本發明專利技術一種廢氣淋洗處理工藝及裝置，特別涉及采用改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，用以處理多種氯硅烷或氯化氫有害氣體。屬生產多晶硅產生的廢棄物處理領域。該發明專利技術是在實驗的基礎上對多晶硅生產所產生廢棄物進行的淋洗處理，通過控制淋洗所產生的廢渣形態，利用專門的處理裝置，設計出了處理能力大、殘渣分離能力強和采用機械撈渣的廢氣處理裝置。工藝采用10-15%NaOH堿液淋洗處理，通過堿液對廢棄物進行淋洗，除去廢棄物中的有害成分氯硅烷/氯化氫；產生的廢渣通過全自動上下一體行車式往返刮板機刮入攪拌池，隨后送入新型箱式壓濾機進行固液分離，分離得到的干渣送渣場堆存，濾液回到淋洗塔循環池重復利用，凈化后的尾氣達到國家排放標準后排放。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及設備，特別是一種用以處理多種氯硅烷或氯化氫有害氣體廢氣淋洗處理工藝。屬生產多晶硅產生廢棄物處理領域。
技術介紹
現有公知改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗裝置是由淋洗塔、噴淋泵、單獨收集廢液池(水池中大量渣多由人工打撈)構成，其噴淋液是以水或氫氧化鈣為主，廢液輸送入污水處理站處置。但是，單獨收集廢液池產生大量的渣是由人工打撈渣，工作量較大，且要配備專門的打撈渣運輸工具。廢渣含水率高且有腐蝕性，運輸設施容易腐蝕損壞，運輸和人工撈渣過程對周圍環境污染較為嚴重。淋洗過程中噴淋液不能循環利用，造成藥劑和噴淋水用量加大，增加廢液產生量和生產成本。此外，該類廢氣淋洗裝置無渣水分離機械設施，廢液不能循環利用。
技術實現思路
本專利技術目的在于克服上述現有技術不足，提出一種對現有改良西門子法生產多晶硅所產生廢氣進行的廢氣淋洗處理工藝及專用裝置。該廢氣淋洗處理工藝及專用裝置不僅能方便實現渣水分離的機械操作，而且讓廢液重復循環利用，解決了人工撈渣問題，提高廢液重復利用率，同時提高廢氣處理裝置的處理能力。本專利技術解決其技術問題所采用的技術方案是一種改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，其特征在于采用NaOH堿液為淋洗液對廢氣在淋洗塔塔體(18)內進行淋洗處理，去除從采用改良西門子法生產多晶硅工藝中排出廢氣中的氯硅烷或氯化氫有害成分，凈化處理后的廢氣經過安全液封罐(22)，廢氣達到國家排放標準后排放；凈化處理后的廢水落入每個淋洗塔(I)的淋洗液收集溝(2 )中，淋洗液收集溝(2 )收集的廢水再集積到分流溝(15)中最后以自流方式流入渣水收集池(14)，每個渣水收集池(14)上裝有一臺全自動上下一體行車式往返刮板機(4)，渣水收集池(14)內通過全自動上下一體行車式往返刮板機(4)將廢渣刮入或收集到攪拌池(8)，隨后攪拌池(8)內的廢渣再輸送到箱式壓濾機進行固液分離，分離得到的固定干渣送渣場堆存，濾液回流到循環水池(11)，供淋洗塔(I)再次使用。所述的淋洗液PH值小于或等于8，所使用的NaOH濃度為10%_15%。所述的淋洗處理是廢氣從淋洗塔塔體(18)底部的廢氣管進口(17)進入淋洗塔(1)，經過堿液噴淋管道(19)，螺旋噴頭(20)，捕沫器(21)三層NaOH淋洗液的凈化處理。渣水收集池(14) 一側是回流溝(6)，另一側是分流溝(15);渣水收集池(14)設置三道過濾網格柵，第一道過濾網格柵是從淋洗液收集溝(2)自流到分流溝(15)，通過渣水收集池(14)的格柵進入水池，第二道過濾網是安裝在渣水收集池(14)距離下部水面O. 5米處與回流溝(6)相接處的格柵，第三層過濾網安裝在回流溝內壁的4個回流溝格柵(9)。渣水收集池(14)中部位置與回流溝(6)相接處，均勻開有三個出口，每個出口有一個過濾網(5)，水經過鑲嵌在渣水收集池(14)中部位置壁內的過濾網格柵回流溝自流入循環水池(11)。每個過濾網(5)寬1. 2米X高O. 8米，過濾網采用PVC板材料制作，過濾網的格柵規格為1400X1300穿孔子板。箱式壓濾機由機架部分、過濾部分、液壓系統和電氣系統四大部分組成；機架部分是機器的主體，用于支撐過濾結構，連接其它部件，機架部分內裝有由止推板、壓緊板、油缸和主粱部件構成的板框組；過濾部分包括有濾板和濾布，先由液壓系統施加壓緊板框組，料漿由中間壓入板框組，分布在板框組中的各濾板之間，借助進料泵產生的壓力，料漿被裝在濾板中的濾布過濾，由于濾布作用，固體留在濾室內形成濾餅，濾液由水嘴或明流排出，實現固、液分離的脫液方法。