一種顯影噴嘴制造技術(shù)

一種顯影噴嘴，包括相對設(shè)置的條形底座和上殼、以及若干噴液管，所述底座和上殼圍成一個腔體，所述上殼設(shè)置給所述腔體供液的接嘴，所述底座設(shè)置連通所述腔體的若干階梯狀的通孔，所述若干噴液管分別安裝在所述若干階梯狀的通孔內(nèi)，噴液管包括管體部和管體部一端的管座部，管體部和管座部分別置于階梯狀通孔的小徑孔部和大徑孔部，且管座部和大徑孔部之間設(shè)置密封環(huán)和套筒，所述底座上設(shè)置壓板擠壓所述套筒使所述密封環(huán)變形。本顯影噴嘴能夠?qū)崿F(xiàn)大深徑比的噴液管道，而且加工成本低，管內(nèi)不會產(chǎn)生毛刺，顯影液噴涂效果好。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及集成電路芯片制造過程中的顯影設(shè)備，更具體地說，涉及用于噴涂顯影液的顯影噴嘴。
技術(shù)介紹
現(xiàn)有的顯影液的施加，一般是采用在晶圓上滴下顯影液，然后旋轉(zhuǎn)晶圓的方式將顯影液鋪展；或者采用長度與晶圓直徑約略相等的排孔噴嘴掃描晶圓進行顯影液的噴涂。前者容易造成顯影液膜厚度不均勻從而形成顯影缺陷，且容易在晶圓旋轉(zhuǎn)過程中浪費顯影液，后者是一種成熟且常用的顯影噴嘴，但由于該種排孔噴嘴的結(jié)構(gòu)中常常有深徑比較大的孔，又由于目前，排孔噴嘴一般用特氟龍材料，如PVDF、PPS等，通過數(shù)控機床加工，這些塑料材料相比于金屬材料而言更易粘刀，除非采用高速切削，否則表面質(zhì)量和尺寸要求很難達標(biāo)，而采用高速切削的加工成本較高，不利于大批量生產(chǎn)，所以導(dǎo)致了這種顯影用的排孔噴嘴加工成本高，且孔徑中含有不易清理的毛刺會影響顯影液噴涂效果。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的是針對現(xiàn)有顯影噴嘴存在的加工成本高、顯影液噴涂效果差的技術(shù)缺陷，提供一種顯影噴嘴。為達上述目的，本專利技術(shù)提供的顯影噴嘴，包括相對設(shè)置的條形底座和上殼、以及若干噴液管，所述底座和上殼圍成一個腔體，所述上殼設(shè)置給所述腔體供液的接嘴，所述底座設(shè)置連通所述腔體的若干階梯狀的通孔，所述若干噴液管分別安裝在所述若干階梯狀的通孔內(nèi)，噴液管包括管體部和管體部一端的管座部，管體部和管座部分別置于階梯狀通孔的小徑孔部和大徑孔部，且管座部和大徑孔部之間設(shè)置密封環(huán)和套筒，所述底座上設(shè)置壓板擠壓所述套筒使所述密封環(huán)變形。優(yōu)選地，所述噴液管是用金屬經(jīng)冷拉拔工藝成型的。其中，所述金屬優(yōu)選不銹鋼。優(yōu)選地，所述通孔的內(nèi)端設(shè)置過濾網(wǎng)，以濾除顯影液中的雜質(zhì)，過濾網(wǎng)壓接在所述壓板和所述底座之間。優(yōu)選地，所述階梯狀的通孔的臺階部呈錐面，對應(yīng)地，所述噴液管的管座部的底面也呈錐面。優(yōu)選地，所述噴液管的管座部的底緣成形有徑向向外的突環(huán)，所述壓板通過所述套筒和密封環(huán)擠壓所述突環(huán)。優(yōu)選地，所述底座上的若干通孔排列成一排。優(yōu)選地，所述底座上的若干通孔排列成至少兩排，相鄰兩排的孔位相互錯開。本專利技術(shù)的有效益在于，由于噴液管道(噴液管)和顯影噴嘴主體是可拆卸地組裝在一起的，而不是一體成型的，所以噴液管能夠通過冷拉拔等方式進行加工，尤其對于大深徑比的噴液管道，加工成本低，且管內(nèi)不會產(chǎn)生毛刺，顯影液噴涂效果好。此外，由于采用組合式結(jié)構(gòu)，可以方便地拆下噴液管進行清洗；而且可以對損壞的噴液管單獨更換，而不必要更換整個噴嘴。附圖說明圖1為一實施例顯影噴嘴的整體結(jié)構(gòu)示意 圖2為其剖視 圖3為圖2中B部的放大 圖4為圖1顯影噴嘴的仰視圖。具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本專利技術(shù)進一步說明。參照圖1 圖4,本實施例顯影噴嘴包括相對設(shè)置的條形底座3和上殼1、以及若干噴液管7，條形底座3和上殼I圍成一個腔體8，上殼I設(shè)置用于給腔體8供液的接嘴11，底座3設(shè)置連通腔體8的若干階梯狀的通孔31，若干噴液管7分別安裝在若干階梯狀的通孔31內(nèi)，噴液管7包括管體部71和管體部71 —端的管座部72，管體部71和管座部72分別置于階梯狀通孔31的小徑孔部和大徑孔部，且管座部72和大徑孔部之間設(shè)置密封環(huán)6和套筒5，底座3上通過螺栓安裝壓板2，壓板2擠壓套筒5使密封環(huán)6變形，一方面起到固定噴液管7，防止其松動的作用，另一方面起到防止液體從噴液管7和通孔31之間滲漏的作用。