玻璃管及其制造方法技術

本發(fā)明專利技術涉及一種玻璃管及其制造方法，玻璃管包括空腔和第一層氮化硅薄膜，其中第一層氮化硅薄膜設置在空腔內(nèi)側表層上。本發(fā)明專利技術玻璃管因在空腔的內(nèi)側表層形成第一層氮化硅薄膜，使玻璃管增加了耐蝕性和對高溫的承受度。本發(fā)明專利技術玻璃管的制造方法可制造出所述玻璃管。

【技術實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術涉及一種，尤其涉及一種耐高溫、抗腐蝕性好的高強度氣體放電燈管及其制造方法。
技術介紹
目前高強度氣體放電燈(High Intensity Discharge,簡稱HID)廣泛應用于需要高質(zhì)量、高亮度光線的地方。這些地方包括體育館、大面積的公共區(qū)域、電影院、道路等，高強度氣體放電燈幾乎無所不在。一般高強度氣體放電燈的燈管材料種類有兩種，分別為石英管和陶瓷管。陶瓷管 能耐高溫、抗腐蝕性也較好?？上У氖牵沾晒茉先〉貌灰?、價錢昂貴且燈芯制作困難，故目前還是以石英管為主要的燈管材料，但石英管卻又存在著工作溫度承受度較低、抗腐蝕性差等缺點。因此，如何提升石英管的工作溫度及耐腐蝕性已成為目前高強度氣體放電燈亟欲解決的課題。
技術實現(xiàn)思路
有鑒于此，本專利技術的目的就是在于提供一種玻璃管的制造方法，以制造出具有較好的抗腐蝕性以及可承受較高工作溫度的玻璃管。本專利技術的另一目的在于提供一種玻璃管，其具有較好的抗腐蝕性以及可承受較高的工作溫度。本專利技術提出一種玻璃管的制造方法，首先提供玻璃管，此玻璃管具有內(nèi)側表層，接著在內(nèi)側表層上形成第一層氮化娃薄膜。在本專利技術的一個實施例中，上述形成第一層氮化硅薄膜的方法包括下列步驟提供多種反應氣體，并對這些反應氣體進行熱裂解制程而形成第一層氮化硅薄膜。在本專利技術的一個實施例中，上述熱裂解制程通入的反應氣體包括氫化硅、氮氧化合物二氯娃燒以及氫氣，并以氨氣為催化劑。在本專利技術的一個實施例中，上述熱裂解制程溫度為300°C 1100°C。在本專利技術的一個實施例中，上述熱裂解制程時間為I秒 300秒之間。在本專利技術的一個實施例中，上述第一層氮化硅膜厚為0. IyM以上。在本專利技術的一個實施例中，上述玻璃管的制造方法還包括下列步驟在此玻璃管的外側表層上形成第二層氮化娃薄膜。在本專利技術的一個實施例中，上述第一層氮化硅薄膜和第二層氮化硅薄膜是在同一制程中形成。在本專利技術的一個實施例中，上述玻璃管的材質(zhì)為石英。上述玻璃管應用于高強度氣體放電燈。本專利技術還提出一種玻璃管，包括空腔和第一層氮化硅薄膜。其中空腔具有內(nèi)側表層，上述第一層氮化硅薄膜即設置在內(nèi)側表層上。在本專利技術的一個實施例中，上述空腔還具有外側表層，而外側表層上設置有第二層氮化娃薄膜。本專利技術因在玻璃管的內(nèi)側表層形成一層氮化硅薄膜，氮化硅是抗腐蝕、耐高溫的良好素材，而此氮化硅薄膜就如同一層保護層使玻璃管具備不易腐蝕、不易和其它物質(zhì)接觸產(chǎn)生化學反應導致變質(zhì)以及能承受高溫的優(yōu)點，這樣便改善了原本玻璃管耐蝕性差和高溫承受度低的缺點。上述說明僅是本專利技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本專利技術的技術手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本專利技術的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。 附圖說明圖IA到IB為本專利技術的一個制程實施例中的步驟示意圖。圖IC為本專利技術另一個制程實施例所形成玻璃管的構造示意圖。圖ID為本專利技術又一個制程實施例所形成玻璃管的構造示意圖。圖2A為本專利技術的一個實施例中高強度氣體放電燈的剖面示意圖。圖2B為本專利技術的一個實施例中高強度氣體放電燈的剖面示意圖。圖2C為本專利技術的一個實施例中高強度氣體放電燈的剖面示意圖。具體實施例方式為更進一步闡述本專利技術為達成預定專利技術目的所采取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本專利技術提出的其具體實施方式、方法、步驟、結構、特征及功效，詳細說明如后。本案方法可應用于各類玻璃管的制造過程，但以下的實施例為便于舉例，均以玻璃管中的石英管為例作為說明。圖1A、1B、1C均為本專利技術的一個制程實施例中的剖面示意圖。請參考圖1A，首先提供石英管100，此石英管100具有空腔102，此空腔102具有內(nèi)側表層106，而空腔102相對兩端分別向外延伸出兩開口 104。請參考圖1B，在內(nèi)側表層106上形成第一層氮化硅薄膜108。形成第一層氮化硅薄膜108的目的在于使石英管100具有抗腐蝕和耐高溫的功效，以改善石英管原本的缺點。