提供一種清潔氣體送風單元，能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠良好地進行基板收納器的清洗。在相對于基板收納器（K）能夠裝卸地安裝的清潔氣體送風單元（J）中，基板收納器（K）是由保管裝置保管的收納器，上述清潔氣體送風單元具備風扇過濾器單元（F）和一對遮蔽板（10），該風扇過濾器單元（F）將基板收納器（K）的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該清潔氣體送風面對向的側面作為排氣用面，從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體，該一對遮蔽板（10）覆蓋基板收納器（K）的四個側面中除了清潔氣體送風面以及排氣用面之外的兩個側面。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種相對于將基板以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀的基板收納器能夠裝卸地安裝的清潔氣體送風單元。
技術介紹
上述這種清潔氣體送風單元例如安裝在由保管裝置保管的基板收納器上，抑制塵埃附著在基板收納器中收納的基板上。S卩，基板收納器以收納了在液晶顯示器或等離子顯示器中使用的玻璃基板等基板的狀態收納在保管裝置的收納部中。并且在相對于收納在基板收納器中的基板進行蝕刻及 清洗等諸多處理時，由保管裝置所具備的運送裝置將基板收納器從收納部向基板運出運入部運送，相對于從基板收納器中取出的基板進行諸多處理。而且，將實施了處理后的基板再次收納在基板收納器中，由運送裝置將收納了基板的基板收納器從基板運入運出部向收納部運送。這樣，在由保管裝置保管著基板收納器的狀態下進行相對于收納在基板收納器中的基板的處理。此時，由于塵埃有可能附著在由基板收納器保持的基板上，所以在基板收納器上安裝清潔氣體送風單元。作為清潔氣體送風單元的以往例子，清潔氣體送風單元作為具備送入清潔氣體的風扇過濾器單元的板狀的框體構成，并相對于基板收納器能夠裝卸地安裝(例如參照專利文獻I)。在該專利文獻I中，基板收納器構成為橫躺姿勢的方筒狀。清潔氣體送風單元將基板收納器的處于開口狀態的一對側面中一方的側面作為清潔氣體送風面，并且將另一方的側面作為排氣用面，沿著水平方向從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體。該清潔氣體送風單元以位于成為清潔氣體送風面的側面的狀態安裝在基板收納器上。作為清潔氣體送風單元其它的以往例子，清潔氣體送風單元構成為將具備送入清潔氣體的風扇過濾器單元的板狀的送風部以直立姿勢設置在載置基板收納器的板狀的載置部的一端部的形態(例如參照專利文獻2)。在該專利文獻2中，基板收納器構成為橫躺姿勢的方筒狀。清潔氣體送風單元的送風部將基板收納器的處于開口狀態的一對側面中一方的側面作為清潔氣體送風面，并且將另一方的側面作為排氣用面，沿著水平方向從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體。也就是說，基板收納器以使成為清潔氣體送風面的側面與清潔氣體送風單元的送風部對向的狀態載置在清潔氣體送風單元的載置部上。專利文獻I日本國特開2010-89835號公報， 專利文獻2日本國特開2011-91270號公報。基板收納器每當經過適當期間等要進行清洗等適時清洗，此時，清潔氣體送風單元與基板收納器分離。S卩，在對基板收納器進行清洗的情況下，一般是使用水溶液等清洗用的液體進行清洗。由于在清潔氣體送風單元上設有具備電裝零部件的風扇過濾器單元，所以為了抑制清潔氣體送風單元被清洗用的液體打濕，要使清潔氣體送風單元與基板收納器分離。這樣，基板收納器在分離了清潔氣體送風單元后的狀態下進行適時清洗。此時，上述專利文獻I以及專利文獻2所記載的基板收納器由于四個側面中除了與清潔氣體送風面和排氣用面相對應的側面之外的兩個側面成為被遮蔽的狀態，所以有可能難以適當進行基板收納器的清洗。也就是說，橫躺姿勢的方筒狀基板收納器由于四個側面中除了與清潔氣體送風面和排氣用面相對應的側面之外的兩個側面成為被遮蔽的狀態，所以能夠使來自清潔氣體送風單元的清潔氣體以抑制了向外部泄漏的狀態從清潔氣體送風面適當地朝向排氣用面流動。但是，在對基板收納器進行清洗之際，有可能因被遮蔽的 側面妨礙了清洗用的液體向基板收納器的內部流動等而難以適當地進行基板收納器的清洗。
技術實現思路
本專利技術是鑒于上述實際狀況而提出的，其目的在于提供一種清潔氣體送風單元，能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠良好地進行基板收納器的清洗。本專利技術的清潔氣體送風單元相對于將基板以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀的基板收納器能夠裝卸地安裝，其中，上述基板收納器是由保管裝置保管的收納器，該保管裝置具備收 納上述基板收納器的多個收納部，相對于上述基板收納器進行上述基板的取出和收納的基板運入運出部，以及在上述收納部與上述基板運入運出部之間運送上述基板收納器的運送裝置，上述清潔氣體送風單元具備風扇過濾器單元和一對遮蔽板，該風扇過濾器單元將上述基板收納器的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該清潔氣體送風面對向的側面作為排氣用面，從上述清潔氣體送風面朝向上述排氣用面送入清潔氣體，該一對遮蔽板覆蓋上述基板收納器的四個側面中除了上述清潔氣體送風面以及上述排氣用面之外的兩個側面。