本發明專利技術提供一種磁頭元件檢查方法及其裝置，能夠不受外部環境影響地測定形成在磁頭的卸料器上的各個磁頭元件所形成的磁場的二維分布。在對形成了多個磁頭的卸料器的各磁頭的寫入磁道的有效磁道寬度進行檢查的磁頭元件檢查裝置中，構成為將托盤部、載物臺部、樣品交接部、磁場測量部和有效磁道寬度測量部搭載在對來自外部的振動進行隔斷的除振臺部上，并用隔音部遮蔽托盤部、載物臺部、樣品交接部、磁場測量部、有效磁道寬度測量部和除振臺部，來隔斷外部的噪音。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及對磁頭元件進行檢查的方法及其裝置，特別涉及在磁頭元件制造工序的過程中，在形成在基板上的多個磁頭元件分別分離之前的卸料器(rover)狀態下對寫入磁道的有效磁道寬度進行測定時適用的磁頭元件檢查方法及其裝置。
技術介紹
作為非破壞性地檢查磁頭的裝置，有使用光學顯微鏡的方法、使用掃描型電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope :SEM)的方法、使用原子間力顯微鏡(Atomic ForceMicroscope :AFM)的方法、使用磁力顯微鏡(Magnetic Force Microscope :MFM)的方法等。上述方法分別有優缺點，但在能夠非破壞地對磁頭為了對硬盤進行寫入而產生的磁場進行檢查這一點上，使用磁力顯微鏡(MFM)的方法比使用其他方式的觀察手段的方法更優越。例如，在日本特開2010-175534號公報(專利文件I)中記載了使用該磁力顯微鏡(MFM)在磁頭元件分別分離之前的卸料器狀態下對寫入磁道的有效磁道寬度進行測定的情況。即，在專利文件I中記載了以下的內容通過對作為樣品的卸料器的磁頭電路圖案施加電流來產生磁場，二維地對懸臂進行掃描，來將安裝在懸臂上的磁性探針接近該產生的磁場，檢測懸臂的探針的位移量，由此二維地測定樣品所產生的磁場。在專利文件I中記載了以下內容通過二維地掃描具有探針的懸臂，來測定形成在磁頭的卸料器上的各個磁頭元件所形成的磁場的二維分布，但沒有涉及用于將樣品設置在測量位置，不受周圍環境的影響地高精度地進行測定的結構及其方法。專利文件1:日本特開2010-175534號公報
技術實現思路
本專利技術的目的在于解決上述的現有技術的問題，提供一種能夠測定形成在磁頭的卸料器上的各個磁頭元件所形成的磁場的二維分布的磁頭元件檢查方法及其裝置。為了解決上述問題，在本專利技術中，構成了一種磁頭元件檢查裝置，用于對形成了多個磁頭的卸料器的各磁頭的寫入磁道的有效磁道寬度進行檢查，其中，包括托盤部，其將檢查前的卸料器和檢查后的卸料器分離容納；載物臺部，其能夠在檢查位置與樣品交接位置之間移動；樣品交接部，其從上述托盤部取出檢查前的卸料器，交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部；磁場測量部，其測量在上述樣品交接位置取得了上述檢查前的卸料器的上述載物臺部移動到上述檢查位置的狀態下通過向形成在上述卸料器上的磁頭施加交流電流而產生的磁場；有效磁道寬度測量部，其根據由該磁場測量部測量所得的數據，判斷形成在上述磁頭上的寫入磁道的有效磁道寬度的優劣；除振臺部，其搭載了上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部和上述有效磁道寬度測量部，隔斷來自外部的振動；以及隔音部，其遮蔽上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部、上述有效磁道寬度測量部和上述除振臺部來隔斷外部的噪音。