全自動上下一體行車式往返刮板機(4)由控制器、電機、雙軌道導軌(44)、雙軌道導軌擺線針輪減速器、行車(43)、上刮板(49)和下刮板(40)組成；雙軌道導軌(44)分別安裝在渣水收集池(14)的兩側水池墻壁上，行車(43 )放置在雙軌道導軌(44)上，上刮板(49 )和下刮板(40)與行車(43)之間是通過絞鏈連接，上刮板(49)和下刮板(40)的升降是靠吊繩(47)控制，控制器通過發出前進、后退、提升、下降四個線位行程開關接收信號，自動控制行車往返運行及上刮板(49)和下刮板(40)的同時升降；其中，雙軌道導軌擺線針輪減速器帶動行車向前運動時，控制器讓上刮板(49 )和下刮板(40 )同時上升，下刮板(40 )離開渣水收集池(14)底部并浸泡在水面下，上刮板(49)只有三分之二上升露出水面、三分之一浸泡在渣水收集池(14)內水面下，上刮板(49)將漂浮在水面上浮渣刮進攪拌池(8);當行車(43)運行到渣水收集池(14)頂端時，通過一個雙軌道導軌擺線針輪減速器讓上刮板(49)和下刮板(40 )同時全部下降，上刮板(49 )下降并全部浸泡在渣水收集池(14)內水面下，下刮板(40)也下降到與渣水收集池(14)底接觸位置，然后，通過雙軌道導軌擺線針輪減速器帶動行車做返回運動(向后移動)，下刮板(40)將渣水收集池(14)的底渣刮入池頂端凹部收集槽(16 )內，再用泵打入攪拌池(8 )，當行車(43 )運行到達渣水收集頂端，上刮板(49 )和下刮板(40)同時再上升，行車(43)來回往復，上刮板(49)和下刮板(40)繼續重復上述動作。所述的渣水收集池(14)內設有全自動上下一體行車式往返刮板機(4)，其全自動上下一體行車式往返刮板機(4)由控制器、行車驅動裝置(41)、提升驅動裝置(42)、雙軌道導軌(44)、行車(43 )、刮板支架(48 )、上刮板(49 )和下刮板(40 )組成；行走驅動裝置(41)提供行車(43)來回往返移動的動力，提升驅動裝置(42)提出上刮板(49)和下刮板(40)同時上升及下降的動力，雙軌道導軌(44)分別安裝在渣水收集池(14)的兩側池壁上部，行車(43 )整體安裝放置在雙軌道導軌(44 )上，行車驅動裝置(41)和提升驅動裝置(42 )放置在行車(43 )上，隨行車(43 )共同運動，上刮板(49 )和下刮板(40 )與行車(43 )之間是通過絞鏈連接，上刮板(49)和下刮板(40)的上升和下降由一根吊繩(47)完成，提升驅動裝置(42)與吊繩(47)連接，控制器發出前進和后退信號，行車(43)自動沿著雙軌道導軌(44)作來回移動或者往返移動，控制器發出上升和下降的信號，上刮板(49)和下刮板(40)同時作提升或下降動作。全自動上下一體行車式往返刮板機(4)中的刮板支架(48)與下刮板(40)之間通過左右各一根刮泥板(46)鉸鏈連接。該專利技術廢氣淋洗裝置采用NaOH堿液淋洗處理工藝，通過NaOH堿液對廢氣進行淋洗，除去廢氣中的有害成分氯硅烷/氯化氫，再經過安全液封罐使排放廢氣達到國家排放標準，其化學反應式如下SiCl4+H20 — H2SiO3 I +HC1+H2SiHCl3+H20 — H2SiO3 I +HC1+H2H2Si03+Na0 H — Na 2Si03 I + H2OH2Si03+Na0 H — Na 2Si04 I + H2OSiCl4+H2+02 — SiO2 丨 + HClHCl+ NaO H — NaCl I + H2O由上述反應式可以看出單獨收集廢液池廢液控制在弱酸性或中性條件下生成的沉淀物本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，其特征在于采用NaOH堿液為淋洗液對廢氣在淋洗塔塔體（18）內進行淋洗處理，去除從采用改良西門子法生產多晶硅工藝中排出廢氣中的氯硅烷或氯化氫有害成分，凈化處理后的廢氣經過安全液封罐（22），廢氣達到國家排放標準后排放；凈化處理后的廢水落入每個淋洗塔（1）的淋洗液收集溝（2）中，淋洗液收集溝（2）收集的廢水再集積到分流溝（15）中最后以自流方式流入渣水收集池（14），每個渣水收集池（14）上裝有一臺全自動上下一體行車式往返刮板機（4），渣水收集池（14）內通過全自動上下一體行車式往返刮板機（4）將廢渣刮入或收集到攪拌池（8），隨后攪拌池（8）內的廢渣再輸送到箱式壓濾機進行固液分離，分離得到的固定干渣送渣場堆存，濾液回流到循環水池（11），供淋洗塔（1）再次使用。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：宋東明，宋良杰，方瓊，蔣萬順，李才勇，周祖萍，沈宗喜，丁丙恒，章華，鄧亮，
申請(專利權)人：昆明冶研新材料股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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