自動(dòng)倉庫制造技術(shù)

自動(dòng)倉庫10具備裝置主體（10a）和移載裝置（26）。裝置主體（10a）沿左右上下設(shè)有在上表面載置盒（C）的多個(gè)固定貨架（24）。移載裝置（26）通過對(duì)盒（C）的凸緣（C1）進(jìn)行保持來移載盒（C）。移載裝置（26）具有鉛垂導(dǎo)軌（34）和移載頭（36）。鉛垂導(dǎo)軌（34）具有位于最上層的固定貨架（24）的支撐面（24a）附近的上端（34a）。移載頭（36）是能夠沿著鉛垂導(dǎo)軌（34）進(jìn)行升降的部件。移載頭（36）具有鉛垂臂（36a），該鉛垂臂（36a）具有能夠?qū)d置于最上層的固定貨架（24）的盒（C）的凸緣（C1）進(jìn)行保持的長度。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及自動(dòng)倉庫，尤其涉及在處理裝置的附近保管物品的自動(dòng)倉庫。
技術(shù)介紹
在半導(dǎo)體或液晶的制造工廠中，在硅晶片或玻璃板等基板上經(jīng)過薄膜形成、氧化、蝕刻等各種處理結(jié)構(gòu)，從而在基板上形成半導(dǎo)體器件或液晶器件。在盒中收納有基板，從而基板以盒為單位被橋式搬送車在這種處理裝置之間進(jìn)行搬送。在處理裝置與橋式搬送車之間的盒的交接場所，為了調(diào)整橋式搬送車和處理裝置之間的處理時(shí)間而設(shè)置有被稱為裝置前自動(dòng)倉庫的緩沖區(qū)(例如參照專利文獻(xiàn)I)。以往的裝置前自動(dòng)倉庫具備多個(gè)固定貨架，上下隔開間隔地配置，用于保管盒；以及移載裝置，能夠在各固定貨架之間交接物品。固定貨架上下隔開間隔地配置，最上層的固定貨架成為與橋式搬送車的盒交接場所。并且，在最下層的固定貨架的下方配置有與處理裝置的盒交接口。處理裝置從載置于該交接口的盒中取出基板進(jìn)行處理。移載裝置面向固定貨架的與處理裝置側(cè)相反的一側(cè)而配置，在各固定貨架之間、以及各固定貨架和交接口之間移載盒。通過設(shè)置這樣的裝置前自動(dòng)倉庫，即使由于處理裝置或搬送裝置的故障而導(dǎo)致盒的供給或搬出停滯，也不會(huì)發(fā)生系統(tǒng)停機(jī)，能夠連續(xù)地將盒搬入及搬出。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2001-298069號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題在運(yùn)輸專利文獻(xiàn)I記載的自動(dòng)倉庫時(shí)，例如在空運(yùn)中，裝置高度受到限制。因此，以往將自動(dòng)倉庫上下分割來分別運(yùn)輸。但是，在這種情況下，自動(dòng)倉庫的分解及組裝要花費(fèi)時(shí)間，而且組裝后與分解前相比，移載裝置的移載頭的移載位置可能會(huì)發(fā)生錯(cuò)位。在移載位置發(fā)生錯(cuò)位的情況下，需要在現(xiàn)場進(jìn)行移載位置再示教作業(yè)。本專利技術(shù)的目的在于減少自動(dòng)倉庫的運(yùn)輸所伴隨的不良狀況。用于解決技術(shù)問題的技術(shù)手段以下，作為用于解決技術(shù)課題的技術(shù)手段，說明多個(gè)方式。這些方式可以根據(jù)需要任意地組合。本專利技術(shù)的一個(gè)技術(shù)方案的自動(dòng)倉庫具備貨架和移載裝置。貨架沿左右上下設(shè)有在上表面載置物品的多個(gè)載置部。