S卩，裝備在清潔氣體送風單元上的風扇過濾器單元將基板收納器的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該側面對向的側面作為排氣用面，從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體。并且由于裝備在清潔氣體送風單元上的一對遮蔽板覆蓋基板收納器的四個側面中除了清潔氣體送風面和排氣用面之外的兩個側面，所以即使基板收納器的四個側面中除了清潔氣體送風面和排氣用面之外的兩個側面形成為開口狀態，也能夠以抑制了清潔氣體向外部泄漏的狀態使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動。這樣，能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠使基板收納器的四個側面中除了清潔氣體送風面和排氣用面之外的兩個側面為開口狀態。因此，在分離了清潔氣體送風單元的狀態(取下的狀態)下對基板收納器進行清洗之際，能夠良好地進行使清洗用的液體通過該成為開口狀態的側面恰當地向基板收納器的內部流動等基板收納器的清洗。總而言之，根據上述的結構，能夠提供一種能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠良好地進行基板收納器的清洗的清潔氣體送風單元。在本專利技術的清潔氣體送風單元的實施方式中，優選上述風扇過濾器單元裝配在與上述清潔氣體送風面相對應處。S卩，由于裝配在與清潔氣體送風面相對應處的風扇過濾器單元從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體，所以能夠謀求結構的簡單化，恰當地送入清潔氣體。也就是說，在從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體之際，例如可考慮將風扇過濾器單元裝配在清潔氣體送風單元中與基板收納器的上表面相對應處等與清潔氣體送風面不同之處，設置將來自該風扇過濾器單元的清潔氣體向清潔氣體送風面引導的送風通道的結構。但是，在這種結構的情況下，由于設置送風通道，整體結構復雜化，并且來自風扇過濾器單元的清潔氣體在送風通道內流動之際有可能因失速等而難以恰當地送入清潔氣體。相對于此，在將風扇過濾器單元裝配在與清潔氣體送風面相對應處的情況下，由于風扇 過濾器單元相對于清潔氣體送風面直接送入清潔氣體，所以能夠謀求結構的簡單化，適當地送入清潔氣體。總而言之，根據上述的結構，能夠提供一種能夠謀求結構的簡單化，并且能夠恰當地送入清潔氣體的清潔氣體送風單元。在本專利技術的清潔氣體送風單元的實施方式中，優選還具備覆蓋上述排氣用面的排氣用板狀體，在上述排氣用板狀體上分散成平面狀地形成有多個排氣用的透氣孔。即，由于從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入的清潔氣體以通過形成在覆蓋排氣用面的排氣用板狀體上的透氣孔向外部排出的狀態流動，所以能夠謀求運行成本的降低。也就是說，在基板收納器的排氣用面為開口狀態時，為了抑制塵埃從該開口狀態的側面(排氣用面)向基板收納器的內部侵入，需要增加清潔氣體的風力。其結果，由于風扇過濾器單元的驅動能量的增加，運行成本增加。相對于此，若用形成本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種清潔氣體送風單元，相對于將基板以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀的基板收納器能夠裝卸地安裝，其特征在于，上述基板收納器是由保管裝置保管的收納器，該保管裝置具備：收納上述基板收納器的多個收納部，相對于上述基板收納器進行上述基板的取出和收納的基板運入運出部，以及在上述收納部與上述基板運入運出部之間運送上述基板收納器的運送裝置，上述清潔氣體送風單元具備風扇過濾器單元和一對遮蔽板，該風扇過濾器單元將上述基板收納器的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該清潔氣體送風面對向的側面作為排氣用面，從上述清潔氣體送風面朝向上述排氣用面送入清潔氣體，該一對遮蔽板覆蓋上述基板收納器的四個側面中除了上述清潔氣體送風面以及上述排氣用面之外的兩個側面。
【技術特征摘要】
2011.09.22 JP 2011-2075631.一種清潔氣體送風單元，相對于將基板以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀的基板收納器能夠裝卸地安裝，其特征在于， 上述基板收納器是由保管裝置保管的收納器，該保管裝置具備收納上述基板收納器的多個收納部，相對于上述基板收納器進行上述基板的取出和收納的基板運入運出部，以及在上述收納部與上述基板運入運出部之間運送上述基板收納器的運送裝置， 上述清潔氣體送風單元具備風扇過濾器單元和一對遮蔽板，該風扇過濾器單元將上述基板收納器的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該清潔氣體送風面對向的側面作為排氣用面，從上述清潔氣體送風面朝向上述排氣用面送入清潔氣體，該一對遮蔽板覆蓋上述基板收納器的四個側面中除了上...
【專利技術屬性】
技術研發人員：中尾多通夫，
申請(專利權)人：株式會社大福，
類型：發明
國別省市：
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