【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及太陽能硅片加工自動化設備領域，本專利技術尤其是涉及一種用于PECVD 設備的硅片自動上下料裝置。
技術介紹
在現有的硅片減反射膜制備工序中，需將承載盒中的未經PECVD處理過的硅片裝入石墨舟中、將石墨舟中的經PECVD處理過的硅片裝入承載盒。目前，上述硅片轉移動作需要借助人工完成，其缺點在于人工搬運易引起硅片破碎使得生產成本提高，同時，人工操作生產效率低、勞動強度大。
技術實現思路
本專利技術的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種可以降低生產成本、降低工人勞動強度、自動化程度高的用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置。按照本專利技術提供的技術方案，所述用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，在機架上轉動安裝有機械手，在機械手上安裝有吸盤，在機械手外側的機架上安裝有第一硅片盒輸送機構、第一升降平臺機構、導向機構、第一出片搬運機構、第一儲料機構、第一運輸機構、第一小車定位機構、第一石墨舟定位機構與第一搬運小車，在機架上內側位置安裝有第二硅片盒輸送機構、第二升降平臺機構、出片輸送機構、第二出片搬運機構、第二儲料機構、 第二運輸機構、第二小車定位機構、第二石墨舟定位機構與第二搬運小車；所述第一運輸機構安裝于第一出片搬運機構的前方，第二運輸機構安裝于出片輸送機構的前方，機械手安裝于第一運輸機構與第二運輸機構之間的機架上。所述第一娃片盒輸送機構與第二娃片盒輸送機構結構相同，它們包括第一電機、 托板、同步帶、第一同步帶輪、第二同步帶輪、轉動軸、第三同步帶輪與第四同步帶輪，在第一電機的輸出端連接有第四同步帶輪，轉動軸的兩端均固定有第一同步帶輪，兩第一同步帶...
【技術保護點】
一種用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，其特征是：在機架上轉動安裝有機械手（10），在機械手（10）上安裝有吸盤（11），在機械手（10）外側的機架上安裝有第一硅片盒輸送機構（1a）、第一升降平臺機構（2a）、導向機構（3）、第一出片搬運機構（4a）、第一儲料機構（5a）、第一運輸機構（6a）、第一小車定位機構（7a）、第一石墨舟定位機構（8a）與第一搬運小車（9a），在機架上內側位置安裝有第二硅片盒輸送機構（1b）、第二升降平臺機構（2b）、出片輸送機構（12）、第二出片搬運機構（4b）、第二儲料機構（5b）、第二運輸機構（6b）、第二小車定位機構（7b）、第二石墨舟定位機構（8b）與第二搬運小車（9b）；所述第一運輸機構（6a）安裝于第一出片搬運機構（4a）的前方，第二運輸機構（6b）安裝于出片輸送機構（12）的前方，機械手（10）安裝于第一運輸機構（6a）與第二運輸機構（6b）之間的機架上。
【技術特征摘要】
1.一種用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，其特征是在機架上轉動安裝有機械手(10)，在機械手(10)上安裝有吸盤(11 )，在機械手(10)外側的機架上安裝有第一硅片盒輸送機構(la)、第一升降平臺機構(2a)、導向機構(3)、第一出片搬運機構(4a)、第一儲料機構(5a)、第一運輸機構(6a)、第一小車定位機構(7a)、第一石墨舟定位機構(8a)與第一搬運小車(9a)，在機架上內側位置安裝有第二硅片盒輸送機構(lb)、第二升降平臺機構(2b)、出片輸送機構(12)、第二出片搬運機構(4b)、第二儲料機構(5b)、第二運輸機構(6b)、第二小車定位機構(7b)、第二石墨舟定位機構(8b)與第二搬運小車(9b);所述第一運輸機構(6a)安裝于第一出片搬運機構(4a)的前方，第二運輸機構(6b)安裝于出片輸送機構(12)的前方，機械手(10)安裝于第一運輸機構(6a)與第二運輸機構(6b)之間的機架上。2.如權利要求1所述的用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，其特征是所述第一娃片盒輸送機構(Ia)與第二娃片盒輸送機構(Ib)結構相同，它們包括第一電機(1.1)、托板(1. 2)、同步帶(1. 3)、第一同步帶輪(1. 4)、第二同步帶輪(1. 5)、轉動軸(1. 6)、第三同步帶輪(1. 7)與第四同步帶輪(1. 8)，在第一電機(1.1)的輸出端連接有第四同步帶輪(1. 8)，轉動軸(1. 6)的兩端均固定有第一同步帶輪(1. 4)，兩第一同步帶輪(1. 4)之間的轉動軸(1. 6)上固定有第三同步帶輪(1. 7),第四同步帶輪(1. 8)通過同步帶(1. 3)連接第三同步帶輪(1. 7),同步帶(1. 3)繞過第一同步帶輪(1. 4)、托板(1. 2)與第二同步帶輪(1. 5)。3.如權利要求1所述的用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，其特征是所述第一升降平臺機構(2a)與第二升降平臺機構(2b)結構相同，它們包括安裝支座(2. 10)、豎向升降組件和水平輸送組件，水平輸送組件通過第一連接板(2. 7)固定于豎向升降平臺組件上，豎向升降組件通過安裝支座(2. 10)固定于機架上； 所述豎向升降組件包括第二電機(2. 1)，第二電機(2.1)安裝在安裝支座(2. 10)上，第二電機(2.1)的輸出端通過聯軸器與第一絲杠(2. 5)的一端連接,所述第一絲杠(2. 