移載裝置對(duì)物品的上部進(jìn)行保持來移載物品。移載裝置具有鉛垂導(dǎo)軌和搬運(yùn)部件。鉛垂導(dǎo)軌的上端位于最上層的載置部的附近。搬運(yùn)部件是能夠沿著鉛垂導(dǎo)軌進(jìn)行升降的部件。搬運(yùn)部件具有鉛垂臂，該鉛垂臂具有能夠?qū)d置于最上層的載置部的物品的上部進(jìn)行保持的長度。在該自動(dòng)倉庫中，將鉛垂導(dǎo)軌上端的高度設(shè)為最上層的載置部的支撐面以下，即鉛垂導(dǎo)軌不從最上層的載置部的支撐面向上方較大地突出。因此，能夠降低自動(dòng)倉庫的高度。結(jié)果，能夠在安裝著搬運(yùn)部件的狀態(tài)下充分降低運(yùn)輸自動(dòng)倉庫時(shí)的高度。此外，在使用時(shí)，能夠通過搬運(yùn)部件對(duì)載置于最上層的載置部的物品的上部進(jìn)行把持。另外，鉛垂導(dǎo)軌的“上端”是指位于最高位置的部分。鉛垂導(dǎo)軌的上端也可以為最上層的載置部的支撐面以下。在該自動(dòng)倉庫中，將鉛垂導(dǎo)軌上端的高度設(shè)為最上層的載置部的支撐面以下，即鉛垂導(dǎo)軌不從最上層的載置部的支撐面向上方突出。因此，能夠降低自動(dòng)倉庫的高度。具體地說，通過將搬運(yùn)部件向下方降低，能夠使最上層的載置部的支撐面成為最上部。結(jié)果，能夠在安裝著搬運(yùn)部件的狀態(tài)下充分降低運(yùn)輸自動(dòng)倉庫時(shí)的高度。此外，在使用時(shí)，能夠通過搬運(yùn)部件對(duì)載置于最上層的載置部的物品的上部進(jìn)行把持。也可以是，鉛垂臂比沿著上下方向排列的一對(duì)載置部彼此的上下方向間隔長。也可以是，鉛垂臂比沿上下方向隔著I個(gè)載置部而排列的一對(duì)載置部彼此的上下方向間隔短。也可以是，搬運(yùn)部件還具有物品保持部，該物品保持部設(shè)于鉛垂臂的上端部。在這種情況下，在搬運(yùn)部件中，沒有比物品保持部更向上方延伸的部分。因此，鉛垂臂的上下方向長度不會(huì)特別長。也可以是，自動(dòng)倉庫還具備可拆卸地設(shè)置于貨架的罩體。在這種情況下，在運(yùn)輸時(shí)能夠?qū)⒄煮w卸下。也可以是，罩體對(duì)載置于最上層的載置部的物品的周圍進(jìn)行覆蓋。在這種情況下，通過將罩體卸下，能夠降低運(yùn)輸時(shí)的自動(dòng)倉庫的高度。也可以是，罩體的上端位于放置于最上層的載置部的物品的最上面以上的位置。在這種情況下，使用時(shí)罩體的上端成為自動(dòng)倉庫的最高的部分。也可以是，罩體的下端位于最上層的載置部的支撐面的附近。在這種情況下，將罩體卸下時(shí)，最上層的載置部的支撐面付近成為自動(dòng)倉庫的最高的部分。也可以是，罩體具有多個(gè)分割罩體。在這種情況下，罩體的拆卸及安裝容易。也可以是，還具備可拆卸地設(shè)置于貨架的下部的車輪。在這種情況下，通過將車輪卸下，能夠進(jìn)一步降低運(yùn)輸時(shí)的自動(dòng)倉庫的高度。專利技術(shù)效果在本專利技術(shù)的自動(dòng)倉庫中，在運(yùn)輸時(shí)能夠降低高度。附圖說明圖I是作為本專利技術(shù)的一實(shí)施方式的自動(dòng)倉庫的立體圖。圖2是將外壁板除去后的自動(dòng)倉庫的正視圖。圖3是自動(dòng)倉庫的側(cè)面剖視圖。圖4是移載裝置的正面放大圖。圖5是自動(dòng)倉庫的側(cè)面剖視圖。圖6是表示為了輸送而將罩體和框體從裝置主體卸下后的狀態(tài)的立體圖。