【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及一種。
技術(shù)介紹
目前，感光性樹(shù)脂組合物在半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜、層間絕緣膜和集成電路、印刷線路板的制造工藝中被廣泛利用。作為感光性樹(shù)脂組合物，可以使用耐熱性?xún)?yōu)異、具有卓越的電特性、機(jī)械特性等的聚苯并噁唑樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等。另外，作為感光性樹(shù)脂組合物，為了簡(jiǎn)化工藝，也可以使用在這些聚苯并噁唑樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等中組合有感光劑的重氮醌化合物的組合物(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。另外，可以使用在感光性樹(shù)脂組合物中添加有表面活性劑的組合物。在該種技術(shù)中，通過(guò)添加表面活性劑，使感光性樹(shù)脂組合物的表面張力降低，謀求涂敷性的均勻化。在該技術(shù)中，通常的方法為一并添加聚苯并噁唑樹(shù)脂、作為感光劑的重氮醌化合物和表面活性劑而得到感光性樹(shù)脂組合物。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)昭56-27140號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
專(zhuān)利技術(shù)所要解決的課題在現(xiàn)有的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法中，從生產(chǎn)率的觀點(diǎn)出發(fā),通過(guò)一并添加聚苯并噁唑樹(shù)脂、作為感光劑的重氮醌化合物和表面活性劑，得到感光性樹(shù)脂組合物。但是，本專(zhuān)利技術(shù)的專(zhuān)利技術(shù)人進(jìn)行了研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在聚苯并噁唑樹(shù)脂中直接添加表面活性劑時(shí)，感光性樹(shù)脂組合物中的表面活性劑的分散降低。其結(jié)果，判明了在涂敷于晶片上的涂膜中產(chǎn)生縮孔，感光性樹(shù)脂組合物的涂膜特性降低。用于解決課題的方法本專(zhuān)利技術(shù)包括以下專(zhuān)利技術(shù)。[I]一種感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，上述感光性樹(shù)脂組合物至少含有(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光氧發(fā)生劑、(C)表面活性劑和(D)有機(jī)溶劑，上述制造方法包括得到含有上述(C)表面活性劑和上述(D)有機(jī)溶劑、且不含有上述(A)堿可溶性樹(shù)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】2010.06.03 JP 2010-1273791.一種感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，所述感光性樹(shù)脂組合物至少含有(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光氧發(fā)生劑、(C)表面活性劑和(D)有機(jī)溶劑，所述制造方法包括得到含有所述(C)表面活性劑和所述(D)有機(jī)溶劑、且不含有所述(A)堿可溶性樹(shù)脂和所述(B)光氧發(fā)生劑的分散液的工序；和在所述分散液中添加所述(A)堿可溶性樹(shù)脂和所述(B)光氧發(fā)生劑的工序。2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于在得到所述分散液的所述工序中，所述表面活性劑的分散液中的所述(C)表面活性劑的濃度為臨界膠束濃度以下。3.如權(quán)利要求1或2所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于在得到所述分散液的所述工序中，所述分散液中的直徑為O. 15μπι以上的粒子數(shù)為 500個(gè)/mL以下。4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的制造方法，其特征在于 在得到所述分散液的所述工序中，相對(duì)于所述(D...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：田中裕馬，堀井誠(chéng)，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：住友電木株式會(huì)社，
類(lèi)型：
國(guó)別省市：
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