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本發明一種廢氣淋洗處理工藝及裝置，特別涉及采用改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，用以處理多種氯硅烷或氯化氫有害氣體。屬生產多晶硅產生的廢棄物處理領域。該發明是在實驗的基礎上對多晶硅生產所產生廢棄物進行的淋洗處理，通過控制淋洗所...該專利屬于昆明冶研新材料股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過昆明冶研新材料股份有限公司授權不得商用。
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本發明一種廢氣淋洗處理工藝及裝置，特別涉及采用改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，用以處理多種氯硅烷或氯化氫有害氣體。屬生產多晶硅產生的廢棄物處理領域。該發明是在實驗的基礎上對多晶硅生產所產生廢棄物進行的淋洗處理，通過控制淋洗所...