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提供一種清潔氣體送風(fēng)單元，能夠使清潔氣體從清潔氣體送風(fēng)面恰當(dāng)?shù)爻蚺艢庥妹媪鲃樱⑶夷軌蛄己玫剡M(jìn)行基板收納器的清洗。在相對于基板收納器（K）能夠裝卸地安裝的清潔氣體送風(fēng)單元（J）中，基板收納器（K）是由保管裝置保管的收納器，上述清潔氣體送風(fēng)...該專利屬于株式會社大福所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過株式會社大福授權(quán)不得商用。