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本發明涉及一種用于PECVD設備的硅片自動上下料裝置，在機架上轉動安裝有機械手，在機械手上安裝有吸盤，在機械手外側的機架上安裝有第一硅片盒輸送機構、第一升降平臺機構、導向機構、第一出片搬運機構、第一儲料機構、第一運輸機構、第一小車定位機構、...該專利屬于無錫先導自動化設備股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過無錫先導自動化設備股份有限公司授權不得商用。
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