另外，為了解決上述問題，在本專利技術中，提供一種磁頭元件檢查方法，用于對形成了多個磁頭的卸料器的各磁頭的寫入有效磁道寬度進行檢查，其中，在用隔斷外部的噪音的隔音壁遮蔽的環境中執行以下步驟從供給用托盤取出檢查前的卸料器，交接到在樣品交接位置等待的載物臺；使取得了該檢查前的卸料器的上述載物臺移動到檢查位置；在該載物臺移動到檢查位置的狀態下，通過上述載物臺使上述卸料器上升，使得上述卸料器與安裝在磁力顯微鏡的懸臂的前端部附近的探針之間的間隙成為預定量；在使該卸料器上升后的狀態下，向形成在該卸料器上的多個磁頭元件中的一個磁頭元件施加交流電流，通過該一個磁頭元件產生磁場，用上述磁力顯微鏡測量該產生的磁場的狀態；根據該測量出的磁場的狀態，判斷形成在上述一個磁頭元件上的寫入磁道的有效磁道寬度的優劣；通過上述載物臺使該寫入磁道的有效磁道寬度的優劣的判斷結束了的上述卸料器下降；通過上述載物臺將該下降后的卸料器從上述檢查位置搬運到上述樣品交接位置；根據上述寫入磁道的有效磁道寬度的優劣的判斷結果，將被搬運到該樣品交接位置的上述卸料器容納在用于容納合格品的托盤或用于容納不合格品的托盤的某一方中。根據本專利技術，能夠在隔斷了周圍的噪音和振動的環境中在卸料器的狀態下對磁頭元件的磁特性進行檢查，將不合格品從合格品分離并回收，因此能夠提高磁頭的產品合格 率。 通過以下的根據附圖對本專利技術的優選實施例的詳細說明，能夠了解本專利技術的這些特征和優點。附圖說明圖1是表示本專利技術的實施例中的磁頭元件檢查裝置的全體結構的框圖。圖2是表示本專利技術的實施例中的磁頭元件檢查裝置的結構的平面圖。圖3是表示本專利技術的實施例中的磁頭元件檢查裝置的測定部的概要結構的圖2的A-A截面向視圖。圖4A是本專利技術中作為檢查對象的卸料器的立體圖。圖4B是表示本專利技術的實施例中的使探頭的前端部分與形成在卸料器上的磁頭元件的電極接觸的狀態的磁頭元件的平面圖。圖5是表示本專利技術的實施例中的磁頭元件檢查位置的搬運部的概要結構的圖2的B-B截面向視圖。圖6是表示本專利技術的實施例中的磁頭元件檢查裝置的測定部的控制系統的概要結構的框圖。圖7是表示本專利技術的實施例中的檢查磁頭元件的處理的流程的流程圖。符號說明1:卸料器；100 :測定部；110 :XYZ粗動載物臺單元；120 :ΧΥΖ微動載物臺單元；130 :探針單元；140 :探頭單元；150 :觀察單元；310 :搬運機器人；330 :托盤承載部；400 信號處理控制部；500 :除振臺；600 :隔音箱。具體實施方式以下，使用附圖說明本專利技術的實施方式。圖1是表示本專利技術的實施例中的磁頭元件檢查裝置的全體結構的框圖。磁頭元件檢查裝置具備測定部100、監視器部200、搬運部300以及信號處理/控制部400。測定部100、監視器部200、搬運部300成為被隔音箱600遮蔽，為使來自外部的聲音不對測量產生影響而隔音的結構。圖2是表示本專利技術的實施例中的磁頭元件檢查裝置的結構的平面圖。磁頭元件檢查裝置構成為將測定部100和搬運部300配置在被隔音箱600遮蔽的除振臺500上。搬運部300具備搬運機器人310和對搬運機器人310的X方向的移動進行引導的導軌320 ;承載供給用托盤33廣333的托盤承載部330，該供給用托盤33廣333搭載檢查前和檢查后的卸料器。H是樣品交接站，M是樣品測量站。 圖3是圖2的A-A截面向視圖，表示測定部100的詳細結構。測定部100具備XYZ粗動載物臺單元110、XYZ微動載物臺單元120、探針單元130、探頭單元140、觀察單元150、X軸導軌160。XYZ粗動載物臺單元110具備X粗動載物臺111、Υ粗動載物臺112、Ζ粗動載物臺113。X粗動載物臺111被線性電動機161驅動，能夠沿著X軸導軌160在X軸方向移動，在樣品交接站H與樣品測量站M之間移動。XYZ微動載物臺單元120具備X微動載物臺121、Y微動載物臺122、Z微動載物臺123，分別被未圖示的具有nm (納米)級的分辨率的驅動源(例如壓電元件)驅動。探針單元130具備懸臂131、探針132、勵振器133、位置檢測器134、勵振器基座135，由位置檢測器134檢測由于被勵振器133施加了振動的安裝在懸臂131的前端部附近的探針132的振動所造成的懸臂131的振動。