【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及位移傳感測量領域，具體涉及，適用于強散射、粗糙界面位移測量。
技術介紹
激光三角法位移傳感器是一種非接觸測量位移的重要傳感器，廣泛應用于三維輪廓、厚度、寬度、料位、及振動等測量。它將激光束投射到被測物面形成的漫反射光斑作為傳 感信號，用透鏡成像原理將收集到的漫反射光匯聚到焦平面的光接收器上形成像點。該接收器可為光點位置探測器(CXD)，也可用位置敏感器件PSD。運用激光三角法理論測量物體表面的位移時，在弱散射情況下，經過硬件濾波和軟件濾波之后，可以通過重心法求出位移前后光斑信號的重心變化，得到光斑在CCD上的位移值，進而求出物面的實際位移值。但是物體表面較粗糙，發生強散射時，CCD上所接收到的測點散射光斑將淹沒在散斑噪聲中，這時采取抑制散斑效應的技術措施將效果很差。
技術實現思路
本專利技術的目的是在于針對現有技術存在的上述問題，提供，，該方法能夠實現在被測物面很粗糙的條件下的位移測量，并具有測量快速性和精確性。本專利技術的上述目的通過以下技術方案實現—種基于數字散斑相關法的激光位移測量方法，具體為步驟I激光經聚焦垂直入射移動中的被測物體表面；步驟2接收被測物體表面入射光點處的散射光，并通過成像透鏡成像在CXD的敏感面上得到散射光斑；步驟3當散射光斑的信號帶寬小于等于帶寬閥值F時，則表明被測物體表面為弱散射界面，采用平均加權重心法測量散射光斑在CCD上的位移8 ;當散射光斑的信號帶寬大于帶寬閥值F時，則表明被測物體表面為強散射截面，采用相關法測量散射光斑在CCD上的位移S ；步驟4根據散射光斑在CXD上的位移8計算被測物體的位移A。進一步地，所...
【技術保護點】
一種基于數字散斑相關法的激光位移測量方法，具體為：步驟1激光經聚焦垂直入射移動中的被測物體表面；步驟2接收被測物體表面入射光點處的散射光，并通過成像透鏡成像在CCD的敏感面上得到散射光斑；步驟3當散射光斑的信號帶寬小于等于帶寬閥值F時，則表明被測物體表面為弱散射界面，采用平均加權重心法測量散射光斑在CCD上的位移δ；當散射光斑的信號帶寬大于帶寬閥值F時，則表明被測物體表面為強散射截面，采用相關法測量散射光斑在CCD上的位移δ；步驟4根據散射光斑在CCD上的位移δ計算被測物體的位移Δ。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：李頂根，沈磊，朱鴻茂，褚俊，羅鋒，劉明勇，
申請(專利權)人：華中科技大學，
類型：發明
國別省市：
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