圖7是輸送時(shí)的裝置主體的立體圖。圖8是自動(dòng)倉庫的側(cè)面剖視圖。圖9是自動(dòng)倉庫的控制系統(tǒng)的框圖。具體實(shí)施例方式(I)自動(dòng)倉庫的整體結(jié)構(gòu)使用圖I及圖2，說明本專利技術(shù)的一實(shí)施方式的自動(dòng)倉庫10。圖I是作為本專利技術(shù)的一實(shí)施方式的自動(dòng)倉庫的立體圖。圖2是將外壁板除去后的自動(dòng)倉庫的正視圖。自動(dòng)倉庫10例如是在半導(dǎo)體處理裝置12前接近地配置的裝置前自動(dòng)倉庫，作為橋式搬送車(未圖示)和半導(dǎo)體處理裝置12之間的緩沖區(qū)發(fā)揮功能。自動(dòng)倉庫10對(duì)收納有處理前或處理后的多張基板的盒C進(jìn)行保管。半導(dǎo)體處理裝置12將盒C打開，對(duì)收納在內(nèi)部的圓形的基板實(shí)施處理，并將已處理的基板收納到盒C中。在半導(dǎo)體處理裝置12的外周設(shè)有交接口 14。交接口 14例如具有4個(gè)盒載置臺(tái)14a。交接口 14以進(jìn)入到自動(dòng)倉庫10的裝置主體內(nèi)部的方式配置。自動(dòng)倉庫10具備框體20、以包圍框體20的外側(cè)面的方式配置的外壁板22、固定貨架24、滑動(dòng)貨架25和移載裝置26?；瑒?dòng)貨架25用于作業(yè)者用手將盒C搬入及搬出自動(dòng)倉庫10。移載裝置26由圖9所示的倉庫控制部100控制。移載裝置26將盒C在多個(gè)固定貨架24、滑動(dòng)貨架25、多個(gè)盒載置臺(tái)14a之間搬送。(2)框體及外壁板的結(jié)構(gòu)框體20如圖2所示，例如具有配置于四角的4根柱部件20a、以及將柱部件20a前后左右連結(jié)的連結(jié)部件20b。另外，將左右連結(jié)的連結(jié)部件20b主要配置于半導(dǎo)體處理裝置12側(cè)的背面，在正面不配置。柱部件20a由下部的第一部分20A和上部的第二部分20B構(gòu)成。所述的連結(jié)部件20b將第一部分20A的上端部相互連結(jié)。第二部分20B如圖6所示，能夠從第一部分20A卸下。外壁板22形成為，覆蓋自動(dòng)倉庫10的正面及左右的側(cè)面，并且覆蓋背面的上部。在外壁板22的正面的下部，形成有用于使滑動(dòng)貨架25及載置于其上的盒C通過的開口。外壁板22具有覆蓋裝置主體IOa的下側(cè)半部的第一罩體22A、以及覆蓋裝置主體IOa的上側(cè)半部的第二罩體22B。第二罩體22B對(duì)應(yīng)于柱部件20a的第二部分20B整體及第一部分20A的上側(cè)部分。在最上層的固定貨架24載置有盒C時(shí)，第二罩體22B將載置的盒C的周圍包圍，其高度比所述的盒C高。S卩，第二罩體22B的上端27位于放置在最上層的固定貨架24上的盒C的上表面29以上的位置。因此，在使用自動(dòng)倉庫10時(shí)，第二罩體22B的上端27成為自動(dòng)倉庫10的最高的部分。另一方面,第二罩體22B的下端28位于最上層的固定貨架24的支撐面24a的附近，具體地說位于支撐面24a以下的位置。因此，若將第二罩體2本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：伊藤靖久，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：村田機(jī)械株式會(huì)社，
類型：
國別省市：