設置有從盒體20的底部向開口方向延伸的一個或多個卡板24，卡板24與相鄰的第三側壁25或第四側壁26之間形成限位空間，插板40包括卡設在限位空間內的第一插板43。優選地，兩個第一插板43分別設置在第三側壁25和第四側壁26的上部。第一插板43的朝向第二容納腔21的一側包括上述的插槽41，基板卡設在插槽41內。放置基板時，每個基板都應獨立的放置在兩個對應設置的第一插板43的插槽所形成的放置空間內，從而減小基板之間的碰撞情況，防止基板損壞。進一步地，第一插板43的插槽的大小可以不同。由于第一插板43的插槽的大小不同，因而第一插板43可以用于放置不同型號的基板，使第一插板43具有良好的適用性。放置基板時，只需將對應型號的基板放置在相應型號的第一插板43的插槽內，就可以實現對基板的穩定放置。如圖3所示，第三側壁25和第四側壁26上均設置有卡扣凹槽27，第一插板43上設置有與卡扣凹槽27相配合的卡扣42。由于盒體20上設置有卡扣凹槽27、第一插板43上設置有卡扣42，因而第一插板43可通過卡扣42卡接在卡扣凹槽27中，從而實現掛在盒體20的內側壁上。由于設置了卡板24形成了限位空間，從而使得第一插板43掛在盒體20的內側壁上后，可以卡設在限位空間中而不會脫落。優選地，如圖I和圖2所示的實施例中，卡板24與盒體20的內側壁所形成的限位空間中還卡設有除第一插板43以外的插板40。插板40的一端與盒體20的底壁相接觸，因而受到盒體20的底壁提供的支撐力，由于不需要掛接在盒體20的內側壁上，所以該插板40不需要設置卡扣42，而直接卡放在限位空間中即可。如圖2所示，插板40還包括安裝在盒體20的底壁上的第二插板44，第二插板44上具有與第一插板43上的插槽相對應的插槽。由于第二插板44由底壁提供支撐力，所以不需要本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于放置基板的存儲裝置，其特征在于，包括：盒蓋(10)；盒體(20)，所述盒體(20)與所述盒蓋(10)可拆卸地連接，所述盒蓋(10)與所述盒體(20)之間形成存儲空間；至少一對插板(40)，可拆卸地設置在所述盒體(20)的內部，每對所述插板(40)彼此相對地布置，并且每個所述插板(40)均包括多個平行且間隔設置的插槽(41)。

【技術特征摘要】
1.一種用于放置基板的存儲裝置，其特征在于，包括 盒蓋(10)； 盒體(20)，所述盒體(20)與所述盒蓋(10)可拆卸地連接,所述盒蓋(10)與所述盒體(20)之間形成存儲空間； 至少一對插板(40)，可拆卸地設置在所述盒體(20)的內部，每對所述插板(40)彼此相對地布置，并且每個所述插板(40)均包括多個平行且間隔設置的插槽(41)。2.根據權利要求I所述的存儲裝置，其特征在于，所述存儲裝置還包括減震部(30)，所述減震部(30)設置在所述盒蓋(10)的頂壁。3.根據權利要求I所述的存儲裝置，其特征在于，所述盒蓋(10)和盒體(20)均包括不透光層。4.根據權利要求I所述的存儲裝置，其特征在于，所述盒蓋(10)包括第一容納腔(11)，所述盒體(20)包括第二容納腔(21)，所述第一容納腔(11)和所述第二容納腔(21)配合形成所述存儲空間。5.根據權利要求4所述的存儲裝置，其特征在于，所述第一容納腔(11)內設置有固定孔(12)，所述減震部(30)通過所述固定孔(12)固定設置在所述盒蓋(10)上。6.根據權利要求5所述的存儲裝置，其特征在于，所述減震部(30)是彈性軟管或海綿件或橡I父件。7.根據權利要求I所述的存儲裝置，其特征在于，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：鄧輝，李弋舟，陳社誠，
申請(專利權)人：湖南電子信息產業集團有限公司，湖南普照信息材料有限公司，
類型：實用新型
國別省市：