詳細來說，形成第一層氮化硅薄膜108的方法包括下列步驟提供多種反應氣體110，將這些反應氣體110由石英管100的開口 104通入管中，這些反應氣體110在管中進行熱裂解制程，制程溫度設定為300攝氏度 1100攝氏度(°C)，制程時間控制約為I秒 300秒，形成的第一層氮化硅薄膜108的膜厚度約為0. I微米(ii M)以上。在本實施例中，提供的反應氣體110包括多種氮氧化合物(二氧化氮、一氧化氮、一氧化二氮)、氫化娃、二氯娃燒以及氫氣等氣體，并以氨氣為催化劑。值得注意的是，形成氮化硅薄膜的方法很多，而形成氮化硅薄膜所需的反應物組合也不在少數(shù)，例如二氯硅烷(SiCl2H2)加上氨氣反應形成氮化硅薄膜或者二氧化氮、氫化硅加上氨氣為催化劑，熱裂解以產(chǎn)生氮化硅薄膜。本實施例以提供二氧化氮、氫化硅，并加上氨氣為催化劑來進行熱裂解制程為例做說明，但并非將本專利技術限定于此。除此之外，請參考圖1C，在此石英管100的外側表層上114，也可以熱裂解法形成第二層氮化硅薄膜112。在本實施例中，是將石英管100暴露于二氧化氮、氫化硅中在氨氣的催化下則同時會在內(nèi)側表層106上形成第一層氮化娃薄膜108和在外側表層114上形成第二層氮化娃薄膜112,也就是說第一層氮化娃薄膜108和第二層氮化娃薄膜112可在同一制程中形成。當然，在本專利技術的另一個實施例中，請參考圖1D，也可在外側表層114上單獨形成第二層氮化硅薄膜112。上述的玻璃管也可應用于各式燈具，例如高壓汞燈、氙氣燈、金屬鹵化物等高強度放電燈，以及鹵素燈內(nèi)部的燈泡泡殼材料或外部的玻璃殼材料等。為使讀者更加了解本專利技術，以下將以高強度氣體放電燈為例來說明本專利技術的玻璃管的應用領域。圖2A、2B、2C所示均為本專利技術的一個實施例中高強度氣體放電燈的剖面示意圖。請參考圖2A，高強度氣體放電燈包括石英管100、兩個電極202、兩個鑰箔204、兩根電極導線206、兩根電流導線208。其中，石英管100包括空腔102和第一層氮化硅薄膜108，空腔102中充滿可電離供發(fā)光的氣體,簡稱發(fā)光氣體,例如氣氣?？涨?02具有內(nèi)側表層106和外側表層114，第一層氮化硅薄膜108設置在內(nèi)側表層106上。除此之外，請參考圖2B，第 二層氮化硅薄膜112也可設置在石英管100的外側表層114。當然，請參考圖2C，也可同時將第一層氮化娃薄膜108設置在內(nèi)側表層106上,及第二層氮化娃薄膜112設置在外側表層114上。而設置氮化硅薄膜的目的在于使石英管100具有抗腐蝕和耐高溫的功效，以改善石英管100本身的缺點。兩電極202配置在空腔102內(nèi)，通以電壓時可激發(fā)空腔中的氙氣游離，氙氣游離會在兩電極202間產(chǎn)生強電弧光而使高強度氣體放電燈持續(xù)發(fā)光。除此之外，請繼續(xù)參考圖2C，另有兩個密封頸部210分別設置在空腔102相對兩端向外延伸處，鑰箔204則配置在密封頸部210內(nèi)，以鑰箔204封裝石英管100是為了因應高強度氣體放電燈放電前后極大溫差導致的熱脹冷縮。電極導線206和電流導線208分別配置在每一鑰箔204的兩端，電極導線206與相對應的電極202相連，而電流導線208則延伸出密封頸部210用以與外部電路(圖未示)相連。綜上所述，本專利技術的玻璃管因在內(nèi)側表層形成一本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
一種玻璃管的制造方法，其特征是：所述方法包括：提供玻璃管，所述玻璃管具有內(nèi)側表層；以及在所述內(nèi)側表層上形成第一層氮化硅薄膜。

【技術特征摘要】
2011.09.05 TW 1001319791.一種玻璃管的制造方法，其特征是所述方法包括 提供玻璃管，所述玻璃管具有內(nèi)側表層；以及 在所述內(nèi)側表層上形成第一層氮化娃薄膜。2.根據(jù)權利要求I所述的玻璃管的制造方法，其特征是形成所述第一層氮化硅薄膜的方法包括下列步驟 提供多種反應氣體；以及 對所述多種反應氣體進行熱裂解制程而形成所述第一層氮化硅薄膜。3.根據(jù)權利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是所述熱裂解制程通入的所述多種反應氣體包括氫化娃、氫氣、氮氧化合物以及二氯娃燒，并以氨氣為催化劑。4.根據(jù)權利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是所述熱裂解制程溫度為300。。 1100。。。5.根據(jù)權利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是所述熱裂解制程時間為I秒 300秒之間。6.根據(jù)權利要求I所述的玻璃管的制造...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：陳隆，馮輝祥，
申請(專利權)人：華燈光電股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：