5)的兩端通過軸承座轉動安裝在安裝支座(2. 10)上，安裝支座(2. 10)上平行安裝有第一線軌(2. 2)，在第一線軌(2. 2)內滑動連接有第一滑塊(2. 3)，第一絲杠(2. 5)上安裝有第一螺母(2. 4)，第一滑塊(2. 3)及第一螺母(2. 4)固定在第一連接板(2. 7)上； 所述水平輸送組件包括第三電機(2. 11)，第三電機(2. 11)的輸出端固定同步帶輪，轉軸(2. 13)的兩端固定兩個第五同步帶輪(2. 12)，第三電機(2. 11)的輸出端的同步帶輪通過第二同步帶(2. 14)與轉軸(2. 13)上的第十同步帶輪(2. 16)連接,第二同步帶(2. 14)繞過第六同步帶輪(2. 15)與第五同步帶輪(2. 12)，轉軸(2. 13)上方設置有兩個擋塊(2. 9)，所述第一連接板(2. 7)的上端固定有第一氣缸(2. 6),第一氣缸(2. 6)的活塞桿端部安裝有壓緊頭。4.如權利要求1所述的用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，其特征是所述導向機構3包括第一安裝板(3. 4)、橫向定位組件與縱向導向組件；第一安裝板(3. 4)的下側安裝有縱向導向組件，第一安裝板(3. 4)的上方安裝橫向定位組件； 所述橫向定位組件包括推板(3. 2)、第二線軌(3. 6)，所述第二線軌(3. 6)固定于第一安裝板(3. 4)，推板(3. 2)上固定第二滑塊(3. 7)，所述第二滑塊(3. 7)嵌裝于第二線軌(3. 6)上，第一安裝板(3. 4)的前端固定推條(3. 3);橫向調節單元通過連接塊固定于第一安裝板(3. 4)上，所述橫向調節單元包括第二氣缸(3.1)與第五氣缸(3.16)，所述第二氣缸(3.1)與第五氣缸(3. 16)相背固定,第五氣缸(3. 16)的活塞桿通過連接塊固定于第一安裝板(3. 4)上，第二氣缸(3.1)的活塞端通過連接桿與推板(3. 2)固定； 所述縱向導向組件包括第一安裝板(3. 4)下方的同步帶傳送單元與第一安裝板(3. 4)上方的縱向調節單元；所述同步帶傳送單元包括兩第七同步帶輪(3. 10)，兩第七同步帶輪(3. 10)通過連接軸固定于第一安裝板(3. 4)上，所述的兩第七同步帶輪(3. 10)之間通過第三同步帶(3. 13)連接，第一安裝板(3. 4)下方設置線軌，第一傳動塊(3. 11)與第二傳動塊(3. 20)上分別固定有滑塊，所述第一傳動塊(3. 11)與第四傳動塊(3. 20)上的滑塊分別嵌裝于第一安裝板(3. 4)下方設置的線軌上，其中第一傳動塊(3. 11)的一側固定有第一齒形塊(3. 17)，所述第一齒形塊(3. 17)上的齒與第三同步帶(3. 13)上的齒嚙合，且齒形塊(3. 17)與第三同步帶(3. 13)及第二傳動塊(3. 12)固定，所述第四傳動塊(3. 20)上一側固定有第二齒形塊(3. 18)，所述第二齒形塊(3. 18)上的齒與第三同步帶(3. 13)上的齒嚙合，且第二齒形塊(3. 18)與第三同步帶(3. 13)及第五傳動塊(3. 19)固定，所述第二傳動塊(3. 12)通過兩連桿與第三傳動塊(3. 14)固定，連桿的下端與第二連接板(3. 9)固定，第二連接板(3. 9)上固定多個第一導向輪(3. 8)，所述第五傳動塊(3. 19)通過兩連桿與第八連接板(3. 22)連接，第八連接板(3. 22)上固定多個第二導向輪(3. 21);所述第三傳動塊(3. 14)與縱向調節組件連接；所述縱向調節單元包括第三氣缸(3. 5)、第四氣缸(3. 15)，所述第三氣缸(3. 5)與第四氣缸(3. 15)相背固定，其中第四氣缸(3. 15)的活塞桿通過連接塊固定于第一安裝板(3. 4)上，第三氣缸(3. 5)與第三傳動塊(3. 14)連接。5.如權利要求1所述的用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，其特征是所述第一出片搬運機構4a包括無桿氣缸(4. 2)、第四電機(4.1)與第二安裝板(4. 10)，所述第二安裝板(4. 10)上固定無桿氣缸(4. 2)、第三線軌(4. 4)，無桿氣缸(4. 2)輸出端通過連接板與第一移動板(4. 3)固定；所述第一移動板(4. 3)上固定有第三滑塊(4. 5),第三滑塊(4. 5)嵌裝于所述的第三線軌(4. 4);所述兩組第三連接板(4. 11)的一側、安裝底板(4. 9)兩側、第一移動板(4. 3)的前端兩側及無桿氣缸(4. 2)輸出端上的連接板分別固定滾輪、且滾輪之間通過輸送帶傳動；所述第四電機(4.1)的輸出端固定同步帶輪，安裝底板(4. 9)的一側通過兩軸承支座支撐傳動軸(4. 12)，所述傳動軸(4. 12)的兩端固定同步帶輪、且兩同步帶輪之間設置第十一同步帶輪(4. 13)，所述第四電機(4.1)的輸出端的同步帶輪通過輸送帶傳動第十一同步帶輪(4. 13);所述第三連接板(4. 11)之間固定第六氣缸(4. 7)，所述第六氣缸(4. 7)的輸出端與定位塊(4. 6)固定，所述定位塊(4. 6)上固定滑塊、并通過滑塊嵌裝于第三線軌(4. 4)； 所述第二出片搬運機構4b包括無桿氣缸(4. 2)、第四電機(4. 1)...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王燕清，周昕，
申請(專利權)人：無錫先導自動化設備股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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