位置檢測器134將光束照射到懸臂131上并檢測其反射光，根據檢測出該反射光的位置求出懸臂的傾角，求本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種磁頭元件檢查裝置，對形成了多個磁頭的卸料器的各磁頭的寫入磁道的有效磁道寬度進行檢查，其特征在于，包括：托盤部，其將檢查前的卸料器和檢查后的卸料器分離容納；載物臺部，其能夠在檢查位置與樣品交接位置之間移動；樣品交接部，其從上述托盤部取出檢查前的卸料器，交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部；磁場測量部，其測量在上述樣品交接位置取得了上述檢查前的卸料器的上述載物臺部移動到上述檢查位置的狀態下通過向形成在上述卸料器上的磁頭施加交流電流而產生的磁場；有效磁道寬度測量部，其根據由該磁場測量部測量所得的數據，判斷形成在上述磁頭上的寫入磁道的有效磁道寬度的優劣；除振臺部，其搭載了上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部和上述有效磁道寬度測量部，隔斷來自外部的振動；以及隔音部，其遮蔽上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部、上述有效磁道寬度測量部和上述除振臺部來隔斷外部的噪音。
【技術特征摘要】
2011.09.09 JP 2011-1971451.一種磁頭元件檢查裝置，對形成了多個磁頭的卸料器的各磁頭的寫入磁道的有效磁道寬度進行檢查，其特征在于，包括 托盤部，其將檢查前的卸料器和檢查后的卸料器分離容納； 載物臺部，其能夠在檢查位置與樣品交接位置之間移動； 樣品交接部，其從上述托盤部取出檢查前的卸料器，交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部； 磁場測量部，其測量在上述樣品交接位置取得了上述檢查前的卸料器的上述載物臺部移動到上述檢查位置的狀態下通過向形成在上述卸料器上的磁頭施加交流電流而產生的磁場； 有效磁道寬度測量部，其根據由該磁場測量部測量所得的數據，判斷形成在上述磁頭上的寫入磁道的有效磁道寬度的優劣； 除振臺部，其搭載了上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部和上述有效磁道寬度測量部，隔斷來自外部的振動；以及 隔音部，其遮蔽上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部、上述有效磁道寬度測量部和上述除振臺部來隔斷外部的噪音。2.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于， 上述載物臺部具備線性電動機，還具備對上述載物臺部在檢查位置與樣品交接位置之間的移動進行引導的導軌部，上述載物臺部被上述線性電動機驅動，沿著上述導軌在上述檢查位置與樣品交接位置之間移動。3.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于， 上述樣品交接部具有對上述卸料器進行真空吸附的真空吸附頭，通過上述真空吸附頭對容納在上述托盤中的檢查前的卸料器進行真空吸附來取出上述卸料器，然后交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部。4.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于， 上述樣品交接部具有對上述卸料器的端部進行釣接的鉤部，通過上述鉤部對容納在上述托盤中的檢查前的卸料器進行釣接來取出上述卸料器，然后交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部。5.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于， 上述磁場測量部具備用于觀察放置在上述載物臺部上的卸...
【專利技術屬性】
技術研發人員：德富照明，佐藤武史，飛田明，齋藤尚也，松下典充，
申請(專利權)人：株式會社日立高新技術，
類型：發明
國別省市：
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