噴液管7采用不銹鋼冷拉拔而成。金屬的冷拉拔成型技術(shù)已經(jīng)成熟，例如，用于靜脈注射器中的針頭的制備即采用該技術(shù)，可以對針頭的長度和針孔內(nèi)徑控制的很好。該技術(shù)本身不屬于本專利技術(shù)的范圍，在此不再敘述。噴液管7管體部71的下端含于相應(yīng)的通孔31內(nèi)，換言之，管體部71未從通孔31下端露出。為了防止顯影液中的固體顆粒混雜影響顯影效果，進一步在通孔31的內(nèi)端設(shè)置過濾網(wǎng)4，以濾除液體中的雜質(zhì)，過濾網(wǎng)4壓接在壓板2和底座3之間。為了更好地對噴液管7定位，將階梯狀的通孔31的臺階部設(shè)計為錐面，對應(yīng)地，將噴液管7的管座部72的底面也設(shè)計為錐面，通過兩個錐面的配合將噴液管7更好地定位在通孔31內(nèi)。進一步，噴液管7的管座部72的底緣成形有徑向向外的突環(huán)73，壓板2通過套筒5和密封環(huán)6向下擠壓突環(huán)73，以更好地固定噴液管7。組裝時，首先將密封環(huán)6逐個套在噴液管7管座部72的突環(huán)73上，然后逐個將噴液管7插入底座3的階梯狀通孔31中，在通孔31的大徑孔部放入套筒5 (此時套筒5上端有I至2毫米從底座3上表面突出)，然后蓋上過濾網(wǎng)4和壓板2，最后在壓板2的上表面的沉孔中放入墊片并用鎖緊螺栓將壓板2和底座3鎖緊。鎖緊后，套筒5壓縮密封環(huán)6并將噴液管7壓緊固定在通孔31中。由于顯影液為強堿性溶液，腐蝕性較強，因此密封環(huán)6選用含氟橡膠，噴液管7采用不銹鋼冷拉拔而成，過濾網(wǎng)4也需具有一定的抗腐蝕能力。上述過濾網(wǎng)4可以根據(jù)需要選擇網(wǎng)孔細(xì)密程度不同的過濾網(wǎng)。可以用一個過濾網(wǎng)覆蓋全部的通孔31的入口。如圖4所示，底座3上的若干通孔31沿底座3的長邊方向排列，共有三排，相鄰兩排的孔位相互錯開。也可以將底座3上的若干通孔31排列成一排或兩排等。本顯影噴嘴主要應(yīng)用于集成電路芯片顯影工序中的顯影液噴涂。其整體是用噴液管和噴嘴主體采用插裝組合方式組合而成，而非一體成型的，從而有效地解決了現(xiàn)有排孔噴嘴中大深徑比液流管道加工困難的技術(shù)問題，并因此使得排孔式顯影噴嘴的流道布置得以優(yōu)化，進而可以提高集成電路芯片制作過程中的顯影質(zhì)量。以上通過具體實施例對本專利技術(shù)做了進一步說明。但本專利技術(shù)并不限于上述實施方式，在上述實施例的基礎(chǔ)上利用本領(lǐng)域的公知常識或等效替換等手段，而得到的其他顯影噴嘴，均在本專利技術(shù)的保護范圍之內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種顯影噴嘴，其特征在于：包括相對設(shè)置的條形底座（3）和上殼（1）、以及若干噴液管（7），所述底座和上殼圍成一個腔體（8），所述上殼設(shè)置給所述腔體供液的接嘴（11），所述底座設(shè)置連通所述腔體的若干階梯狀的通孔（31），所述若干噴液管分別安裝在所述若干階梯狀的通孔內(nèi)，噴液管包括管體部（71）和管體部一端的管座部（72），管體部和管座部分別置于階梯狀通孔的小徑孔部和大徑孔部，且管座部和大徑孔部之間設(shè)置密封環(huán)（6）和套筒（5），所述底座上設(shè)置壓板（2）擠壓所述套筒使所述密封環(huán)變形。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種顯影噴嘴，其特征在于包括相對設(shè)置的條形底座(3)和上殼(I)、以及若干噴液管(7)，所述底座和上殼圍成一個腔體(8)，所述上殼設(shè)置給所述腔體供液的接嘴(11)，所述底座設(shè)置連通所述腔體的若干階梯狀的通孔(31)，所述若干噴液管分別安裝在所述若干階梯狀的通孔內(nèi)，噴液管包括管體部(71)和管體部一端的管座部(72)，管體部和管座部分別置于階梯狀通孔的小徑孔部和大徑孔部，且管座部和大徑孔部之間設(shè)置密封環(huán)(6)和套筒(5 )，所述底座上設(shè)置壓板(2 )擠壓所述套筒使所述密封環(huán)變形。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影噴嘴，其特征在于所述噴液管是用金屬經(jīng)冷拉拔工藝成型的。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯影噴嘴，其特征在于所述金屬為不銹鋼。4...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉學(xué)平，王漢，向東，牟鵬，段廣洪，
申請(專利權(quán))人：清華大學(xué)深圳研究生院，
類型：發(fā)明
國別省市：